供液系统的制作方法

本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种供液系统。

背景技术：

在半导体领域中，光刻工艺一直被认为是半导体制造中最关键的步骤，其在整个工艺过程中被多次使用，对产品的质量有着重要的影响。

现有的光刻工艺流程中，在晶圆的表面涂覆均匀的光刻胶是光刻工艺的重要步骤，目前，在光刻涂敷制程工艺中，主流的光刻胶供液方式通常采用气压式，如在Track机台中，光刻胶的供液方式即采用氮气加压的方式(N2 press)，此方式由于使用氮气加压光刻胶，因此在光刻胶的溶剂中，气体溶解率大幅上升，导致在光刻胶的供应中，会产生大量气泡，从而加大了后续机台过滤光刻胶中的气泡的负担。尤其当装载光刻胶的储液瓶呈现空瓶(empty)状态时，输送光刻胶的管路系统的前端可能会出现缺液现象，该缺液现象会造成气体进入到输送光刻胶的管路中，因此在更换光刻胶的储液瓶后，需进行手动排除位于管路中的气体的操作，以降低光刻胶的溶剂中的气体溶解率。采用该手动排除气体的操作，风险较高，从而容易产生缺陷，且增加了维护周期，降低了设备的利用率。

因此，设计一种新型的供液系统，以有效降低供液系统中液体中的气体溶解率、实现自动补液和自动排除管路中的气体，减少气泡的生成，以有效提高制程稳定性，提高产品质量，减少液体消耗量，降低维护成本，提高设备利用率，实属必要。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种供液系统，用于解决现有技术中，供液系统所提供的液体含有大量气泡及需手动排除气泡所产生的上述一系列问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种供液系统，所述供液系统包括储液装置及液体处理装置，其中，所述液体处理装置包括：

伸缩部件，所述伸缩部件与所述储液装置相连通；

驱动部件，所述驱动部件与所述伸缩部件相连接，通过所述驱动部件驱动所述伸缩部件运行。

可选的，所述供液系统还包括气泡检测装置。

可选的，所述供液系统还包括液位检测装置。

可选的，所述液位检测装置的个数包括2个～5个。

可选的，所述伸缩部件包括波纹管，所述波纹管包括塑料波纹管。

可选的，所述驱动部件包括电力驱动部件、液压驱动部件及气力驱动部件中的一种或组合。

可选的，所述驱动部件的运行方式包括自动式及手动式中的一种或组合。

可选的，所述供液系统还包括报警装置。

可选的，所述供液系统还包括回收装置。

可选的，所述供液系统包括光刻胶供液系统。

如上所述，本实用新型的供液系统，通过包括伸缩部件及驱动部件的液体处理装置，采用负压真空吸取方式，可降低伸缩部件中液体的气体溶解率，减少气泡的生成，且可实现自动补液功能；从而有效提高制程稳定性，提高产品质量，减少液体消耗量，降低维护成本，提高设备利用率。

附图说明

图1显示为本实用新型中的供液系统的结构示意图。

图2显示为本实用新型中的供液系统的操作流程示意图。

元件标号说明

100 储液装置

200 液体处理装置

210 伸缩部件

220 驱动部件

300 气泡检测装置

400 液位检测装置

401 第一液位检测装置

402 第二液位检测装置

403 第三液位检测装置

500 排液口

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

本实用新型提供一种供液系统，所述供液系统包括储液装置及液体处理装置，其中，所述液体处理装置包括：

伸缩部件，所述伸缩部件与所述储液装置相连通；

驱动部件，所述驱动部件与所述伸缩部件相连接，通过所述驱动部件驱动所述伸缩部件运行。

本实用新型的供液系统，通过包括伸缩部件及驱动部件的液体处理装置，采用负压真空吸取方式，可降低伸缩部件中液体的气体溶解率，减少气泡的生成，且可实现自动补液功能；从而有效提高制程稳定性，提高产品质量，减少液体消耗量，降低维护成本，提高设备利用率。

