描画装置的制作方法

1.本发明涉及一种描画装置。


背景技术：

2.以往，已知在柔性基板等长条的基材上描画图案的描画装置。在描画装置中，依次设置有：供给部，保持用于基材卷绕的供给辊；描画部，在基材上描画图案；以及回收部，利用回收辊卷绕基材。在描画部中，从供给辊拉出的基材的一部分被保持在工作台上，一边移动工作台一边在该部分上照射光，从而描画图案。被描画有图案的部分由回收辊卷绕。在这种描画装置种，在供给部与描画部之间、以及在描画部与回收部之间设置有吸收基材的松弛的跳动辊等。
3.另一方面，在描画部的两侧，经由跳动辊等配置供给部以及回收部的情况下，需要较大地占用描画装置的设置空间。另外，由于供给部与回收部之间的基材的搬运距离较长，也会产生基材的弯曲等的问题。因此，在日本特开2019
‑
53140号公报(文献1)中，公开了如下装置：在设置有工作台的基座上，在工作台的两侧配置供给部以及回收部，在图案的描画过程中移动工作台时，供给部以及回收部也在与工作台一起在相同的方向上移动。
4.另外，在沿着基材的长度方向依次设置有供给部、描画部以及回收部的装置中，在进行供给辊以及回收辊的替换时，操作者需要在夹着描画部的两侧的位置之间移动，从而不能高效地进行替换操作。另外，如文献1所示，在工作台的两侧配置有供给部以及回收部的装置中也产生相同的问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于，提供在长条的基材上描画图案的描画装置，高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。
6.本发明的描画装置包括：供给部，保持卷绕有长条的基材的供给辊；工作台，将从所述供给部拉出的所述基材保持于保持面；回收部，利用回收辊卷绕通过了所述保持面的所述基材；搬运部，具有搬运辊，在非图案描画时，沿着从所述供给部通过所述保持面至所述回收部的搬运路径搬运所述基材；光射出部，在图案描画时，朝向所述保持面上的所述基材射出调制的光；以及移动机构，在图案描画时，在沿着保持于所述保持面上的所述基材的长度方向的移动方向上，使所述工作台相对于所述光射出部移动。在沿着所述保持面上的所述基材的宽度方向观察时，在所述移动方向上的、位于所述工作台的一端附近的折返位置，所述搬运路径在所述移动方向上被折返，并且在与所述折返位置相比更靠所述工作台侧，配置有所述供给部以及所述回收部。
7.根据本发明，能够高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。
8.优选为，所述移动机构使所述工作台在所述移动方向上连续地移动，并且所述供给部以及所述回收部能够在所述移动方向上移动。
9.优选为，描画装置还包括支承所述工作台、所述供给部以及所述回收部的基座部，
所述移动机构移动所述基座部。
10.优选为，所述供给部以及所述回收部彼此相邻地配置。
11.优选为，描画装置还包括校正值获取部，该校正值获取部具有相对于所述工作台的相对的位置被固定的校正用检测部，通过在校正动作中将来自所述光射出部的光照射至所述校正用检测部，获取关于所述光射出部与所述工作台之间的相对位置的校正值，沿着所述移动方向依次排列有所述工作台、所述折返位置以及所述校正用检测部。
12.上述的目的以及其它的目的、特征、实施方式以及优点通过参照附图对本发明进行如下的详细说明而进一步体现。
附图说明
13.图1是表示描画装置的结构的图。
14.图2是表示描画装置的局部功能结构的框图。
15.图3是表示描画装置的平面图。
16.图4是表示在基材上描画图案的动作流程的图。
17.图5是表示比较例的描画装置的图。
18.图6是表示描画装置的另一例的图。
19.其中，附图标记说明如下：
20.1、1a：描画装置
21.4：载物台移动机构
