技术总结
本公开提供一种高亮度光线的产生方法，包括将气态材料引入标靶材料。上述方法还包括将标靶材料供应至燃料标靶产生器中。上述方法亦包括通过推进具有气态材料的标靶材料离开燃料标靶产生器而产生标靶。另外，上述方法包括将标靶中的气态材料扩展以转换标靶为标靶雾。上述方法亦包括将主要脉冲激光聚焦于标靶雾上以产生放射高亮度光线的等离子体。本公开提供的高亮度光线的产生方法可以从输入能量增加能源转换效率予离子化。 1
技术研发人员：吴小真;张俊霖
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2017.10.12
技术公布日：2018.06.15