技术总结
本发明提出一种基于激光环形刻蚀在光波导上制备球形凹面镜的方法，旨在降低光波导‑光纤垂直耦合因数值孔径不匹配所造成的耦合损耗。其加工流程为：在光波导上确定加工区域，根据要加工的反射球形凹面半径R确定激光圆形刻蚀路径半径r'=R/2，反射球形凹面圆心和圆形刻蚀路径圆心重合；选择激光刻蚀掩模图形，可以为圆形、椭圆形、自由曲线形等；掩模沿圆形刻蚀路径旋转刻蚀，掩模圆心始终沿圆形刻蚀路径移动，而掩模周边一点始终与反射球形凹面圆心重合；以半径为ri所作的圆周各点刻蚀深度相同，不同ri，刻蚀深度不同；当激光刻蚀旋转一周，形成类似球形的反射凹面；对得到的双侧球形反射凹面进行处理，获得单侧球形反射凹面。
技术研发人员：王廷云;邓传鲁;刘琳琳;庞拂飞
受保护的技术使用者：上海大学
文档号码：201710076388
技术研发日：2017.02.13
技术公布日：2017.05.24