本发明涉及芯片生产设备领域，具体的说是一种芯片生产用光刻机。
背景技术
光刻机(maskaligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，在对芯片光刻加工后需要及时的去除芯片的灰尘及其检测光刻的质量。
然而传统的芯片生产用光刻机在光刻芯片完成后灰尘处理不方便，在使用后不方便检测光刻质量。鉴于此，本发明提供了一种芯片生产用光刻机，其具有以下特点：
(1)本发明所述的一种芯片生产用光刻机，真空泵配合检测结构的使用实现了积尘结构的内部负压，便于将检测结构上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构的内部，便于快速的处理光刻后的灰尘。
(2)本发明所述的一种芯片生产用光刻机，工作台上设置的led灯配合检测结构的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，节省了了加工工序的时间，大大提高了工作效率。
(3)本发明所述的一种芯片生产用光刻机，高度调节结构设于工作台与底板之间，便于根据使用者的身高调节工作台的高度，提高了使用舒适度。
技术实现要素：
针对现有技术中的问题，本发明提供了一种芯片生产用光刻机，真空泵配合检测结构的使用实现了积尘结构的内部负压，便于将检测结构上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构的内部，便于快速的处理光刻后的灰尘，工作台上设置的led灯配合检测结构的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，节省了了加工工序的时间，大大提高了工作效率，高度调节结构设于工作台与底板之间，便于根据使用者的身高调节工作台的高度，提高了使用舒适度。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种芯片生产用光刻机，包括底板、高度调节结构、工作台、检测结构、led灯、积尘结构和真空泵；所述底板与用于放置芯片的所述工作台之间设有调节高度的所述高度调节结构，且所述高度调节结构与所述工作台可拆卸连接；所述工作台的内部设有提供负压的所述真空泵；所述工作台上设有用于检测芯片的所述led灯与用于放置芯片的所述检测结构，且所述检测结构与所述工作台卡合；所述工作台的底端设有用于收纳灰尘的所述积尘结构，所述积尘结构与所述检测结构一一对应，所述积尘结构与所述工作台卡合。
具体的，所述底板上设有用于收纳工具的存储结构，所述存储结构包括支撑架、存储箱和提手，用于支撑的所述支撑架固定于所述底板，所述支撑架的内部设有多个大小不同的用于存储工具的矩形结构的所述存储箱，所述存储箱与所述支撑架滑动连接，所述存储箱的端部设有所述提手；在使用时候，拉动所述提手，所述存储箱与所述支撑架滑动连接，将生活用具放置在所述存储箱的内部，所述存储箱的设置便于收纳生活用具，大大提高了加工环境的整洁性。
具体的，所述高度调节结构包括滑套、限位槽、调节杆、限位杆、驱动套、连接杆和固定套；所述底板的底端设有四个用于导向的圆柱体结构的所述滑套，所述滑套背离所述底板的一端圆周方向上设有三棱柱结构的用于二次限位的所述限位槽，所述滑套的内部设有圆柱体结构的带有外螺纹的用于调节高度的圆柱体结构的所述调节杆，所述调节杆上设有用于导向的正六边形结构的所述连接杆，所述连接杆与固定于所述工作台底端的所述固定套转动连接，所述连接杆上设有滑动连接的用于驱动的正六边形结构的所述驱动套，所述驱动套的底端设有两个用于配合所述限位槽滑动限位的所述限位杆；首先滑动所述驱动套，使所述驱动套底端的所述限位杆与所述限位槽不卡合，然后通过扳手拧动所述调节杆，所述调节杆与所述滑套螺纹连接，同时所述连接杆与所述固定套转动，调节所述工作台的高度，使适用于不同的身高的操作者适用，所述调节杆带有外螺纹，具有自动限位功能，同时通过滑动所述驱动套，使所述限位杆与所述限位槽卡合，对所述调节杆进行二次限位，大大提高了稳定性能。
