1.一种图案形成方法,其包括:
曝光工序,通过激光对感光膜进行曝光;及
显影工序,对所述曝光后的所述感光膜进行显影来获得图案,
所述感光膜包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种前体以及鎓盐。
2.根据权利要求1所述的图案形成方法,其中,
所述激光的波长为250nm~550nm。
3.根据权利要求1或2所述的图案形成方法,其中,
所述感光膜还包含具有多个羧基且分子量为1000以下的化合物。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成方法,其中,
所述感光膜还包含具有亚硫酸酯结构的化合物。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的图案形成方法,其在所述显影工序之后包括通过对所述图案进行加热来获得固化图案的固化工序。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的图案形成方法,其中,
所述鎓盐中的阳离子包含选自由四烷基铵阳离子、锍阳离子及碘鎓阳离子组成的组中的至少一种阳离子。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的图案形成方法,其中,
所述鎓盐包含铵阳离子作为阳离子,且所述鎓盐包含共轭酸的pka为1.8以下的阴离子作为阴离子。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的图案形成方法,其还包含含有第4族元素的化合物。
9.根据权利要求8所述的图案形成方法,其中,
所述含有第4族元素的化合物为光自由基产生剂。
10.根据权利要求8或9所述的图案形成方法,其中,
所述含有第4族元素的化合物为包含选自由钛原子、锆原子及铪原子组成的组中的至少1个的有机化合物。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的图案形成方法,其中,
所述含有第4族元素的化合物包含选自由茂金属及茂金属衍生物组成的组中的至少一种。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的图案形成方法,其中,
所述感光膜为通过狭缝涂布形成的感光膜。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的图案形成方法,其中,
所述感光膜形成于矩形基材上。
14.一种感光性树脂组合物,其包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种前体以及鎓盐,
所述感光性树脂组合物用于权利要求1至13中任一项所述的图案形成方法中的所述感光膜的形成。
15.一种固化膜,其是由权利要求14所述的感光性树脂组合物形成的。
16.根据权利要求15所述的固化膜,其用作再配线层用层间绝缘膜。
17.一种层叠体,其包含2层以上的权利要求15或16所述的固化膜。
18.根据权利要求17所述的层叠体,其中,
在所述固化膜之间还包含金属层。
19.一种器件,其包含权利要求15或16所述的固化膜或者权利要求17或18所述的层叠体。