固体浸没透镜单元及半导体检查装置的制作方法

技术特征：

技术总结
固体浸没透镜单元具备：固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；保持器，其保持固体浸没透镜；磁铁，其设置于保持器；及球体，其在与球面相对的位置上通过磁铁的磁力而可旋转地被保持。保持器在球面接触于球体的状态下，可摇动地保持固体浸没透镜。

技术研发人员：中村共则;中村明裕
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2017.11.21
技术公布日：2019.07.26