具体的，所述真空泵的一端的所述工作台上设有可拆卸连接的矩形结构的用于检修维护的检修板；在清理检修所述真空泵时，拆卸所述检修板与所述工作台之间的螺栓，将所述真空泵取出清理和维护。
具体的，所述检测结构包括密封圈、导流槽、支撑板、气垫和放置槽，所述工作台上设有棱台形结构的用于放置芯片的所述放置槽，所述放置槽的侧壁设有用于检测的所述led灯，用于放置芯片矩形结构的所述支撑板贯穿于所述放置槽与所述工作台卡合，所述支撑板与所述工作台之间夹持于所述密封圈，所述支撑板上设有限性分布的横截面为梯形的用于聚流的所述导流槽，相邻的两个所述导流槽之间的所述支撑板上设有线性分布的带有容纳空腔的半球形结构的所述气垫；将芯片放置在所述支撑板上的所述气垫上，所述led灯照射在芯片表面，便于在除灰的同时对芯片光刻质量进行检测，所述气垫为带有容纳空腔的半球形结构，在芯片抵触所述气垫时候所述气垫收缩变形，有效防止芯片抵触所述气垫损坏芯片，提高了检测质量，所述导流槽的横截面为梯形结构，便于聚风，使芯片表面的灰尘清理效果更好，所述支撑板与所述工作台卡合，便于拆卸所述支撑板，对所述支撑板进行清理更换，所述密封圈的设置增强了所述支撑板与所述工作台连接处的密封性，提高了除尘效果。
具体的，所述积尘结构包括导向杆、拉杆、收纳箱、排风孔、积灰凸起和密封垫，所述收纳箱与所述工作台滑动连接，用于积尘的所述收纳箱与所述支撑板抵触，所述收纳箱的底端设有三棱柱体结构的用于限位的与所述工作台滑动连接的所述导向杆，所述收纳箱的一端设有所述拉杆，所述收纳箱与所述工作台交接处设有横截面为梯形结构的用于密封的所述密封垫，且所述密封垫与所述工作台抵触，所述收纳箱的侧壁设有带有半球形容纳空腔的半球形结构的用于积灰的所述积灰凸起，所述积灰凸起靠近所述支撑板的一端设有用于排风的连通于所述真空泵的圆台形结构的所述排风孔；所述真空泵开始工作，所述收纳箱的内部空气从所述排风孔排出，所述收纳箱的内部形成负压，外部空气将所述支撑板上的芯片的灰尘废屑吸入所述收纳箱的内部，灰尘经过所述积灰凸起拦截，空气从所述排风孔排出，使灰尘拦截在所述收纳箱的内部，所述积灰凸起为半球形结构，同时圆台形的所述排风孔的设置，有效的防止了所述收纳箱堵塞影响除尘效果。
本发明的有益效果：
(1)本发明所述的一种芯片生产用光刻机，真空泵配合检测结构的使用实现了积尘结构的内部负压，便于将检测结构上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构的内部，便于快速的处理光刻后的灰尘。
(2)本发明所述的一种芯片生产用光刻机，工作台上设置的led灯配合检测结构的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，节省了了加工工序的时间，大大提高了工作效率。
(3)本发明所述的一种芯片生产用光刻机，高度调节结构设于工作台与底板之间，便于根据使用者的身高调节工作台的高度，提高了使用舒适度。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为本发明提供的芯片生产用光刻机的一种较佳实施例的结构示意图；
图2为图1所示的a部放大示意图；
图3为图1所示的工作台与导向杆的连接结构示意图；
图4为图3所示的b部放大示意图；
图5为图4所示的收纳箱与积灰凸起的连接结构示意图。
图中：1、底板，2、存储结构，21、支撑架，22、存储箱，23、提手，3、高度调节结构，31、滑套，32、限位槽，33、调节杆，34、限位杆，35、驱动套，36、连接杆，37、固定套，4、工作台，5、检修板，6、检测结构，61、密封圈，62、导流槽，63、支撑板，64、气垫，65、放置槽，7、led灯，8、积尘结构，81、导向杆，82、拉杆，83、收纳箱，84、排风孔，85、积灰凸起，86、密封垫，9、真空泵。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1和图3所示，本发明所述的一种芯片生产用光刻机，包括底板1、高度调节结构3、工作台4、检测结构6、led灯7、积尘结构8和真空泵9；所述底板1与用于放置芯片的所述工作台4之间设有调节高度的所述高度调节结构3，且所述高度调节结构3与所述工作台4可拆卸连接；所述工作台4的内部设有提供负压的所述真空泵9；所述工作台4上设有用于检测芯片的所述led灯7与用于放置芯片的所述检测结构6，且所述检测结构6与所述工作台4卡合；所述工作台4的底端设有用于收纳灰尘的所述积尘结构8，所述积尘结构8与所述检测结构6一一对应，所述积尘结构8与所述工作台4卡合。
