一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构的制作方法

本发明涉及光学薄膜技术领域，具体涉及一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构。

背景技术：

现有的红外光学窗口保护膜由于膜系最外层采用了sio2材料，虽然在一定程度上提高了硫化锌基底的强度，但由于sio2材料本身硬度的局限，保护膜不能具备承受高速砂尘冲击的能力，所以膜层并不适用于高速运动平台的光学窗口，因为高速运动平台的光电系统处于恶劣工作环境中，对膜层的牢固度、强度、环境适应性要求很高，申请人对上述膜层以及目前公开的普通膜层按照国军标进行试验，均无法满足要求。

技术实现要素：

本发明提供如下技术方案：一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括：基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2-5层，其厚度为20-30nm；所述硒化锌膜层有1-3层，其厚度为10-20nm；所述硫化锌膜层有5-8层，其厚度为30-50nm。

进一步，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2层，其厚度为20nm；所述硒化锌膜层有1层，其厚度为10nm；所述硫化锌膜层有5层，其厚度为30nm。

进一步，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有3层，其厚度为23nm；所述硒化锌膜层有2层，其厚度为15nm；所述硫化锌膜层有6层，其厚度为35nm。

进一步，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有5层，其厚度为30nm；所述硒化锌膜层有3层，其厚度为20nm；所述硫化锌膜层有8层，其厚度为50nm。

本发明的有益效果是：本发明通过高强度保护层技术，解决硫化锌窗口的软肋问题，提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力，扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围；采用多层粘接层技术，提高了保护层与基底结合的牢固度，使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构，有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。

附图说明

图1为本发明实施例1的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构示意图；

图2为本发明实施例2的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构示意图；

图3为本发明实施例3的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构示意图。

其中，1、基片；2、硫化锌膜层；3、硒化锌膜层；4、类金刚石膜层。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细地描述：

实施例1：

如图1所示，本发明提供一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括基片1和高强度保护膜系；所述基片1有硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层4、硒化锌膜层3和硫化锌膜层2；所述类金刚石膜层4有2层，其厚度为20nm；所述硒化锌膜层3有1层，其厚度为10nm；所述硫化锌膜层2有5层，其厚度为30nm。

实施例2：

如图2所示，一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括基片1和高强度保护膜系；所述基片1有硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层4、硒化锌膜层3和硫化锌膜层2；所述类金刚石膜层4有3层，其厚度为23nm；所述硒化锌膜层3有2层，其厚度为15nm；所述硫化锌膜层2有6层，其厚度为35nm。

实施例3：

如图3所示，一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括基片1和高强度保护膜系；所述基片1有硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层4、硒化锌膜层3和硫化锌膜层2；所述类金刚石膜层4有5层，其厚度为30nm；所述硒化锌膜层3有3层，其厚度为20nm；所述硫化锌膜层2有8层，其厚度为50nm。

本发明通过高强度保护层技术，解决硫化锌窗口的软肋问题，提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力，扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围；采用多层粘接层技术，提高了保护层与基底结合的牢固度，使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构，有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。

本发明并不限于上述实例，在本发明的权利要求书所限定的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可做出的各种变形或修改均受本专利的保护。

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2‑5层，其厚度为20‑30nm；所述硒化锌膜层有1‑3层，其厚度为10‑20nm；所述硫化锌膜层有5‑8层，其厚度为30‑50nm；本发明通过高强度保护层技术，解决硫化锌窗口的软肋问题，提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力，扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围；采用多层粘接层技术，提高了保护层与基底结合的牢固度，使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构，有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。

技术研发人员：韩崇利
受保护的技术使用者：成都中源红科技有限公司
技术研发日：2017.11.27
技术公布日：2019.06.04