[0094]其中第二重叠区3201上开口部3203的高度变化曲线32011 (图3a中未示出)和第一重叠区3101上开口部3103的高度变化曲线31011(图3a中未示出)，满足叠加后与第二非重叠区3202上开口部3204的高度相同，具体可参考上述第一实施方式中的相关内容，此处不再赘述。进而设置该多个第三长方形形成的开口部3103和3203的布置形式(如图3a所示的该第三长方形在第一方向上的尺寸与非重叠区3102或3202的开口部3104或3204的宽度相同)，使得重叠后的该第一光罩310和第二光罩302的重叠区3101和3202的同一位置的曝光量与第一非重叠区3102和第二非重叠区3202的曝光量相同。
[0095]进一步的，该多个第三长方形的形状和尺寸相同或不同，其中图3a中以该多个第三长方形的形状和尺寸相同为示例。
[0096]请参阅图3b，图3b是图3a中两个光罩的重叠区域开口部包括多个长方形的一结构示意图。如图3b所示，以该多个第三长方形中至少两个第三长方形的形状和尺寸不相同为例进行说明，其中该第一重叠区3101和该第二重叠区3201的每个开口部3103和3203均包括多个形状和尺寸不相同的第三长方形，且使得重叠后的该第一光罩310和第二光罩302的重叠区3101和3202通过同一位置开口部3103和3203的曝光量与通过第一非重叠区3102和第二非重叠区3202的开口部3104和3204的曝光量相同。
[0097]其中，可选多个第三长方形中至少一个第三长方形在该第一方向Da上的尺寸与非重叠区开口部的第一长方形的宽度不同。
[0098]请参阅图3c，图3c是图3a中两个光罩的重叠区开口部包括多个长方形的另一结构示意图。如图3c所示，该第一重叠区3101和该第二重叠区3201的每个开口部3103和3203均包括多个形状和尺寸相同的第三长方形，且该第三长方形足够小，以使得组成的开口部3103和3203随机分布在对应的重叠区3101和3201，但满足使得重叠后的该第一光罩310和第二光罩302的重叠区3101和3202通过同一位置的开口部3103和3203的曝光量与通过第一非重叠区3102或第二非重叠区3202的开口部3104或3204的曝光量相同。
[0099]其中第三长方形可选包括但不限于是正方形的形状。
[0100]可选的，该随机分布的多个第三长方形是通过马赛克(mosaic)算法得到，具体实施时，预设该第三长方形的形状和尺寸，并选取需要设置开口部的高度Yl和Y2，进而通过马赛克算法可获得多个第三长方形随机分布组成重叠区域的开口部。
[0101]进一步的，该第一光罩310和该第二光罩的第一重叠区3101和第二重叠区3201的开口部3103和3203的布置形式对称或不对称。具体可参考上述第一实施方式中相关内容，此处不再赘述。
[0102]进一步可选的，该第一光罩310和该第二光罩320的第一重叠区3101和第二重叠区3201的开口部3103和3203彼此重叠或不重叠。具体可参考上述第一实施方式中相关内容，此处不再赘述。
[0103]区别于现有技术、上述第一实施方式的情况，本实施方式将两个光罩重叠区域中开口部设置为包括多个第三长方形的结构，如马赛克的布置形式，且重叠区开口部的高度变化符合三角函数平方的曲线变化，使得开口部的曝光量更平滑变化，且在重叠区域的相同位置满足Hsin2O X/2L) +Hcos2 ( π X/2L) = H，即该两个光罩重叠后其重叠区开口部的曝光量与非重叠区开口部的曝光量相同，进而实现该两个光罩衔接的重叠区的曝光量与非重叠区的曝光量相同，使得后续液晶显示器中显示效果均匀，同时曲线变化的开口部能够实现消除后续液晶显示器中带状mura的缺陷，提高产品的显示质量。
[0104]请参阅图4，图4是本发明提供的用于光配向的曝光设备第三实施方式的结构示意图。
[0105]其中该曝光设备40包括上述第一、第二实施方式中涉及的光罩装置410以及第一光源420和第二光源430 ；
[0106]该第一光源420用于向该第一光罩411的开口部提供光；
[0107]该第二光源430用于向该第二光罩412的开口部提供光。
[0108]其中该第一光源420和该第二光源430与现有曝光设备中配置相同，其可选设置于该曝光设备的侧面，并分别通过多个反射镜和偏振器以不同角度照射到该第一光罩411和该第二光罩412上。
[0109]在其他实施方式中可选只有一个光源，其通过多个反射镜及分束器使得光线分别以不同角度照射到该第一光罩410和该第二光罩420上。其与现有技术相同，此处不再赘述。
[0110]其中该第一光源和该第二光源是紫外光，与现有技术相同，此处不再赘述。
[0111]区别于现有技术、上述第一、二实施方式的情况，本实施方式将两个光罩重叠区域中开口部的高度变化分别符合三角函数平方的曲线变化，使得开口部的曝光量更平滑变化，且在重叠区域的相同位置满足Hsin2 (JT X/2L) +Hcos2 ( π X/2L) = H，即该两个光罩重叠后其重叠区开口部的曝光量与非重叠区域开口部的曝光量相同，进而实现该两个光罩衔接的重叠区的曝光量与非重叠区的曝光量相同，使得后续液晶显示器中显示效果均匀，同时曲线变化的开口部能够实现消除后续液晶显示器中带状mura的缺陷，提高产品的显示质量。