具体的，如图1所示，本发明所述的一种芯片生产用光刻机，所述底板1上设有用于收纳工具的存储结构2，所述存储结构2包括支撑架21、存储箱22和提手23，用于支撑的所述支撑架21固定于所述底板1，所述支撑架21的内部设有多个大小不同的用于存储工具的矩形结构的所述存储箱22，所述存储箱22与所述支撑架21滑动连接，所述存储箱22的端部设有所述提手23；在使用时候，拉动所述提手23，所述存储箱22与所述支撑架21滑动连接，将生活用具放置在所述存储箱22的内部，所述存储箱22的设置便于收纳生活用具，大大提高了加工环境的整洁性。
具体的，如图2和图3所示，本发明所述的一种芯片生产用光刻机，所述高度调节结构3包括滑套31、限位槽32、调节杆33、限位杆34、驱动套35、连接杆36和固定套37；所述底板1的底端设有四个用于导向的圆柱体结构的所述滑套31，所述滑套31背离所述底板1的一端圆周方向上设有三棱柱结构的用于二次限位的所述限位槽32，所述滑套31的内部设有圆柱体结构的带有外螺纹的用于调节高度的圆柱体结构的所述调节杆33，所述调节杆33上设有用于导向的正六边形结构的所述连接杆36，所述连接杆36与固定于所述工作台4底端的所述固定套37转动连接，所述连接杆36上设有滑动连接的用于驱动的正六边形结构的所述驱动套35，所述驱动套35的底端设有两个用于配合所述限位槽32滑动限位的所述限位杆34；首先滑动所述驱动套35，使所述驱动套35底端的所述限位杆34与所述限位槽32不卡合，然后通过扳手拧动所述调节杆33，所述调节杆33与所述滑套31螺纹连接，同时所述连接杆36与所述固定套37转动，调节所述工作台4的高度，使适用于不同的身高的操作者适用，所述调节杆33带有外螺纹，具有自动限位功能，同时通过滑动所述驱动套35，使所述限位杆34与所述限位槽32卡合，对所述调节杆33进行二次限位，大大提高了稳定性能。
具体的，如图1所示，本发明所述的一种芯片生产用光刻机，所述真空泵9的一端的所述工作台4上设有可拆卸连接的矩形结构的用于检修维护的检修板5；在清理检修所述真空泵9时，拆卸所述检修板5与所述工作台4之间的螺栓，将所述真空泵9取出清理和维护。
具体的，如图1、图3和图4所示，本发明所述的一种芯片生产用光刻机，所述检测结构6包括密封圈61、导流槽62、支撑板63、气垫64和放置槽65，所述工作台4上设有棱台形结构的用于放置芯片的所述放置槽65，所述放置槽65的侧壁设有用于检测的所述led灯7，用于放置芯片矩形结构的所述支撑板63贯穿于所述放置槽65与所述工作台4卡合，所述支撑板63与所述工作台4之间夹持于所述密封圈61，所述支撑板63上设有限性分布的横截面为梯形的用于聚流的所述导流槽62，相邻的两个所述导流槽62之间的所述支撑板63上设有线性分布的带有容纳空腔的半球形结构的所述气垫64；将芯片放置在所述支撑板63上的所述气垫64上，所述led灯7照射在芯片表面，便于在除灰的同时对芯片光刻质量进行检测，所述气垫64为带有容纳空腔的半球形结构，在芯片抵触所述气垫64时候所述气垫64收缩变形，有效防止芯片抵触所述气垫64损坏芯片，提高了检测质量，所述导流槽62的横截面为梯形结构，便于聚风，使芯片表面的灰尘清理效果更好，所述支撑板63与所述工作台4卡合，便于拆卸所述支撑板63，对所述支撑板63进行清理更换，所述密封圈61的设置增强了所述支撑板63与所述工作台4连接处的密封性，提高了除尘效果。
