2。因此，当偏置电位供应到第一锚定部分150时，第一弹簧142达到实质上相同的电位。第一销定部分152与第一弹簧144之间的关系是相同的。第二弹簧146连接到第二锚定部分154。第二锚定部分154作用以固持第二弹簧146。第二锚定部分154电连接到第二弹簧146。第二锚定154达到地面电位且因此第二弹簧146也达到地面电位。第二锚定部分156与第二弹簧148之间的关系是相同的。
[0084]当指定偏置电位供应到第一弹簧142且第二弹簧146达到地面电位时，第一弹簧142和第二弹簧146受到所述两者之间的电位差的静电驱动且通过移动以便彼此吸引而引起快门130在一个方向中滑动。此外，当偏置电位供应到第一弹簧144且地面电位供应到第二弹簧148时，第一弹簧144和第二弹簧148受到第一弹簧144与第二弹簧148之间的电位差的静电驱动且通过移动以便彼此吸引而引起快门130在相反方向中滑动。
[0085]应注意，图8中说明的快门机构158仅为可用于显示装置100中的快门机构的一个实例，且只要快门可通过开关元件驱动，就可使用快门的任何实施例。
[0086]根据使用MEMS快门机构的本实施例的显示装置，使得光源的光通过的开口中的入射光的反射损耗减少且因此可实现光的有效利用。归因于此，无需不必要地提高光源的亮度且因此可减少显示装置的功率消耗。此外，通过应用在反射层中使用反射增强膜的配置，反射层中的反射性和开口中的透射率两者皆可改进。也就是说，在回收从光源发射的光的同时，可提高从开口发射的光的光强度。
[0087][第四实施例]
[0088]本实施例说明具有在相对衬底103b的侧面上的光源106的显示装置100。图9中说明的显示装置100例示具有像素中的MEMS快门机构的配置，且提供元件衬底102e和相对衬底103b。
[0089]光源106提供于相对衬底103b侧上且因此反射层108也提供于相对衬底103b中。反射层108由具有高反射性的金属膜110和反射增强膜112形成。正如在第一实施例中，反射增强膜112由具有高折射率的电介质层和具有低折射率的电介质层的层压体形成。举例来说，反射增强膜112是通过层压第一绝缘膜112a和第二绝缘膜112b形成。
[0090]金属膜110和第二绝缘膜112b被从相对衬底103b的开口 123移除。因此，具有经调节的膜厚度以提高反射性的第一绝缘膜112a留在开口 123中，且因此并未实现从光源106发射的光的有效利用。因此，将与第一绝缘膜112a相同的绝缘膜形成于金属膜110的顶部上，且将为厚膜的第三绝缘膜124提供于开口 123中。
[0091]即使当反射层108提供于相对衬底103b中时，也以此方式提供与开口 123中的反射增强膜112的第一绝缘膜112a相比具有不同膜厚度的第三绝缘膜124，使得有可能防止此区域中光的透射率降低。第三绝缘膜124制造得比第一绝缘膜112a厚且可以入射光的波长的η/2 (η = I或大于I的整数)或更厚的膜厚度形成。具体来说，当在反射增强膜112中用作第一绝缘膜112a的氮化硅膜的膜厚度为40nm与60nm之间时，开口 122中第三绝缘膜124的膜厚度可为120nm与160nm之间。
[0092]在图9中，元件衬底102e省略了来自图1中说明的元件衬底102a的反射层108，但在其它方面具有相同的配置且因此省略详细描述。
[0093]通过使提供于相对衬底中的反射层的配置与如本实施例中的第一实施例中说明的配置相同，甚至在在相对衬底侧上布置光源的显示装置中也可有效地利用来自光源的光。归因于此，无需不必要地提高光源的亮度且因此可减少显示装置的功率消耗。此外，通过应用在反射层中使用反射增强膜的配置，反射层中的反射性和开口中的透射率两者皆可改进。
[0094][数字标号的描述]
[0095]10 元件衬底
[0096]12 光源
[0097]14 玻璃衬底
[0098]16 开关元件
[0099]18 层间电介质膜
[0100]20 反射层
[0101]22 金属膜
[0102]24 反射增强膜
[0103]26 开口
[0104]100 显示装置
[0105]102 元件衬底
[0106]103 相对衬底
[0107]104 玻璃衬底
[0108]106 光源
[0109]108 反射层
[0110]110 金属膜
[0111]112 反射增强膜
[0112]113半导体层
[0113]114开关元件
[0114]115栅极电极
[0115]116绝缘间层
[0116]118源极和漏极电极
[0117]120钝化膜
[0118]122开口
[0119]123开口
[0120]124第三绝缘膜
[0121]126像素电极
[0122]128平坦化绝缘膜
[0123]130快门
[0124]132快门驱动部分
[0125]134玻璃衬底
[0126]136遮光膜
[0127]140快门开口
[0128]142第一弹簧
[0129]144第一弹簧
[0130]146第二弹簧
[0131]148第二弹簧
[0132]150第一锚定部分
[0133]152第一锚定部分
[0134]154第二锚定部分
[0135]156第二锚定部分
[0136]158快门机构
[0137]160显示部分
[0138]162栅极驱动器
[0139]164数据驱动器
[0140]166输入端子
[0141]168控制器
[0142]170像素
[0143]172电容器
【主权项】
1.一种显示装置，其包括: 透光衬底， 金属膜，其提供于所述透光衬底上， 反射层，其具有层压提供于所述透光衬底与所述金属膜之间的第一绝缘膜和第二绝缘膜的反射增强膜， 光源，其提供于所述反射层侧面上， 开口，其在使得从所述反射层侧面发射的光通过的区域中穿过所述第二绝缘膜、所述金属膜和绝缘间层层， 第三绝缘膜，其提供于所述开口的底部中、具有为从所述光源辐射的光的波长的η/2 (η=I或大于I的整数)的膜厚度， 开关元件，其提供于所述反射层上， 绝缘间层，其掩盖所述开关元件，以及 钝化膜，其提供于所述绝缘间层上。2.根据权利要求1所述的显示装置，其进一步包括所述绝缘间层与所述钝化膜之间的平坦化绝缘膜，其中所述平坦化绝缘膜覆盖所述开口的侧壁。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中所述平坦化绝缘膜为着色的。4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的显示装置，其中所述第三绝缘膜是通过层压所述第一绝缘膜和所述钝化膜形成。5.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的显示装置，其中所述第一绝缘膜和所述钝化膜为氮化硅膜，且所述第二绝缘膜为氧化硅膜。
【专利摘要】[问题]本发明提供一种显示装置，其能够在保持反射层中的高反射性的同时改进在使光通过的开口处的光透射率。[解决问题的装置]使用金属膜和反射增强膜以配置元件衬底中所提供的反射层以有效地利用光源的光。在移除所述金属膜的同时，将为所述反射增强膜的一部分的氮化硅膜留在使所述光源的所述光通过的所述开口中。此时，所述反射增强膜中所述氮化硅膜的膜厚度为入射光的波长的1/4，且另一方面，所述开口中所述氮化硅膜的所述膜厚度为所述入射光的所述波长的1/2。为所述反射增强膜的一部分的所述氮化硅膜和层间电介质膜的顶层中所提供的钝化膜在所述开口中经层压以实现此结构。
【IPC分类】G02B26/02
【公开号】CN105164565
【申请号】CN201480022862
【发明人】仓永卓英, 糸贺敏彦, 藤吉纯, 足立昌哉
【申请人】皮克斯特隆尼斯有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2014年3月14日
【公告号】WO2014152201A1