低损耗波导光分路器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成光学技术领域，尤其涉及一种低损耗波导光分路器。
【背景技术】
[0002]随着互联网的普及，光分路器对构成诸如光纤用户网络有着重要作用。Y分支波导作为光学集成器件中的重要的光波导单元之一，现在已被广泛利用。
[0003]但是由于传统的Y分支波导结构在分支点附近存在模式转换和辐射损耗，造成级联式分路器很长而导致器件结构不紧凑，分支角度较小也对工艺提出了很高的精度要求。另外传统Y分支波导的功率分配是基于图1所示的模式变化，当入射模从输入波导到达分支尖角时由于波导的几何结构而分开，便沿着对称分支波导传输实现功率分配功能。然而由于入射基模与出射对称模在分支部位不匹配而产生辐射模，导致耦合损耗较大。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种低损耗波导光分路器。
[0005]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现:
[0006]—种低损耗波导光分路器，包括输入波导、展宽波导和输出波导，所述输入波导为由输入直波导、倒锥波导和变窄直波导组成的单模直锥形波导，所述展宽波导为由缓变波导和过渡直波导组成的激模波导，所述输出波导为对称输出的三分支波导，且位于两侧的分支波导的宽度突变处均设有可利用错位补偿的过渡结构。
[0007]进一步的，所述输入直波导11的宽度为6 μ m，所述变窄直波导13的宽度为5 μπι，所述过渡直波导22的宽度为8 μm，所述输出波导3的分支波导宽度均为2 μπι。
[0008]本实用新型的有益效果是:
[0009]本实用新型的输入波导用直锥形波导代替传统的直波导，减小器件的尺寸；展宽波导利于展宽的波导趋于稳定，减小分束时的消耗；输出波导为三分支波导，提高了器件的均匀性和容差性。
【附图说明】
[0010]图1是传统的Υ分支波导结构示意图；
[0011]图2是本实用新型的结构示意图；
[0012]图中:1-输入波导，11-输入直波导，12-倒锥波导，13-变窄直波导，2-展宽波导，21-缓变波导，22-过渡直波导，3-输出波导，4-过渡结构。
【具体实施方式】
[0013]下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。
[0014]—种低损耗波导光分路器，如图2所示，包括包括输入波导1、展宽波导2和输出波F-1' QO o
[0015]输入波导1为由宽度为6 μπι的输入直波导11、倒锥波导12和宽度为5 μπι的变窄直波导13组成的单模直锥形波导，倒锥波导12的引入可以滤除输入端高阶模式，同时还可以提高输出的均匀性以及减小信号位移对输出均匀性的影响。
[0016]展宽波导2为由缓变波导21和宽度为8 μπι的过渡直波导22组成的激模波导，缓变波导21的引入使得输入光场缓慢展宽，为光场的分束进行必要的准备；过渡直波导22使展宽的波导更趋于稳定，减小分束时的消耗。
[0017]输出波导3为对称输出的宽度均为2 μπι的三分支波导，且位于两侧的分支波导的宽度突变处均设有可利用错位补偿的过渡结构4，减小耦合损耗。
【主权项】
1.一种低损耗波导光分路器，包括输入波导(1)、展宽波导(2)和输出波导(3)，其特征在于:所述输入波导(1)为由输入直波导(11)、倒锥波导(12)和变窄直波导(13)组成的单模直锥形波导，所述展宽波导(2)为由缓变波导(21)和过渡直波导(22)组成的激模波导，所述输出波导(3)为对称输出的三分支波导，且位于两侧的分支波导的宽度突变处均设有可利用错位补偿的过渡结构(4)。2.根据权利要求1所述的低损耗波导光分路器，其特征在于:所述输入直波导(11)的宽度为6 μ m，所述变窄直波导(13)的宽度为5 μ m，所述过渡直波导(22)的宽度为8 μ m，所述输出波导(3)的分支波导宽度均为2 μπι。
【专利摘要】本实用新型公开了一种低损耗波导光分路器，包括输入波导、展宽波导和输出波导，所述输入波导为由输入直波导、倒锥波导和变窄直波导组成的单模直锥形波导，所述展宽波导为由缓变波导和过渡直波导组成的激模波导，所述输出波导为对称输出的三分支波导，且位于两侧的分支波导的宽度突变处均设有可利用错位补偿的过渡结构。本实用新型的输入波导用直锥形波导代替传统的直波导，减小器件的尺寸；展宽波导利于展宽的波导趋于稳定，减小分束时的消耗；输出波导为三分支波导，提高了器件的均匀性和容差性。
【IPC分类】G02B6/125
【公开号】CN205067786
【申请号】CN201520780289
【发明人】苗亮
【申请人】烟台市皓辰光电科技有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月9日