22.6：校正值获取部
23.9：基材
24.31：光射出部
25.50：基座部
26.51：供给部
27.52：工作台
28.53：回收部
29.54：搬运部
30.61：校正用检测部
31.71：修正用拍摄部
32.96：参照标记
33.511：供给辊
34.521：保持面
35.531：回收辊
36.541～546：辊
具体实施方式
37.图1是表示本发明的一实施方式的描画装置1的结构的图。在图1中，将彼此正交的三个方向作为x方向、y方向以及z方向，并用箭头表示(在其它的附图中也相同)。在图1的示例中，x方向以及y方向为水平方向，z方向为上下方向(铅垂方向)。根据描画装置1的设计，z
方向可以是相对于上下方向倾斜的方向，或者也可以是水平方向。
38.描画装置1是在长条的基材9上的感光材料上照射光，并在该感光材料上描画布线等图案的装置。基材9例如是柔性基板，由树脂等形成。描画装置1包括控制单元2、描画单元3、载物台移动机构4以及载物台单元5。控制单元2例如是具有cpu等的计算机。控制单元2控制描画单元3、载物台移动机构4以及载物台单元5。
39.描画单元3包括单元支承部39、光射出部31以及多个修正用拍摄部71。单元支承部39设置在平台10上，且形成为跨过平台10上的载物台移动机构4以及载物台单元5的门状。在图1中，用虚线表示单元支承部39。光射出部31以及多个修正用拍摄部71由单元支承部39支承，并配置在载物台移动机构4以及载物台单元5的上方((+z)侧)。
40.光射出部31包括多个描画头32。多个描画头32沿着x方向(以下，称为“宽度方向”。)排列。在本实施方式中，多个描画头32沿着宽度方向交错地配置(参照后述的图3)。各描画头32包括光源33和光调制部34。光源33例如具有半导体激光、固体激光或气体激光等，并朝向光调制部34射出激光。光调制部34调制来自光源33的光。将由光调制部34调制后的光朝向由载物台单元5保持的基材9射出。作为光调制部34例如利用多个光调制元件二维排列的dmd(数字镜设备)等。光调制部34也可以是多个光调制元件一维排列的调制器等。修正用拍摄部71的详细内容将在后述。
41.载物台移动机构4设置在平台10上，具有导轨、导向块、电动机(例如直线电动机)以及直线标尺等。载物台移动机构4使载物台单元5在y方向(以下，称为“移动方向”。)上移动。由此，在后述的工作台52上保持的基材9上，在移动方向上扫描来自光射出部31(多个描画头32)的光的照射位置。在描画装置1中，通过与利用载物台移动机构4使载物台单元5移动同步地控制光射出部31，在基材9上描画图案。
42.载物台单元5包括基座部50、供给部51、工作台52、回收部53、搬运部54以及多个校正用检测部61。基座部50是在移动方向以及宽度方向上扩展的板状，并被固定至载物台移动机构4的移动体。供给部51、工作台52、回收部53、搬运部54以及多个校正用检测部61设置在基座部50上，并由基座部50支承。
43.供给部51以及回收部53在基座部50的(－y)侧的部分上彼此相邻地设置。供给部51具有多个供给辊511。各供给辊511是在卷筒上卷绕基材9的辊，并且被保持为能够以该卷筒为中心旋转。多个供给辊511在宽度方向上彼此稍微分开地设置。在图1的示例中，多个供给辊511配置在沿移动方向错开的位置(在后述的回收辊531中也相同)。
44.回收部53包括多个回收辊531。各回收辊531是在卷筒上卷绕基材9的辊，并且被保持为能够以该卷筒为中心旋转。例如具有电动机的旋转机构与回收辊531连接。多个回收辊531在宽度方向上彼此稍微分开地设置。在宽度方向上，多个回收辊531与多个供给辊511配置在彼此相同的位置。在图1的示例中，配置在宽度方向上的相同位置的回收辊531以及供给辊511在移动方向上直接(不夹着其它构件)相向。在描画装置1中，从各供给辊511拉出的基材9在经由工作台52等之后，由与该供给辊511在宽度方向上的相同位置配置的回收辊531卷绕。