具体的，如图3、图4和图5所示，本发明所述的一种芯片生产用光刻机，所述积尘结构8包括导向杆81、拉杆82、收纳箱83、排风孔84、积灰凸起85和密封垫86，所述收纳箱83与所述工作台4滑动连接，用于积尘的所述收纳箱83与所述支撑板63抵触，所述收纳箱83的底端设有三棱柱体结构的用于限位的与所述工作台4滑动连接的所述导向杆81，所述收纳箱83的一端设有所述拉杆82，所述收纳箱83与所述工作台4交接处设有横截面为梯形结构的用于密封的所述密封垫86，且所述密封垫86与所述工作台4抵触，所述收纳箱83的侧壁设有带有半球形容纳空腔的半球形结构的用于积灰的所述积灰凸起85，所述积灰凸起85靠近所述支撑板63的一端设有用于排风的连通于所述真空泵9的圆台形结构的所述排风孔84；所述真空泵9开始工作，所述收纳箱83的内部空气从所述排风孔84排出，所述收纳箱83的内部形成负压，外部空气将所述支撑板63上的芯片的灰尘废屑吸入所述收纳箱83的内部，灰尘经过所述积灰凸起85拦截，空气从所述排风孔84排出，使灰尘拦截在所述收纳箱83的内部，所述积灰凸起85为半球形结构，同时圆台形的所述排风孔84的设置，有效的防止了所述收纳箱83堵塞影响除尘效果。
首先将所述底板1固定在光刻机的一侧，根据使用者的身高调节高度调节结构3从而调节工作台4的高度，将加工后的芯片放置在检测结构6上，打开led灯7和真空泵9的开关，真空泵9配合检测结构6的使用实现了积尘结构8的内部负压，将检测结构6上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构8的内部，快速的处理光刻后的灰尘，工作台4上设置的led灯7配合检测结构6的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，将生活用品零时存储在存储结构2的内部；具体的有：
(1)首先将底板1固定在光刻机的一侧，首先滑动驱动套35，使驱动套35底端的限位杆34与限位槽32不卡合，然后通过扳手拧动调节杆33，调节杆33与滑套31螺纹连接，同时连接杆36与固定套37转动，调节工作台4的高度，使适用于不同的身高的操作者适用，调节杆33带有外螺纹，具有自动限位功能，同时通过滑动驱动套35，使限位杆34与限位槽32卡合，对调节杆33进行二次限位，大大提高了稳定性能；
(2)将加工后的芯片放置在支撑板63上，打开led灯7和真空泵9的开关，将芯片放置在支撑板63上的气垫64上，led灯7照射在芯片表面，便于在除灰的同时对芯片光刻质量进行检测，气垫64为带有容纳空腔的半球形结构，在芯片抵触气垫64时候气垫64收缩变形，有效防止芯片抵触气垫64损坏芯片，提高了检测质量，导流槽62的横截面为梯形结构，便于聚风，使芯片表面的灰尘清理效果更好，支撑板63与工作台4卡合，便于拆卸支撑板63，对支撑板63进行清理更换，密封圈61的设置增强了支撑板63与工作台4连接处的密封性，提高了除尘效果，收纳箱83的内部空气从排风孔84排出，收纳箱83的内部形成负压，外部空气将支撑板63上的芯片的灰尘废屑吸入收纳箱83的内部，灰尘经过积灰凸起85拦截，空气从排风孔84排出，使灰尘拦截在收纳箱83的内部，积灰凸起85为半球形结构，同时圆台形的排风孔84的设置，有效的防止了收纳箱83堵塞影响除尘效果；
(3)在使用时候，拉动提手23，存储箱22与支撑架21滑动连接，将生活用具放置在存储箱22的内部，存储箱22的设置便于收纳生活用具，大大提高了加工环境的整洁性；
(4)在清理检修真空泵9时，拆卸检修板5与工作台4之间的螺栓，将真空泵9取出清理和维护。
本发明的真空泵9配合检测结构6的使用实现了积尘结构8的内部负压，便于将检测结构6上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构8的内部，便于快速的处理光刻后的灰尘，工作台4上设置的led灯7配合检测结构6的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，节省了了加工工序的时间，大大提高了工作效率，高度调节结构3设于工作台4与底板1之间，便于根据使用者的身高调节工作台4的高度，提高了使用舒适度。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施方式和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。