形成模板的衬底以及检测方法与流程

技术总结
本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125‑300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。

技术研发人员：原田大实;竹内正树
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
技术研发日：2012.02.10
技术公布日：2018.06.12