如图1，提供一种供液系统，所述供液系统包括储液装置100及液体处理装置200，其中，所述液体处理装置200包括：伸缩部件210及驱动部件220；所述伸缩部件210与所述储液装置100相连通；所述驱动部件220与所述伸缩部件210相连接，并通过所述驱动部件220驱动所述伸缩部件210运行。

具体的，所述驱动部件220可位于所述伸缩部件210的底端，所述伸缩部件210的顶端与所述储液装置100相连通，所述伸缩部件210可进行压缩及拉伸变形。通过所述驱动部件220可使得所述伸缩部件210进行拉伸，从而使得位于所述储液装置100中的液体受到负压，从而可使得所述液体自所述储液装置100进入所述伸缩部件210中，采用该种方式可有效避免气体进入所述液体中，从而减少所述液体的气体溶解率。通过所述驱动部件220还可使得所述伸缩部件210进行压缩，从而使得位于所述伸缩部件210中的所述液体受到挤压，从而通过位于所述伸缩部件210的顶端的排液口500排除位于所述伸缩部件210中的所述液体，以去除所述液体中的气泡，从而提高后续制备的产品质量。所述驱动部件220为所述伸缩部件210的压缩及拉伸变形提供动力，通过所述伸缩部件210的运行，可实现所述液体的补给及排放，从而降低所述伸缩部件210中的所述液体的气体溶解率，减少气泡的生成，且可实现补液功能。

作为该实施例的进一步实施例，所述供液系统还包括气泡检测装置300。

具体的，所述气泡检测装置300可位于所述伸缩部件210的顶端，通过所述气泡检测装置300可检测位于所述伸缩部件210内的所述液体中的气泡含量，以降低所述伸缩部件210中的所述液体的气体溶解率，提高自所述伸缩部件210中排出的所述液体的质量，以有效提高制程稳定性，提高产品质量，降低后续对所述液体进行去泡处理的难度，降低成本。所述气泡检测装置300的具体位置、种类、个数及分布可根据需要进行选择，此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述供液系统还可包括液位检测装置400，所述液位检测装置400的个数可包括2个～5个。

具体的，所述液位检测装置400可包括电容式液位传感器，通过所述液位检测装置400可检测位于所述伸缩部件210中的所述液体的液面高度，从而控制所述伸缩部件210中的所述液体的含量。本实施例中，所述供液系统包括3个所述液位检测装置400，自所述伸缩部件210的底端向所述伸缩部件210的顶端延伸，依次包括第一液位检测装置401、第二液位检测装置402及第三液位检测装置403，其中，所述第一液位检测装置401的位置位于所述伸缩部件210中的所述液体的初始液位处，所述第二液位检测装置402的位置位于所述液体的低液面处，所述第三液位检测装置403的位置位于所述液体的高液面处。所述液位检测装置400的具体种类、个数及分布，并不局限于此。

作为该实施例的进一步实施例，所述伸缩部件210可包括波纹管，所述波纹管可包括塑料波纹管。

具体的，由于波纹管具有良好的弹性，在压力、轴向力、横向力或弯矩作用下，能产生位移，因此可作为一种可折叠、可伸缩的管状弹性敏感元件。本实施例中，所述伸缩部件210优选为具有耐腐蚀、高韧性、高抗冲、弯曲性能好、灵敏度较高的所述塑料波纹管，如PVC波纹管，但所述伸缩部件210的种类并不局限于此，所述伸缩部件210的种类可根据所述液体的具体种类进行选择，此处不作过分限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述驱动部件220可包括电力驱动部件、液压驱动部件及气力驱动部件中的一种或组合，所述驱动部件220的运行方式可包括自动式及手动式中的一种或组合。