45.工作台52是在移动方向以及宽度方向上扩展的板状，并在朝向下方((－z)方向)的面上固定有工作台支承台526。在工作台支承台526上设置有在y方向上贯通的空间作为连通路径527。工作台52经由工作台支承台526固定至基座部50。在图1的示例中，在工作台
52与基座部50之间未设置有移动机构，并且工作台52的位置相对于基座部50固定。
46.工作台52的朝向上方的面为保持面521。保持面521是在移动方向以及宽度方向上扩展的平面，吸引并吸附保持从各供给辊511拉出的基材9。在保持面521上能够在基材9的吸附与吸附的解除之间进行切换。在保持面521上保持的各基材9的长度方向沿着移动方向，并且在保持面521上，从多个供给辊511拉出的多个基材9在宽度方向上排列。该宽度方向与在保持面521上保持的基材9的宽度方向相同。也可以使用机械卡盘机构等将基材9保持在保持面521上。
47.搬运部54包括多个测定辊541、一对升降辊542、一个折返辊543、一个驱动辊544、一个压送辊545以及多个辅助辊546。各辊541～546被支承成为能够以大致平行于宽度方向的轴为中心旋转。各供给辊511与相对应的回收辊531之间的基材9的部分挂在辊541～546上，并从供给辊511被搬运至回收辊531。辊541～546是用于基材9的搬运的搬运辊。
48.测定辊541以及辅助辊546的数量与供给辊511以及回收辊531的数量相同。即，从多个供给辊511拉出的多个基材9分别通过多个测定辊541以及多个辅助辊546，并卷绕在多个回收辊531上。在以下的说明中，对于供给辊511以及回收辊531各自的数量，即在工作台52的保持面521上排列的基材9的数量，以两个为例进行说明，但也可以是一个或者三个以上。测定辊541以及辅助辊546的数量也相同。
49.各测定辊541配置在供给辊511与工作台52之间。在测定辊541上安装有包括负载传感器等的张力测定部，能够测定挂在该测定辊541的基材9的张力。一对升降辊542分别配置在工作台52的(+y)侧以及(－y)侧。在各升降辊542上挂有两个基材9。升降机构549与一对升降辊542连接。升降机构549选择性地将一对升降辊542配置在下位置与上位置，所述下位置为一对升降辊542的上端位于与工作台52的保持面521大致相同的高度的位子，所述上位置为位于保持面521的稍上方的位置。
50.折返辊543相对于(+y)侧的升降辊542配置在与工作台52相反一侧。折返辊543的上端配置在工作台52的保持面521的稍下方。两个基材9挂在折返辊543上。驱动辊544配置在折返辊543的(－z)侧及(－y)侧。压送辊545与驱动辊544邻近配置，并在辊544与压送辊545之间夹着两个基材9。具有电动机的旋转机构与驱动辊544连接。各辅助辊546配置在回收辊531的附近。
51.在搬运部54搬运基材9时，通过将一对升降辊542配置在上方位置来使基材9从保持面521向上方稍微分离。在该状态下，通过驱动辊544沿图1中的逆时针旋转，基材9的在长度方向上连续的部分从供给部51的各供给辊511依次被拉出。从供给辊511拉出的基材9(的各部分)立即通过测定辊541，并经由(－y)侧的升降辊542到达与工作台52的保持面521相向的位置。与保持面521相向的基材9经由(+y)侧的升降辊542到达折返辊543，并且行进方向沿着折返辊543的表面折返。通过折返辊543的基材9经由驱动辊544朝向工作台52的下方的连通路径527。通过了路径527的基材9到达辅助辊546，并由回收部53的回收辊531卷绕。
