一种涂布机刮片装置及涂布机的制作方法

文档序号:18802015发布日期:2019-10-08 20:08阅读:444来源:国知局
一种涂布机刮片装置及涂布机的制作方法

本实用新型涉及TFT-LCD彩膜工艺设备技术领域,并且更具体地,涉及到一种涂布机刮片装置及涂布机。



背景技术:

TFT-LCD彩膜工艺设备中,光刻胶涂布是光刻工艺中的重要工序。目前光刻胶涂布工序通常采用涂布机实现,常见的涂布机具有线性喷嘴,线性喷嘴上设置有供光刻胶流出的缝隙,通过线性喷嘴与基板之间的相对运动,将由缝隙流出的光刻胶涂布于基板上,以在基板上形成光刻胶层。

由于涂布机刀头内光阻容易结晶的特性,在光刻胶涂布中,光刻胶容易发生结晶而堵塞刀头,造成涂布不良,现有技术中,为了解决这一问题,在涂布机复机开始涂布作业之前,或者在发生涂布不良时,会用50-80um厚度的金属薄片刮拭几次刀头,确保刀头通畅,但由于人工刮拭刀头时深度控制不好,或者力度大小因人不同,经常会刮伤刀头内壁。

基于此,现有技术仍然有待改进。



技术实现要素:

本实用新型针对上述问题,目的在于提供一种涂布机刮片装置及涂布机,其能解决现有技术的人工刮拭难度大,容易损伤刀头内壁的技术问题。

为达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一方面,本实用新型的实施例公开了一种涂布机刮片装置,包括刮片、固定底座、驱动机构和导轨,其中,

所述刮片固定在所述固定底座上,所述驱动机构带动所述固定底座在所述导轨上匀速位移。

进一步地,所述驱动机构包括安置在所述固定底座底部的滚轮,以及带动所述滚轮旋转的马达。

进一步地,所述马达的输出轴上设置有输出齿轮,所述滚轮上设置有滚动齿轮,所述输出齿轮与所述滚动齿轮啮合,以带动所述滚动齿轮旋转。

进一步地,所述马达固定在所述底座的下方。

进一步地,还包括限位开关,所述限位开关设置在所述导轨的两端,以限制所述刮片的行程。

进一步地,所述刮片包括:

用于伸入刀头缝隙内的功能部,以及,

用于固定在固定底座上的延伸部;

所述延伸部的上端与所述功能部的下端连接。

进一步地,所述延伸部与所述功能部一体成型。

进一步地,所述延伸部的厚度大于所述功能部的厚度,且,所述延伸部的厚度大于所述刀头缝隙的宽度。

进一步地,所述功能部的厚度为50-80微米;

所述功能部的高度为0.8-1.2cm。

另一方面,本发明实施例还公开了一种涂布机,其包括涂布基台、涂布喷嘴和上述的涂布机刮片装置,其中,所述导轨安装在所述涂布基台的一端,所述涂布喷嘴可移动至所述导轨的正上方。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型通过驱动机构带动固定底座在导轨内匀速移动,从而使得刮片可以在同一伸入深度的情况下,匀速地刮拭刀头的线性缝隙,确保了涂布机喷嘴刀头内壁的安全,同时自动化的刮拭操作,可以有效提高刮拭效率,避免了人工刮拭时,工作人员不得不接触光刻胶等化学药液,所带来的工作危害,提升了作业的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1为本实用新型一实施例结构示意图;

图2为本实用新型又一实施例结构示意图;

图3为本实用新型一实施例中的导轨和滚轮侧视图;

图4为本实用新型一实施例中的导轨和固定底座俯视图;

图5,图6为本实用新型又一实施例结构示意图。

具体实施方式

以下描述了本公开的实施例。然而,应该理解,所公开的实施例仅仅是示例,并且其他实施例可以采取各种替代形式。附图不一定按比例绘制;某些功能可能被夸大或最小化以显示特定部件的细节。因此,本文公开的具体结构和功能细节不应被解释为限制性的,而仅仅是作为用于教导本领域技术人员以各种方式使用本发明的代表性基础。如本领域普通技术人员将理解的,参考任何一个附图所示出和描述的各种特征可以与一个或多个其他附图中所示的特征组合以产生没有明确示出或描述的实施例。所示特征的组合为典型应用提供了代表性实施例。然而,与本公开的教导相一致的特征的各种组合和修改对于某些特定应用或实施方式可能是期望的。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

如图1,图2,图3,图4所示,本实用新型实施例公开了一种涂布机刮片2装置,其包括刮片2、固定底座3、驱动机构和导轨4,其中,

所述刮片2固定在所述固定底座3上,所述驱动机构带动所述固定底座3在所述导轨4上匀速位移。

本实施例通过驱动机构带动固定底座3在导轨4内匀速移动,从而使得刮片2可以在同一伸入深度的情况下,匀速地刮拭刀头1的线性缝隙,确保了涂布机喷嘴刀头1内壁的安全,同时自动化的刮拭操作,可以有效提高刮拭效率,避免了人工刮拭时,工作人员不得不接触光刻胶等化学药液,所带来的工作危害,提升了作业的安全性。

