一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器的制作方法

文档序号:14473473阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器,该检偏器由下至上依次为硅基衬底、掩埋氧化层、检偏部件和上包层,其中掩埋氧化层生长于硅基衬底的上表面,上包层覆盖掩埋氧化层的上表面,检偏部件水平生长于掩埋氧化层的上表面,并被上包层覆盖;所述检偏部件包括输入波导、过渡波导A、直通波导、过渡波导B,输出波导和右路直通波导。本发明提供的槽式波导TE模检偏器具有低插入损耗、高消光比、大制造容差以及大工作带宽的优点。

技术研发人员:肖金标;倪斌
受保护的技术使用者:东南大学
技术研发日:2017.12.15
技术公布日:2018.05.18
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1