技术特征：
技术总结
本发明公开了一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法。一种自动对位装置包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。本发明有效的避免了因裁切、冲挂孔所产生的钢膜屑对曝光的影响，再有静电棒消除静电、除尘机构除尘、空气净化等来保证基材的洁净度。采用高分辨率镜头组件进行实时监控对位情况，提高了对位的精度。全过程自动化操作，节省人工成本，提高了生产效率。
技术研发人员：叶永禄
受保护的技术使用者：深圳市前海野马自动化设备有限公司
技术研发日：2017.06.16
技术公布日：2017.08.08