一种曝光机基板载台及曝光机的制作方法

文档序号:18802019发布日期:2019-10-08 20:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种曝光机基板载台,其特征在于,包括载台本体,所述载台本体的上表面设置有支撑纹,所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹;多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。

2.根据权利要求1所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述直线型支撑纹和所述柱状支撑纹的高度相同,为3.1-3.8mm。

3.根据权利要求1所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述柱状支撑纹为多个且均匀设置在所述直线型支撑纹的两侧。

4.根据权利要求3所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述直线型支撑纹为平行设置的两条,多个所述柱状支撑纹呈行地设置在两条所述直线型支撑纹的两侧。

5.根据权利要求4所述的曝光机基板载台,其特征在于,两条所述直线型支撑纹之间的距离为0.5-1mm;所述直线型支撑纹的宽度为0.2-1mm。

6.根据权利要求4或5所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述柱状支撑纹的横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm;相邻两个柱状支撑纹之间的间隔为0.8-1.2mm。

7.根据权利要求1所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述柱状支撑纹为多个且呈阵列地布置在所述载台本体上,且位于阵列中部的一排柱状支撑纹中,相邻两个柱状支撑纹之间通过直线型支撑纹连接。

8.根据权利要求7所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述直线型支撑纹的宽度为0.2-0.5mm。

9.根据权利要求7或8所述的曝光机基板载台,其特征在于,所述柱状支撑纹横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm。

10.一种曝光机,其特征在于,包括权利要求1-9任意一种所述的曝光机基板载台。

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