抗反射膜、光学部件和光学部件的制造方法与流程

文档序号:11588876阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及抗反射膜、光学部件和光学部件的制造方法。一种光学部件包括基材和基材上的膜,所述膜在其表面上包含具有棘状突起的中空颗粒,所述突起的高度为大于或等于3nm且小于或等于20nm,并且,棘状突起的比例为颗粒表面的大于或等于3%且小于或等于30%,膜包含大于或等于50体积%且小于或等于68体积%的中空颗粒。因此,提供兼有低的折射率和低的散射水平的抗反射膜。

技术研发人员:龟野优;槙野宪治
受保护的技术使用者:佳能株式会社
技术研发日:2017.01.23
技术公布日:2017.08.08
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