52.在描画装置1后述的动作中，基材9的各部分暂时保持在工作台52的保持面521上，并在该部分上描画图案。换言之，从供给辊511拉出的基材9的各部分在到达回收辊531之前通过工作台52的保持面521。因此，在描画装置1中，可以说是设置有从供给部51通过工作台52的保持面521再到回收部53的搬运路径。如图1所示，沿着宽度方向观察时，搬运路径(基材9)将折返辊543作为折返位置而在移动方向上折返。作为折返位置的折返辊543在移动方
向上位于工作台52的一端((+y)侧的一端)的附近，并与供给辊511以及回收辊531相比更邻近工作台52。折返辊543优选为，与除了一对升降辊542之外的任意的搬运辊相比，更邻近工作台52。
53.在搬运部54中，在不从光射出部31朝向基材9射出光、且不在基材9上描画图案的期间(即，在非描绘图案时)，基材9沿着该搬运路径被搬运。需要说明的是，根据描画装置1的设计，通过取代升降机构549而设置使工作台52在上下方向上移动的机构，从而，在基材9的搬运时，基材9也可以与保持面521分离。另外，根据材料9以及工作台52的材质等，基材9也可以在与保持面521接触的情况下被搬运。
54.如上所述，在测定辊541上安装有张力测定部。另外，在供给部51中，例如设置有磁粉制动器。在基材9搬运时，基于张力测定部对基材9测定的张力测定值，调整向磁粉制动器供给的电流，由此，将搬运路径上的基材9的张力近似恒定地维持为规定的设定值。
55.图2是表示描画装置1的局部功能结构的框图。描画装置1还包括校正值获取部6、修正值获取部7以及描画控制部21。校正值获取部6获取关于光射出部31与工作台52之间的相对位置的校正值。校正值获取部6包括前述的校正用检测部61与校正值计算部62。修正值获取部7获取关于基材9与工作台52之间的相对位置的修正值。修正值获取部7包括前述的修正用拍摄部71与修正值计算部72。在本实施方式中，设置有多个校正用检测部61以及多个修正用拍摄部71，但在图2中，仅示出了一个校正用检测部61以及一个修正用拍摄部71。校正值计算部62以及修正值计算部72与描画控制部21一起，由控制单元2实现。这些功能的全部或一部分也可以由专用的电路实现。
56.图3是表示描画装置1的平面图，在图3中，仅示出了光射出部31、多个修正用拍摄部71、多个校正用检测部61、折返辊543、工作台52与多个基材9。如图1所示，校正值获取部6的多个校正用检测部61在基座部50上设置在折返辊543以及驱动辊544的(+y)侧。如图3所示，校正用检测部61的数量例如与工作台52上的基材9的数量相同，在宽度方向(x方向)上，多个校正用检测部61配置在与多个基材9相同的位置。在图3的示例中，设置有两个校正用检测部61。在各校正用检测部61与基座部50之间未设置移动机构，并且校正用检测部61的位置相对于基座部50固定。换言之，在校正用检测部61中，与工作台52相对应的位置是固定的。
57.各校正用检测部61包括校正用拍摄部616。光射出部31在描画执行期间以外的任意时刻，朝向校正用拍摄部616照射光。校正用拍摄部616基于来自光射出部31的光的位置，进行描画头32与工作台52之间的相对位置调整(校正动作，即校准)。校正用拍摄部616获取的拍摄图像被输出至校正值计算部62。
58.如图1所示，修正值获取部7的多个修正用拍摄部71设置于光射出部31的(－y)侧。各修正用拍摄部71经由拍摄部移动机构38由单元支承部39支承。利用拍摄部移动机构38，修正用拍摄部71能够在宽度方向上移动。如图3所示，例如针对各基材9设置两个修正用拍摄部71。在基材9的各侧部(宽度方向的端部)上，多个参照标记(校准标记)96沿着长度方向形成。针对各基材9的两个修正用拍摄部71，在宽度方向上配置在与该基材9的两侧部的参照标记96相同的位置。在后述的修正动作中，在基材9上沿长度方向上排列的多个参照标记96由修正用拍摄部71依次拍摄。