如图3,图5,图6所示,本实用新型的一些实施例中,涂布机刮片2装置的所述驱动机构包括安置在所述固定底座3底部的滚轮6,以及带动所述滚轮6旋转的马达7。优选地,所述马达7的输出轴上设置有输出齿轮8,所述滚轮6上设置有滚动齿轮,所述输出齿轮8与所述滚动齿轮啮合,以带动所述滚动齿轮旋转。进一步优选地,所述马达7固定在所述底座的下方。

上述实施例中,通过低速马达7带动滚轮6在导轨4内滚动,导轨4优选为两个,相对设置,滚轮6的两端分别位于两个导轨4内,进一步提高滚轮6移动的稳定性,从而带动刮片2实现刮拭动作,进一步地,低速马达7的输出轴与滚轮6之间直接通过齿轮啮合连接,连接稳定,马达7通过正转、反转控制底座左右往返运动,使得刮片2移动速度均匀,刮拭力度也均匀,从而更加有效地保护了刀头1内壁。

本发明一些优选的实施例中,如图2所示,在上述实施例的基础上,涂布机刮片2装置还包括限位开关5,所述限位开关5设置在所述导轨4的两端,以限制所述刮片2的行程。使用时,滚轮6先有一侧的限位开关5处开始移动,至限位开关5处停止,然后驱动装置带动其向回移动,在导轨4上往返一次,完成刮拭作业。

本实用新型一些实施例中,在上述实施例的基础上,为进一步保证刮片2刮拭的稳定性,刮片2可选用长3-5cm,宽2cm,厚度50~80微米的PVC薄膜。所述刮片2结构还可以包括:用于伸入刀头1缝隙内的功能部21,以及,用于固定在固定底座3上的延伸部22;所述延伸部22的上端与所述功能部21的下端连接。使用时,延伸部22的下端固定在固定底座3上,功能部21伸入刀头1缝隙,从而可以有效控制伸入深度。一些优选的实施例中,所述延伸部22与所述功能部21一体成型,可在延伸部22与功能部21的连接处设置标识,以避免刮片2伸入的不足或伸入过深。

本实用新型一些优选的实施例中,所述延伸部22的厚度大于所述功能部21的厚度,且,所述延伸部22的厚度大于所述刀头1缝隙的宽度。延伸部22的厚度大于刀头1缝隙的宽度,避免了过深的插入,同时也避免了插入深度不足,给插入作业时提供了可靠指示。

本实用新型一些优选的实施例中,所述功能部21的厚度为50-80微米;所述功能部21的高度为0.8-1.2cm。

本发明实施例还公开了一种涂布机,如图2所示,其包括涂布基台、涂布喷嘴和上述任意一种涂布机刮片2装置,其中,所述导轨4安装在所述涂布基台的一端,所述涂布喷嘴可移动至所述导轨4的正上方。其中,驱动装置可选用普通15W调速电机-弘禄机电41K25RGNC(10*5cm)共1个,限位开关5可选用正泰限位开关5YBLXW-6/11CL共2个,导轨4为2根,长度为1.2米,两根导轨4相对设置,直径20mm和直径35mm PET材质齿轮各一个,直径20mm的PET材质齿轮作为输出齿轮8,直径35mmPET材质齿轮作为滚轮齿轮,固定底座3采用PVC材质,固定底座3长5cm*宽3cm*高度5cm,运行速度可采用5cm/sec,往返刮拭一次约需要40sec。在保证刮拭安全性的基础上,可大大提高刮拭效率。

综上所述,本发明实施例所公开的涂布机刮片装置,以及采用这种刮片装置的涂布机,通过驱动机构带动固定底座在导轨内匀速移动,从而使得刮片可以在同一伸入深度的情况下,匀速地刮拭刀头的线性缝隙,减少涂布刀头刮伤频率,降低维修费用;改用机台自动刮拭刀头,代替技术员手动刮拭,节约人力,提升机台自动化的效率,避免人员过多接触光刻胶/PGMEA等化学药液,提升作业安全性。

应当理解的是,在本文中使用的,除非上下文清楚地支持例外情况,单数形式“一个”旨在也包括复数形式。还应当理解的是,在本文中使用的“和/或”是指包括一个或者一个以上相关联地列出的项目的任意和所有可能组合。并且,上述本发明实施例公开实施例序号仅仅为了描述,不代表实施例的优劣。

上述实施例是实施方式的可能示例,并且仅仅为了清楚理解本发明的原理而提出。所属领域的普通技术人员应当理解:以上任何实施例的讨论仅为示例性的,并非旨在暗示本发明实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子;在本发明实施例的思路下,以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合,并存在如上所述的本发明实施例的不同方面的许多其它变化,为了简明它们没有在细节中提供。因此,凡在本发明实施例的精神和原则之内,所做的任何省略、修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明实施例的保护范围之内。

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