一种UVLED曝光光源强度稳定装置的制作方法

文档序号:11758238阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:包括反馈调节模块、信号处理及采集模块、探测器模块、UVLED光源模块和供电与控制模块;

探测器模块用于探测UVLED光源强度,将光源强度信息转换成电信息;

信号处理及采集模块的输入端与探测器模块的输出端连接;信号处理及采集模块的输出端与反馈调节模块的输入端连接,反馈调节模块的输出端和供电与控制模块的输入端连接,供电与控制模块的输出端与UVLED光源模块的输入端连接。

2.根据权利要求1所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述探测器模块包括光电探测器。

3.根据权利要求2所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述光电探测器设置于匀匀光路后,UVLED光源模块的曝光面之前。

4.根据权利要求2或3所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述探测器模块还包括设置于光电探测器周围的水冷装置。

5.根据权利要求1所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述信号处理及采集模块包括依次连接的I/V转换电路、均值滤波电路和A/D采集电路,I/V转换电路与探测器模块连接,A/D采集电路与反馈调节模块连接。

6.根据权利要求1所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述反馈调节模块包括PID调节模块和卡尔曼滤波器,所述PID调节模块的输出端和供电与控制模块连接,所述PID调节模块的输入端与卡尔曼滤波器的输出端连接,卡尔曼滤波器的输入端和信号处理及采集模块连接。

7.根据权利要求1所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述UVLED光源模块包括UVLED灯盘、散热装置和UVLED匀光光路,散热装置对UVLED灯盘进行散热,UVLED匀光光路对UVLED灯盘的出射光进行均光。

8.根据权利要求7所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述散热装置包括铜冷排,所述铜冷排上设置有多条独立的流体通道,相邻两流体通道内的冷却液的流动方向相反。

9.根据权利要求8所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述流体通道内设有的散热柱。

10.根据权利要求8所述的一种UVLED曝光光源强度稳定装置,其特征在于:所述铜冷排的散热面上设置有用于放置温度传感器的凹槽。

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