一种新型纳米压印设备的制作方法

文档序号:11448183阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型纳米压印设备,包括控制单元、机体,其特征在于:还包括底端固定在机架上的上下移动装置、上下移动装置上方安装有用于放置模板或基板的托板,所述托板上设有环形槽,所述环形槽和真空泵或抽气泵相接通,所述托板下方设有加热装置;还包括固定在机架且位于托板上方的压板,还包括用于将PET膜固定于夹板和压板之间的夹紧装置,所述压板的上方设有紫外线光照灯,所述压板上设有用于通过紫外线的透明部分,所述夹板上设有用于通过基板或者模板的孔。

2.如权利要求1所述的一种新型纳米压印设备,其特征在于:所述上下移动装置为伺服电动缸,所述伺服电动缸为直驱式,由伺服电机和滚珠丝杠组成。

3.如权利要求1所述的一种新型纳米压印设备,其特征在于:所述夹紧装置为夹紧气缸,采用夹紧气缸对夹板施加压力将PET膜固定在压板和夹板之间。

4.如权利要求1所述的一种新型纳米压印设备,其特征在于:压板上的透明部分为安装在压板中央的玻璃。

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