59.图4是表示描画装置1在基材9上描画图案的动作流程的图。在图1的描画装置1中，
将一对升降辊542配置在下位置，并在保持面521上吸附保持基材9，在此状态下，配置在光射出部31的(－y)侧的载物台单元5通过载物台移动机构4朝向(+y)方向连续地移动。此时，由图3所示的各修正用拍摄部71对在基材9中的被保持在保持面521上的部位(预定描画图案的部位，以下称为“描画对象部位”)中的多个参照标记96依次拍摄。由修正用拍摄部71获取的拍摄图像被输出至图2的修正值计算部72。另外，获取各拍摄图像时的工作台52的移动方向的位置也从载物台移动机构4的直线标尺输出至修正值计算部72。
60.在修正值计算部72中，获取基于利用多个拍摄图像获得的多个参照标记96的位置的修正值(步骤s11)。修正值例如表示各参照标记96的理想位置(设计上的位置)与基于直线标尺的输出值及拍摄图像获得的实际位置之间在x方向以及y方向的偏移量。修正值表示工作台52与基材9的各参照标记96之间的相对位置的偏移量(从本应该处于的位置偏移的偏移量)。修正值是不仅包括基材9相对于工作台52的位置偏移，还包括基材9在工作台52上的倾斜、伸长等影响的值。修正值被输入至描画控制部21。
61.在描画控制部21中，基于修正值来修正表示对描画对象部位应描画的图案的描画数据。即，根据各基材9相对于工作台52的位置偏移，以及基材9在工作台52上的倾斜、伸长等，来修正描画数据。优选为，描画数据的修正的至少一部与向载物台单元5的(+y)方向的移动同时进行。如图1中的双点划线所示，工作台52的整体(基材9的描画对象部位的整体)通过光射出部31的下方时，停止向载物台单元5的(+y)方向的移动。
62.接着，利用载物台移动机构4而进行的向载物台单元5的(－y)方向的连续移动开始。另外，与载物台单元5的移动同步地控制光射出部31，并朝向基材9的描画对象部位射出调制后的光。由此，在基材9的描画对象部位上描画图案(步骤s12)。在向基材9描画图案时，对光射出部31以及载物台移动机构4进行驱动，并且不驱动载物台单元5的搬运部54(的驱动辊544)。在图案的描画过程中，基于已修正的描画数据控制各描画头32。另外，也利用关于光射出部31与工作台52之间的相对位置的校正值。基材9的描画对象部位的整体通过光射出部31的下方时，停止向载物台单元5的(－y)方向的移动。
63.针对描画对象部位的图案描画完成时，在保持面521上的基材9的吸引被解除，并且一对升降辊542配置在上方位置。需要说明的是，若仅通过将一对升降辊542配置在上方位置就能够使基材9与保持面521分离，则也可以维持保持面521上的吸引。在此，由于存在接下来应描画图案的基材9的部位(步骤s13)，通过旋转驱动辊544，基材9的仅长度方向上的描画对象部位的长度被沿着搬运路径搬运(步骤s14)。此时，从供给辊511拉出未被描画图案的基材9的一部分，并且已经被描画图案的基材9的一部分被卷绕至回收辊531。
64.基材9的搬运完成时，一对升降辊542配置在下位置，并且恢复保持面521上的基材9的吸附保持。由此，紧接着已被描画图案的描画对象部位的在(－y)侧连续的未描画的部位作为新的描画对象部位被保持在保持面521上。之后，与上述步骤s11、s12的处理相同，通过载物台单元5在y方向上往复移动来在该描画对象部位上描画图案。
65.在基材9上重复上述步骤s14、s11、s12的处理，直到在全部应描画的部分上描画图案(步骤s13)。在基材9上全部应描画的部分被描画图案时(步骤s13)，由操作者将供给辊511以及回收辊531替换为新的供给辊511以及新的回收辊531(步骤s15)。通常，由于在两个供给辊511上卷绕相同长度的基材9，两个供给辊511以及两个回收辊531被同时替换。
66.在供给辊511以及回收辊531的替换中，例如，在一对升降辊542配置在上位置的状
