一种曝光机基板载台及曝光机的制作方法

本实用新型涉及TFT-LCD彩膜工艺设备技术领域，并且更具体地，涉及到一种曝光机基板载台及曝光机。

背景技术：

TFT-LCD彩膜工艺设备中，曝光工序需要使用曝光机，曝光机包括用于承载待曝光基板的基板载台，如图1，图2所示，现有技术的基板载台上设置有波浪形的载台纹路，在波浪形的载台纹路两侧设置有柱状支撑纹，其中，波浪线为平行布置的两条，两条波浪线之间的间距为1mm-2mm，相邻两个柱状支撑纹之间的间距为3-4mm，在生产过程中，随着玻璃基板的厚度的减小，玻璃基板上产生的拉姆现象(stage mura)越来越严重，由此导致了产品的良率大幅度的降低尤其对于0.4mm以下厚度的玻基板，形变量较大，由此导致小厚度玻璃基板的制造成本急剧增加。

基于此，现有技术仍然有待改进。

技术实现要素：

本实用新型针对上述问题，目的在于提供一种曝光机基板载台及曝光机，其能解决现有技术的小厚度玻璃基板的拉姆现象严重的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一方面，本实用新型的实施例公开了一种曝光机基板载台，包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。

进一步地，所述直线型支撑纹和所述柱状支撑纹的高度相同，为3.1-3.8mm。

进一步地，所述柱状支撑纹为多个且均匀设置在所述直线型支撑纹的两侧。

进一步地，所述直线型支撑纹为平行设置的两条，多个所述柱状支撑纹呈行地设置在两条所述直线型支撑纹的两侧。

进一步地，两条所述直线型支撑纹之间的间距为0.5-1mm；所述直线型支撑纹的宽度为0.2-1mm，优选为0.3-0.8mm，更优选为0.5mm。

进一步地，所述柱状支撑纹的横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm；相邻两个柱状支撑纹之间的间隔为0.8-1.2mm。

进一步地，所述柱状支撑纹为多个且呈阵列地布置在所述载台本体上，且位于阵列中部的一排柱状支撑纹中，相邻两个柱状支撑纹之间通过直线型支撑纹连接。

进一步地，所述直线型支撑纹的宽度为0.2-0.5mm。

进一步地，所述柱状支撑纹横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm。

另一方面，本实用新型实施例还公开了一种曝光机，其包括上述任意一种所述的曝光机基板载台。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹结合使用，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1，图2为本实用新型现有技术的载台纹路结构示意图；

图3为本实用新型一实施例结构示意图；

图4为本实用新型又一实施例结构示意图。

具体实施方式

以下描述了本公开的实施例。然而，应该理解，所公开的实施例仅仅是示例，并且其他实施例可以采取各种替代形式。附图不一定按比例绘制；某些功能可能被夸大或最小化以显示特定部件的细节。因此，本文公开的具体结构和功能细节不应被解释为限制性的，而仅仅是作为用于教导本领域技术人员以各种方式使用本实用新型的代表性基础。如本领域普通技术人员将理解的，参考任何一个附图所示出和描述的各种特征可以与一个或多个其他附图中所示的特征组合以产生没有明确示出或描述的实施例。所示特征的组合为典型应用提供了代表性实施例。然而，与本公开的教导相一致的特征的各种组合和修改对于某些特定应用或实施方式可能是期望的。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型的实施例公开了一种曝光机基板载台，包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹1和多个柱状支撑纹2；多个所述柱状支撑纹2设置在所述直线型支撑纹1的周围。本实施例通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹2结合使用，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。

本实用新型一些优选的实施例中，所述直线型支撑纹1和所述柱状支撑纹2的高度相同，为3.1-3.8mm。所述柱状支撑纹2为多个且均匀设置在所述直线型支撑纹1的两侧。

如图3所示，本实用新型一些优选的实施例中，载台本体上表面的支撑纹中，所述直线型支撑纹1为平行设置的两条，多个所述柱状支撑纹2呈行地设置在两条所述直线型支撑纹1的两侧。其中，所述直线型支撑纹1的宽度为0.2-1mm，优选为0.3-0.8mm，更优选为0.5mm，两条所述直线型支撑纹1之间的距离为0.5-1mm，所述柱状支撑纹2可以为长方体或者圆柱体，其横截面的宽度或直径可以为0.8-1.2mm；相邻两个柱状支撑纹2之间的间隔为0.8-1.2mm。图3所示实施例中，直线型支撑纹1的宽度为0.1mm，两条直线型支撑纹1之间的间距为0.9mm，柱状支撑纹2为长方体支撑纹，其横截面的正方形长和宽为1mm，高度为3.5mm，相邻两个柱状支撑体之间的间距为1mm，柱状支撑纹2为四排，在直线型支撑纹1的两侧各设置两排，且均匀分布。柱状支撑纹2和直线型支撑纹1之间的间距为0.5mm。采用本实施例所公开的载台本体，在进行曝光操作时，对于0.4mm的产品，拉姆(即色不均)现象改善显著，对于因拉姆(即色不均)现象而导致的产品不良率，由10-15％降低至＜1％。

如图4所示，本实用新型一些优选的实施例中，在载台本体上表面的支撑纹设计中，所述柱状支撑纹2为多个且呈阵列地布置在所述载台本体上，且位于阵列中部的一排柱状支撑纹2中，相邻两个柱状支撑纹2之间通过直线型支撑纹1连接，使得的直线型支撑纹1位于同一直线上。其中，所述直线型支撑纹1的宽度为0.2-0.5mm，所述柱状支撑纹2横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm，柱状支撑纹2优选采用长方体结构的在柱状支撑纹2，相邻两个柱状支撑纹2之间的间距为0.8-1.2mm。图4所示的实施例中，直线型支撑纹1的宽度为0.3mm，长方体结构的柱状支撑纹2中，横截面的正方形长和宽均为1mm，相邻两个柱状支撑体之间的间距也为1mm。采用本实施例所公开的载台本体，在进行曝光操作时，对于0.4mm的产品，拉姆现象改善显著，对于因拉姆(即色不均)现象而导致的产品不良率，由10-15％降低至＜1％。

本实用新型一些实施例公开了一种G5NSK曝光机(NSK RZ-700HX)，玻璃载台尺寸1350*1350mm(有效区域1300*1300mm),玻璃载台上的纹路采用上述实施例所公开的支撑纹，支撑纹的高度3.5mm。与采用现有的玻璃载台纹路相比，用于厚度为0.4mm玻璃基板曝光作业时，对于因拉姆现象而导致的产品不良率，由10％～15％降低至<1％；对于厚度为0.3mm的玻璃基板曝光作业时，对于因拉姆现象而导致的产品不良率，由20％～30％降低至<5％。

需要指出的是，本实用新型上述实施例过公开的基板载台上的支撑纹，其可以分别地设置在基板载台的四个边处，在基板载台上围合成方形。

综上所述，本实用新型通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹结合使用，并将支撑纹的间距等特性进行了改进，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。

应当理解的是，在本文中使用的，除非上下文清楚地支持例外情况，单数形式“一个”旨在也包括复数形式。还应当理解的是，在本文中使用的“和/或”是指包括一个或者一个以上相关联地列出的项目的任意和所有可能组合。并且，上述本实用新型实施例公开实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

上述实施例是实施方式的可能示例，并且仅仅为了清楚理解本实用新型的原理而提出。所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型实施例的保护范围之内。