制工件台运动控制卡或掩模台运动控制卡从而控制工件台/掩模台运动，配合第二控制单元30动作；
[0054]对准阶段:同步控制器通过同步总线和同步数据控制第一、第二控制单元20、30同步进入该阶段，第二控制单元30控制对准控制卡进行对准，第一控制单元20控制工件台运动控制卡或掩模台运动控制卡从而控制工件台/掩模台运动，配合第二控制单元30动作；
[0055]曝光阶段:同步控制器通过同步总线和同步数据控制第一、第二控制单元20、30同步进入该阶段，第二控制单元30控制曝光控制卡进行曝光，第一控制单元20控制工件台运动控制卡或掩模台运动控制卡从而控制工件台/掩模台运动，配合第二控制单元30动作；
[0056]曝光完毕:同步控制器通过同步总线和同步数据控制第一、第二控制单元20、30同步进入该阶段，硅片/掩模卸载。
[0057]换句话说，在一次曝光过程中，同步控制器根据谈判结果，顺序调用传输、调焦调平、对准、曝光分系统中的板卡，充分利用了主控制计算机的计算能力，减少分系统计算机的使用数量，提高整机的控制效率，降低硬件成本。
[0058]综上所述，本发明提供的步进扫描光刻机控制方法与系统，其方法为:根据步进扫描光刻机的工作步骤，将光刻机各个分系统分类，第一部分由第一控制单元20控制，第二部分由第二控制单元30控制，其中，所述第一控制单元20控制的分系统第一部分全程参与步进扫描光刻机的工作步骤，所述第二控制单元30控制的分系统第二部分分时段参与步进扫描光刻机的工作步骤，工作站或服务器10通过以太网网络40分别与所述第一控制单元20和第二控制单元30相连，所述第一控制单元20与第二控制单元30通过同步总线50和光纤接口 60进行数据传输。本发明通过将各分系统分类控制，充分利用了主控制计算机的计算能力，减少了分系统计算机的使用数量，提高了整机的控制效率，降低了硬件成本。
[0059]显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种步进扫描光刻机控制方法，其特征在于，根据步进扫描光刻机的工作步骤，将光刻机各个分系统分类，第一部分由第一控制单元控制，第二部分由第二控制单元控制，其中，所述第一控制单元控制的分系统第一部分全程参与步进扫描光刻机的工作步骤，所述第二控制单元控制的分系统第二部分分时段参与步进扫描光刻机的工作步骤，工作站或服务器通过以太网网络分别与所述第一控制单元和第二控制单元相连，所述第一控制单元与第二控制单元通过同步总线和光纤接口进行数据传输。
2.如权利要求1所述的步进扫描光刻机控制方法，其特征在于，步进扫描光刻机的工作步骤包括: 51:硅片上片、掩模上版，其中，用传输分系统和工件台分系统进行所述硅片上片，用传输分系统和掩模台分系统进行掩模上版； 52:用调焦调平分系统和工件台分系统进行调焦调平； 53:用对准分系统和工件台分系统进行对准； 54:用曝光分系统和工件台分系统进行曝光； 在SI至S4步骤中，环境控制分系统对整个工作环境进行监控。
3.如权利要求2所述的步进扫描光刻机控制方法，其特征在于，所述第一控制单元用于控制所述工件台分系统和掩模台分系统，所述第二控制单元用于控制所述调焦调平分系统、对准分系统、曝光分系统、传输分系统以及环境控制分系统。
4.一种步进扫描光刻机控制系统，其特征在于，包括工作站或服务器、全程参与步进扫描光刻机工作步骤的第一控制单元和分时段参与步进扫描光刻机工作步骤的第二控制单元，所述工作站或服务器通过以太网网络分别与所述第一控制单元和第二控制单元相连，所述第一控制单元与第二控制单元通过同步总线和光纤接口进行数据传输。
5.如权利要求4所述的步进扫描光刻机控制系统，其特征在于，所述第一控制单元用于控制所述工件台分系统和掩模台分系统，所述第二控制单元用于控制所述调焦调平分系统、对准分系统、曝光分系统、传输分系统以及环境控制分系统。
6.如权利要求5所述的步进扫描光刻机控制系统，其特征在于，所述第一控制单元包括工件台/掩模台CPU板、工件台运动控制卡、掩模台运动控制卡、对外数据控制卡、同步控制器、工件台激光计数卡、掩模台激光计数卡以及VME总线和自定义总线，所述工件台/掩模台CPU板通过所述VME总线与所述工件台运动控制卡、掩模台运动控制卡、对外数据控制卡、同步控制器、工件台激光计数卡以及掩模台激光计数卡传递指令数据；所述同步控制器通过所述自定义总线与所述工件台运动控制卡、掩模台运动控制卡、对外数据控制卡、工件台激光计数卡以及掩模台激光计数卡建立同步控制信号。
7.如权利要求6所述的步进扫描光刻机控制系统，其特征在于，所述第一控制单元还包括工件台下层I/o控制板和掩模台下层I/O控制板，所述工件台运动控制卡与所述工件台下层I/o控制板相连,所述掩模台运动控制卡与所述掩模台下层I/O控制板相连,所述对外数据控制卡和同步控制器分别通过高速串行链路与外部设备相连。
8.如权利要求5所述的步进扫描光刻机控制系统，其特征在于，所述第二控制单元包括CPU板、硅片传输运动控制卡、掩模传输运动控制卡、对准控制卡、同步控制器、调焦调平控制卡、环境控制卡、曝光控制卡以及VME总线和自定义总线,所述CPU板通过所述VME总线与所述硅片传输运动控制卡、掩模传输运动控制卡、对准控制卡、同步控制器、调焦调平控制卡、环境控制卡以及曝光控制卡传递指令数据；所述同步控制器通过所述自定义总线与所述硅片传输运动控制卡、掩模传输运动控制卡、对准控制卡、调焦调平控制卡、环境控制卡以及曝光控制卡建立同步控制信号。
9.如权利要求8所述的步进扫描光刻机控制系统，其特征在于，所述第二控制单元还包括娃片传输下层I/o控制板和掩模传输下层I/O控制板,所述娃片传输运动控制卡与所述硅片传输下层I/O控制板相连，所述掩模传输运动控制卡与所述掩模传输下层I/O控制板相连，所述对准控制卡、同步控制器、调焦调平控制卡以及曝光控制卡分别通过高速串行链路与外部设备相连。
【专利摘要】本发明涉及一种步进扫描光刻机控制方法与系统，其方法为：根据步进扫描光刻机的工作步骤，将光刻机各个分系统分类，第一部分由第一控制单元控制，第二部分由第二控制单元控制，其中，所述第一控制单元控制的分系统第一部分全程参与步进扫描光刻机的工作步骤，所述第二控制单元控制的分系统第二部分分时段参与步进扫描光刻机的工作步骤，工作站或服务器通过以太网网络分别与所述第一控制单元和第二控制单元相连，所述第一控制单元与第二控制单元通过同步总线和光纤接口进行数据传输。本发明通过将各分系统分类控制，充分利用了主控制计算机的计算能力，减少了分系统计算机的使用数量，提高了整机的控制效率，降低了硬件成本。
【IPC分类】G05B19-418, G03F7-20
【公开号】CN104698765
【申请号】CN201310670336
【发明人】谢仁飚, 聂仕华
【申请人】上海微电子装备有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2013年12月10日