[0112]以上仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种用于光配向的光罩装置，其特征在于，包括: 第一光罩和第二光罩； 所述第一光罩包括第一重叠区和第一非重叠区； 所述第二光罩包括第二重叠区和第二非重叠区； 所述第一重叠区和所述第二重叠区彼此重叠； 所述第一重叠区包括沿第一方向排列的多个透射的开口部； 所述第一非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部； 所述第二重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部； 所述第二非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部； 所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区域的开口部相同； 所述第一重叠区的开口部的高度Yl满足Yl = Hsin2 (31 X/2L)； 所述第二重叠区的开口部的高度Y2满足Y2 = Hcos2 (JT X/2L)； 其中H是所述第一非重叠区域的开口部和所述第二非重叠区域的开口部的高度，X =L-M，L是所述第一重叠区和所述第二重叠区的长度，M是所述第一重叠区和所述第二重叠区距离所述第一非重叠区或所述第二非重叠区的距离。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于， 所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区的开口部是第一长方形； 所述第一长方形的宽度方向与所述第一方向相同； 所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是第二长方形，且所述第二长方形在所述第一方向上的尺寸与所述第一长方形的宽度相同。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于， 所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区的开口部是第一长方形； 所述第一长方形的宽度方向与所述第一方向相同； 所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是多个第三长方形；且所述第三长方形的在所述第一方向上的尺寸与所述第一长方形的宽度相同或不同。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于， 所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是通过马赛克算法得到。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于， 所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部彼此重叠。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于， 所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部彼此不重叠。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于， 所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部的布置形式对称或不对称。
8.—种曝光设备，其特征在于， 所述曝光设备包括权利要求1至7任一项所述的光罩装置以及第一光源和第二光源； 所述第一光源用于向所述第一光罩的开口部提供光； 所述第二光源用于向所述第二光罩的开口部提供光。
9.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于， 所述第一光源和所述第二光源是紫外光。
【专利摘要】本发明公开一种用于光配向的光罩装置及应用设备，包括彼此部分重叠的第一光罩和第二光罩，以使得该第一光罩和第二光罩分别包括第一重叠区、第一非重叠区和第二重叠区、第二非重叠区，同时该第一重叠区、第一非重叠区、第二重叠区和第二非重叠区分别包括多个开口部；该第一重叠区开口部的高度和该第二重叠区开口部的高度分别按照三角函数平方平滑变化，且使得重叠区在相同位置处叠加后的开口部高度与第一或第二非重叠区开口部的高度相同。与现有技术相比，本发明能够消除后续工艺中带状mura缺陷，提高产品的显示质量。
【IPC分类】G02F1-1337, G03F7-20
【公开号】CN104777674
【申请号】CN201510206165
【发明人】韩丙, 施明宏, 李蒙
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2015年4月27日