。由此，能够缩短根据分割数据修正部214的多个分割数据的蚀刻修正所需要的时间。
[0085]在上述的例子中，虽然通过使用了片段94的图案构件位置与多个基准位置的双线性插值法求出了区域蚀刻特性，但是也可以通过其他的各种各样的方法来求出区域蚀刻特性。例如，与上述的双线性插值法一样，虽然通过将权重系数与各蚀刻特性相乘来实施区域蚀刻特性获取部213对多个蚀刻特性的加权，但是也可以变更权重系数的決定方法，所述权重系数基于与各蚀刻特性对应的基准位置和片段94的图案构件位置之间的距离。作为一个例子，将与片段94最接近的一个基准位置对应的蚀刻特性与权重系数“1”相乘，将与其他的基准位置对应的蚀刻特性与权重系数“0”相乘。如此，在与多个蚀刻特性中的一个蚀刻特性相乘的权重系数是1、与除了该一个蚀刻特性以外的蚀刻特性相乘的权重系数是0的情况下，能够容易地进行分割数据修正部214的多个分割数据的蚀刻修正。
[0086]接着，说明本发明的第二实施方式的检查装置la。检查装置la是检查在基板9上描画的图案的装置。在检查装置la，对基板9上的图案与后述的蚀刻修正后的设计数据进行比较。与图2所示的数据处理装置2 —样，检查装置la具有一般的计算机系统的结构。
[0087]图9是示出检查装置la的功能的框图。检查装置la具有数据修正部21a、实际图像存储部25以及缺陷检测部26。与如图3所示的数据修正部21 —样，数据修正部21a具有设计数据存储部211、蚀刻特性存储部212、区域蚀刻特性获取部213以及分割数据修正部214。实际图像存储部25存储在基板9上描画的图案的图像数据即检查图像数据。缺陷检测部26检测出在基板9上描画的该图案的缺陷。
[0088]接着，在参照图10的同时，说明检查装置la的检查流程。首先，在检查装置la，与如图8所示的步骤S11 —样，通过将由在基板9上蚀刻形成的预定的图案93 (参照图4)的设计数据输入至数据修正部21a，存储至设计数据存储部211来准备所述设计数据(步骤
521)。
[0089]接着，与步骤S12 —样，通过将与基板9上的多个基准位置分别对应的多个蚀刻特性输入至数据修正部21a，存储至蚀刻特性存储部212来准备所述多个蚀刻特性(步骤
522)。既可以在除了检查装置la以外的装置获取该多个蚀刻特性，也可以在检查装置la获取该多个蚀刻特性。在检查装置la获取蚀刻特性的情况下，检查装置la设置有拍摄部，获取测量图案96 (参照图6)的图像；以及蚀刻特性获取部，基于测量图案96的图像与特性获取用图案95(参照图4)的设计数据，获取在各基准位置的蚀刻特性。
[0090]接着，与步骤S13 —样，根据区域蚀刻特性获取部213，针对多个分割区域即片段94(参照图4)中的每一个，基于分别与多个基准位置对应的多个蚀刻特性，求出在各片段94的蚀刻特性即区域蚀刻特性(步骤S23)。基于各片段94的图案构件位置与多个基准位置的分别的位置关系，在对与多个基准位置对应的多个蚀刻特性进行加权之后，基于进行了加权的多个蚀刻特性求出区域蚀刻特性。
[0091]例如如上述所示，通过将权重系数与各蚀刻特性相乘来实施区域蚀刻特性获取部213对多个蚀刻特性的加权，所述权重系数基于与各蚀刻特性对应的基准位置和片段94的图案构件位置之间的距离。例如如上述所示，根据使用了片段94的图案构件位置与多个基准位置的双线性插值法，在进行向上述多个蚀刻特性的加权的同时求出区域蚀刻特性。多个片段94 ( S卩，多个分割区域)的区域蚀刻特性互相不同。
[0092]若求出了各片段94的区域蚀刻特性，则与步骤S14 —样，通过分割数据修正部214从图案93的设计数据中提取与多个片段94(8卩，分割区域)分别对应的多个分割数据。换言之，将图案93的设计数据分割成分别与多个片段94对应的多个分割数据。而且，分割数据修正部214基于与该各分割数据对应的各片段94的区域蚀刻特性来修正(即，蚀刻修正)各分割数据，从而求出各片段94的已修正分割数据(步骤S24)。
[0093]具体而言，在各片段94考虑到实际蚀刻时的情形，为了使各片段94所包括的图形构件变成实际蚀刻后的线宽或大小，以使各分割数据的图形构件的线宽变细或使图形构件变小的方式修正与该片段94的区域蚀刻特性表示的蚀刻量对应的过剩的蚀刻。换言之，对各分割数据进行修正，所述修正与在上述的步骤S14中对各分割数据进行的修正相反。
