技术特征：
技术总结
本发明提供了一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，包括以下步骤：将3‑氨基苯酚与磷酸搅拌混合均匀，缓慢滴加乙酰乙酸乙酯，升温搅拌，冷凝回流，反应；经过滤纸在漏斗中过滤，洗涤；干燥得产物A；将产物A和四氢呋喃混合加热，冷凝回流，搅拌；降温，滴加丙烯酰氯，滴加完成后充入氮气，搅拌反应；加入去离子水，析出白色固体，洗涤；干燥得产物B；将产物B、贯叶连翘碱、丙烯酸酐、N‑乙酰半胱氨酸、酪蛋白、二硫苏糖醇、苯偶酰双甲醚和乙醇混合，在黑暗环境中搅拌均匀，过滤除去滤渣即得环保型光致抗蚀剂。本法所制备的环保型光致抗蚀剂的的透光率高，透光率性好，有助于应用，同时图形对比度高，分辨率佳，具有很好的光刻效果。
技术研发人员：牛杰
受保护的技术使用者：嘉兴市海德姆智能电气有限公司
技术研发日：2018.10.27
技术公布日：2019.02.19