态下，通过搬运部54搬运基材9来使基材9全部被回收辊531卷绕。然后，从回收部53卸下回收辊531，并安装作为新的回收辊531的卷筒。另外，仅是卷筒的供给辊511被替换为新的供给辊511。并且，从新的供给辊511拉出的基材9挂在搬运部54的辊541～546之后，该基材9的端部与新的回收辊531的卷筒连接。
67.供给辊511以及回收辊531的替换完成时，执行上述步骤s11～s14，并在基材9上描画图案。需要说明的是，在基材9的两个表面上描画图案时，完成了对一方的主表面的图案的描画的基材9的回收辊531也可以作为下次的供给辊511而被安装至供给部51。
68.供给辊511以及回收辊531的替换也可以通过其它公知的方法进行。例如，若在由供给辊511卷绕的基材9的大致整体上描画图案，则在该供给辊511的附近切断基材9。另外，在供给部51中，几乎仅是卷筒的该供给辊511被替换为新的供给辊511，由该新的供给辊511卷绕的新的基材9的端部由胶带等与被切断的基材9的端部连接。接着，由搬运部54搬运基材9直到两个基材9的连接部分到达回收辊531的附近。连接部分达到回收辊531的附近时，两个基材9在该连接部分分离，从而将回收辊531从回收部53卸下。另外，成为新的回收辊531的卷筒被安装至回收部53，并且该新的基材9的端部与该卷筒连接。由此，供给辊511以及回收辊531的替换完成。在图1的示例中，由于在载物台单元5的(－y)侧设置了操作者的操作空间，可以说，供给部51以及回收部53配置在操作者的跟前。
69.图5是表示比较例的描画装置8的图。在比较例的描画装置8中，在基座部80上，供给部81、工作台82以及回收部83在移动方向(y方向)上依次设置。另外，校正用检测部84的上方被基材9覆盖。在比较例的描画装置8中，在替换供给辊811以及回收辊831时，操作者需要在将工作台82夹着的两侧的位置之间移动，从而无法高效地进行替换操作。另外，随着针对基材9的图案描画的进行，基材9从供给辊811移动至回收辊831，基座部80的重量平衡改变。结果，存在无法稳定地移动基座部80(载物台单元)的情况。
70.相对于此，在图1的描画装置1中，在沿着宽度方向观察的情况下，在位于移动方向上的工作台52的一端附近的折返位置(折返辊543)，基材9的搬运路径在移动方向上被折返，并且供给部51以及回收部53配置在比折返位置更靠工作台52侧。由此，在替换供给辊511以及回收辊531时，操作者移动的距离变短，从而能够高效地进行供给辊511以及回收辊531的替换操作。
71.优选在描画装置1中，供给部51以及回收部53在y方向上彼此相邻地配置。由此，能够更高效地进行替换操作。另外，即使基材9从供给辊511移动至回收辊531，基座部50的重量平衡也不会显著变化，从而能够稳定地移动基座部50(载物台单元5)，并高精度地描画图案。
72.在图5的比较例的描画装置8中，由于校正用检测部84的上方被基材9覆盖，因此，在进行校正动作时，需要卸下基材9并将其移动至不与校正用检测部84的上方重叠的位置。因此，卸下基材9并成为能够利用校正用检测部84的状态之后，作为事前准备，需要获取其它与修正用拍摄部85和校正用检测部84的相对位置有关的校正值。
73.相对于此，在图1的描画装置1中，沿着移动方向依次排列有工作台52、折返位置(折返辊543)以及校正用检测部61，并且校正用检测部61不被基材9覆盖。由此，能够在不卸下基材9的情况下，容易地进行校正动作。
74.在上述描画装置1中能够进行各种变形。
75.在图1的描画装置1中，在移动方向上，与工作台52相比更靠(－y)侧(与折返位置相反的一侧)设置有供给部51以及回收部53这两者，但例如回收部53也可以配置在工作台52的下方、驱动辊544的附近。在这种情况下，由于与图5的比较例的描画装置8相比，操作者进行替换操作时的移动距离变短，从而也能够高效地进行供给辊511以及回收辊531的替换操作。如上所述，在描画装置1中，供给部51以及回收部53在移动方向上配置在与折返位置(折返辊543)相比更靠工作台52侧即可。