[0094]在分割数据修正部214，通过汇总与多个片段94对应的多个已修正分割数据，生成修正后的图案93的设计数据即已修正数据。将该已修正数据从数据修正部21发送至缺陷检测部26。
[0095]接着，基于修正前的图案93的设计数据，获取在基板9上描画并施加有蚀刻的图案(以下，称为“蚀刻图案”。)的图像数据，通过将该图像数据存储至实际图像存储部25作为检查图像数据来准备(步骤S25)。既可以与步骤S21至S24同时进行步骤S25，也可以在步骤S21至S24之前进行步骤S25。既可以在除了检查装置la以外的装置获取该检查图像数据，也可以在检查装置la获取该检查图像数据。在检查装置la获取检查图像数据的情况下，检查装置la上设置有拍摄部，用于获取检查图像数据。并且，在上述步骤S22中，在检查装置la获取了测量图案96的图像的情况下，优选的，还在检查装置la获取检查图像数据。
[0096]从实际图像存储部25将检查图像数据发送至缺陷检测部26。在缺陷检测部26，通过比较该检查图像数据与从数据修正部21a发送的已修正数据(S卩，通过数据修正部21a蚀刻修正的设计数据)，检测出在基板9上形成的蚀刻图案的缺陷(步骤S26)。如上述所示，在该已修正数据中，因为为了使各片段94的图形构件变成实际蚀刻后的线宽或大小而进行修正，所以缺陷检测部26将在检查图像数据中的与已修正数据的差异检测为基板9上的蚀刻图案的缺陷。
[0097]与如图3所示的数据修正部21 —样，在数据修正部21a，在修正在基板9上的多个分割区域描画的分割图案(即，分割数据表示的描画图案即片段94)时，考虑根据各分割区域的基板9上的位置的区别导致的蚀刻特性的差异，能够以良好的精度进行对各分割数据的蚀刻修正。因此，在检查装置la，能够在考虑了由于各分割区域在基板9上的位置的区别导致的蚀刻特性的差异的同时，以高精度进行在基板9上描画的多个分割图案的检查。
[0098]与第一实施方式一样，与多个片段94对应的多个分割数据，也可以包括对应的区域蚀刻特性相同的两个以上的分割数据。在该情况下，在上述的步骤S24中，针对该两个以上的分割数据，通过分割数据修正部214进行一个分割数据的修正，该一个分割数据的修正结果即已修正分割数据也作为分割数据修正部214的其他分割数据的修正结果来使用。由此，能够缩短分割数据修正部214的多个分割数据的蚀刻修正所需要的时间。
[0099]此外，作为区域蚀刻特性获取部213对多个蚀刻特性的加权，也可以将与片段94最接近的一个基准位置对应的蚀刻特性与权重系数“ 1”相乘，并将与其他的基准位置对应的蚀刻特性与权重系数“0”相乘。如此，在与多个蚀刻特性中的一个蚀刻特性相乘的权重系数是1、与除了该一个蚀刻特性以外的蚀刻特性相乘的权重系数是0的情况下，能够容易地进行根据分割数据修正部214的多个分割数据的蚀刻修正。
[0100]上述描画装置1及检查装置la能够进行各种各样的变更。
[0101]例如，在如图1所示的描画装置1，既可以同时进行步骤S11与步骤S12、S13，也可以在步骤S11之前进行步骤S12、S13。
[0102]基板9上的多个片段94的配置及数量，不限定为如图4所示的方式，也可以进行恰当的变更。同样的，在基板9上的多个特性获取用图案95的配置及数量也可以进行恰当的变更。特性获取用图案95不一定需要配置在基板9的角隅部附近，例如，也可以配置在邻接的片段94之间。不一定需要基于与基板9上的所有的特性获取用图案95对应的蚀刻特性来获取各区域蚀刻特性，也可以基于与基板9上的所有的特性获取用图案95中的一部分特性获取用图案95对应的蚀刻特性来获取各区域蚀刻特性。
[0103]基板9上的图案93不一定需要具有多个片段94，例如，也可以是变成一个大的布线图案的预定图案。在将该一个图案的设计数据分割成多个分割数据时，优选的，在邻接部以部分重叠的方式分割邻接的各个分割数据。由此，在检查装置la对分割数据进行蚀刻修正时，能够防止如下情况:跨越与该分割数据对应的分割区域以及邻接的分割区