具体的，所述驱动部件220可采用如马达、气缸等，具体种类此处不作过分限制。本实施例中，所述驱动部件220采用较为常用的马达，且所述驱动部件220的运行方式采用自动运行方式，从而实现所述伸缩部件210的自动运行，以实现自动排泡及自动补液的过程，以提高效率，提高设备利用率，避免手动操作，降低风险。其中，可通过将所述驱动部件220、气泡检测装置300及液位检测装置400与控制器(未图示)相电连接的方式，以实现自动运行。但所述驱动部件220的运行方式也可采用手动式或自动式与手动式相结合的方式，此处不作过分限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述供液系统包括光刻胶供液系统。

具体的，所述储液装置100中的所述液体可包括光刻胶，从而所述供液系统可包括光刻胶供液系统，通过所述供液系统可降低所述伸缩部件210中的所述光刻胶的气体溶解率，减少气泡的生成，且可实现自动补液功能，从而有效提高制程稳定性，提高产品质量，减少所述光刻胶的消耗量，降低维护成本，提高设备利用率，但所述液体的种类并不局限于此。

如图2，本实施例还提供一种操作所述供液系统的流程示意图。

具体的，当所述储液装置100中缺少所述液体时，可更换所述储液装置100，而后通过所述液位检测装置400检测此时位于所述伸缩部件210中的所述液体的液面位置，即通过所述第三液位检测装置403检测所述液体是否处于所述高液面处。若所述第三液位检测装置403检测到所述液体，则通过所述气泡检测装置300检测所述液体中是否含有气泡，若无气泡，则所述伸缩部件210中的所述液体进行正常的供液，以进行生产；若通过所述气泡检测装置300检测到所述液体中含有气泡，则所述驱动部件220启动，通过所述驱动部件220压缩所述伸缩部件210，从而通过所述排液口500，排出位于所述伸缩部件210中的位于上端的所述液体，以去除所述液体中的气泡。其中，在进行排除所述液体中的气泡的步骤之后，优选重复进行气泡检测的步骤，以便于确保所述液体中气泡排除干净，提高后续产品质量。若更换所述储液装置100后，所述液位检测装置400检测到所述伸缩部件210中所述液体的液面不在所述高液面处，即所述第三液位检测装置403未检测到所述液体，则通过所述驱动部件220的拉伸，使得所述伸缩部件210的底端退回至所述初始液位处，在拉伸所述伸缩部件210的同时，使得所述液体产生负压，从而在负压的作用下，所述液体自所述储液装置100注入所述伸缩部件210中，从而完成所述伸缩部件210的补液过程。在补液过程结束后，优选再通过所述第三液位检测装置403检测所述液体的液位是否在所述高液位处，若否，可进行再次补液，若是，则进行上述气泡检测操作，当所述液体中无气泡后，进行供液。当所述伸缩部件210中的所述液体消耗至所述第二液位检测装置402所在的所述低液位处时，进行补液操作、液位检测操作及气泡检测操作，以实现所述液体的循环。

作为该实施例的进一步实施例，所述供液系统还可包括报警装置(未图示)。

具体的，所述报警装置可与所述第二液位检测装置402电连接，通过所述报警装置以及时警示工作人员所述伸缩部件210中的所述液体已低于所述低液位，从而可进一步降低产生气泡的可能性。所述报警装置可包括声报警器、光报警器中的一种或组合，具体种类可根据需要进行选择，此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述供液系统还可包括回收装置(未图示)。

具体的，所述回收装置可与所述排液口500相连接，当所述伸缩部件210进行压缩，排出带有气泡的所述液体时，可通过与所述排液口500相连接的所述回收装置回收排出的所述液体，而后可对回收的所述液体进行除泡处理，对所述液体进行再利用，以进一步的减少所述液体的消耗量，降低成本。

综上所述，本实用新型的供液系统，通过包括伸缩部件及驱动部件的液体处理装置，采用负压真空吸取方式，可降低伸缩部件中液体的气体溶解率，减少气泡的生成，且可实现自动补液功能；从而有效提高制程稳定性，提高产品质量，减少液体消耗量，降低维护成本，提高设备利用率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。