用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅的制作方法

技术特征：

1.一种用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅，其特征在于，包括一透明材料制成的衬底，所述衬底上设有高折射率材料制成的光栅层，该光栅层折射率为2.71，所述光栅层的周期为0.85-1微米、刻蚀深度为100-280纳米，所述光栅层的光栅占空比为0.5。

2.如权利要求1所述的用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅，其特征在于，所述光栅层的周期为920纳米、刻蚀深度为190纳米。

3.如权利要求2所述的用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅，其特征在于，所述衬底为熔融石英。

4.如权利要求3所述的用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅，其特征在于，所述光栅层为二氧化钛薄膜。