76.如图6所示，供给部51以及回收部53也可以不设置在基座部50上，而是独立于载物台单元5设置。在图6的描画装置1a中，也能够在与基材9的搬运路径中的折返位置(折返辊543)相比更靠工作台52侧，配置供给部51以及回收部53。由此，能够高效地进行供给辊511以及回收辊53的替换操作。
77.另外，在图6的描画装置1a中，随着在图案的描画时工作台52在移动方向上移动，供给部51以及回收部53各自与工作台52之间的距离改变。因此，供给部51与工作台52之间以及工作台52与回收部53之间需要跳动辊512、532等用于吸收基材9的松弛的结构。另一方面，在这种情况下，描画装置1a的设置空间会变大。另外，供给部51以及回收部53各自与工作台52之间的基材9的长度变大，即，供给辊511与回收辊531之间的基材9的搬运距离变长，从而容易产生基材9的弯曲等。因此，为了解决这些问题，如图1的描画装置1所示，优选为，使供给部51以及回收部53能够在移动方向上移动，并省略跳动辊512、532等。
78.在供给部51以及回收部53能够移动的描画装置1中，也可以通过与用于移动工作台52的载物台移动机构4不同的移动机构，使供给部51以及回收部53在移动方向上移动。另外，在不设置电动机等驱动部的情况下，供给部51以及回收部53也可以仅利用导轨以能够在移动方向上移动的方式被支承。在这种情况下，工作台52在移动方向上移动时，例如，通过工作台52拉动或推动供给部51以及回收部53，供给部51以及回收部53能够与工作台52一起在相同的方向上移动。
79.另一方面，为了简化工作台52、供给部51以及回收部53的移动结构，如图1的描画装置1所示，设置有支承工作台52、供给部51以及回收部53的基座部50，在图案的描画时，优选为由载物台移动机构4使基座部50在移动方向上移动。
80.从供给部51通过保持面521至回收部53的基材9的搬运路径也可以适当地变更。例如，在图1的描画装置1中，也可以交换供给部51的位置与回收部53的位置，从供给辊511拉出并在工作台52的下方通过的基材9经由折返辊543被引导至保持面521上。另外，设置于上述搬运部54的辊的数量以及配置仅作为示例，也可以适当地变更。
81.搬运路径上的折返位置不必一定是辊的位置，例如，也可以是将不旋转的圆柱构件设置为折返位置，基材9在该圆柱构件的表面滑动并在移动方向上折返。
82.在描画装置1、1a中，例如，也可以在工作台52沿(+y)方向上连续地移动时，在工作台52上的基材9上描画图案，而在工作台52沿(－y)方向上移动时，进行搬运路径中的基材9的搬运而不在基材9上描画图案。搬运路径中的基材9的搬运只要是非图案描画时间，即可在任意的时机进行。
83.在描画装置1、1a中，工作台52的位置被固定，并且，在基材9上描画图案时，光射出部31也可以在移动方向上移动。即，移动机构也可以是使工作台52相对于光射出部31在移动方向上移动的机构。另外，每次完成工作台52向移动方向的相对移动(主扫描)时，也可以
通过移动机构使光射出部31或工作台52在宽度方向上间歇地移动(副扫描)，由此进行向基材9的描画对象部位的图案描画。
84.在校正用检测部61中，也可以代替校正用拍摄部616而使用能够检测受光面上的光的照射位置的传感器等。在这种情况下，也能够获取关于光射出部31与工作台52的相对位置的校正值。
85.上述实施方式以及各变形例中的结构在彼此不矛盾的范围内可以适当地组合。
86.以上对本发明进行了详细描述与说明，但所述说明是例示性而非限制性。因此，在不脱离本发明的范围内，能够进行多种变形、实施方式。