腔体装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型关于一种腔体装置，特别是关于一种高气密度的腔体装置。
【背景技术】
[0002]腔，是形容身体中空的部分，而后衍伸为一个密闭空间的意思。腔体装置，是用矩形、圆筒型或多边形壳体围成一个具有密闭空间的装置。腔体装置常被设置在需使用气密制程的设备单元内。而现今半导体产业、光电面板产业、太阳能产业的设备中，几乎都设有腔体装置。而这些设备藉由腔体装置的气密空间来提供一个干燥且除气的作业空间，而避免作业过程中气泡及水分的污染，故腔体装置的气密程度即为设备性能好坏的关键因素。
[0003]现有技术中，腔体装置常因腔门或腔口周缘表面无法达到高程度的平整而导致气密效果不够好。亦或，在某些腔体制程中必须先对腔体抽气而后通气，但因为抽气与通气之压差所产生的气冲，使腔门撑张而产生缝隙，以致气密效果又更为减弱。
【实用新型内容】
[0004]鉴于以上所述，现有技术中的腔体装置有气密效果不够完善的缺点，难以满足日渐提高的产业设备要求，实有改良的必要。
[0005]因此，本实用新型的目的在于提供一种高气密的腔体装置，能够提供并持续保持足够高的气密状态。
[0006]本实用新型为解决现有技术的问题所采用的技术手段为提供一种腔体装置，包含:一壳体构件，具有一腔室及连通于该腔室的一腔口部；一闸门构件，连接于该壳体构件且对应于该腔口部，用来闭合或开启该壳体构件的该腔口部，该闸门构件的表面自外而内具有一门片部、一弹性皮层部及一压制框体部，该弹性皮层部为柔软具有伸缩性的气密材料层，具有大于该腔口部的外缘轮廓，且贴合于该门片部的内侧表面，而在该闸门构件闭合于该壳体构件时与该腔口部相对应，该压制框体部沿着该弹性皮层部的外缘轮廓而框设叠覆于该弹性皮层部，而使该弹性皮层部固定在该压制框体部与该门片部之间；以及一气流构件，连通于该腔室，用来抽取该腔室内的气体或通入气体至腔室内；其中该腔室在被抽气而呈负压状态时，该弹性皮层部受压而向该腔室形变填入该腔口部且密合于该腔口部的周缘，使该腔体呈气密状态，而该腔室在被通入气体时，该弹性皮层部用以缓冲该腔室内因压差而产生的气冲，使该闸门构件仍密合于该腔口部的周缘且该腔体呈气密状态。
[0007]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该壳体构件具有一凸出部，框设凸出于该腔口部的周缘。
[0008]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，其中该腔口部具有一进料腔口与一出料腔口。在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该门片部具有至少一个扣环部，供以扣接该壳体构件。
[0009]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该弹性皮层部的外周缘小于该门片部的外周缘。
[0010]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该弹性皮层部为一橡胶弹性皮层部、一硅胶弹性皮层部或一硅橡胶弹性皮层部。
[0011]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该压制框体部的内框缘大于该腔口部的周缘。
[0012]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该压制框体部的外框缘实质上对齐于该弹性皮层部的外周缘。
[0013]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该压制框体部为一金属框。
[0014]在本实用新型的一实施例中提供一种腔体装置，该压制框体部穿透该弹性皮层部而钉固于该门片部。
[0015]本实用新型的腔体装置具有以下功效。本实用新型的腔体装置在抽气时藉由弹性皮层部的形变而密合于该腔口部周缘，能够使缝隙被充填并有效妥贴而使气密阻隔，以提高腔门与腔口周缘表面的密合程度，使腔体装置呈高气密度。并且，本实用新型的腔体装置在通气时藉由弹性皮层部缓冲腔室内因压差而造成的气冲，能够使该闸门构件维持稳固密合于该腔口部而不会产生缝隙，以致持续保持高气密的状态。
【附图说明】
[0016]图1为显示根据本实用新型的一实施例的腔体装置在闸门构件开启时的立体图。
[0017]图2为显示根据本实用新型的实施例的腔体装置在闸门构件闭合时的剖面图。
[0018]图3为显示根据本实用新型的实施例的腔体装置在抽气时的示意图。
[0019]附图标记说明
[0020]1----壳体构件
[0021]100----腔体装置
[0022]11----腔室
[0023]12a----进料腔口
[0024]12b----出料腔口
[0025]13a----凸出部
[0026]13b----凸出部
[0027]2a----闸门构件
[0028]2b----闸门构件
[0029]21a----门片部
[0030]21b----门片部
[0031]211a---扣环部
[0032]212a---扣环部
[0033]213a---扣环部
[0034]214a---扣环部
[0035]211b---扣环部
[0036]212b---扣环部
[0037]213b---扣环部
[0038]214b---扣环部
[0039]22a----弹性皮层部
[0040]22b----弹性皮层部
[0041]23a----压制框体部
[0042]23b----压制框体部
[0043]3----气流构件
【具体实施方式】
[0044]以下根据图1至图3，说明本实用新型的实施方式。该说明并非是限制本实用新型的实施方式，而是本实用新型的实施例的一种。
[0045]如图1所示，依据本实用新型的一实施例的一腔体装置100，包含:一壳体构件1，具有一腔室11及连通于该腔室的一腔口部12a、12b ;—闸门构件2a、2b，连接于该壳体构件1且对应于该腔口部12a、12b，用来闭合或开启该壳体构件的该腔口部12a、12b，该闸门构件2a、2b的表面自外而内具有一门片部21a、21b、一弹性皮层部22a、22b及一压制框体部23a、23b，该弹性皮层部22a、22b为柔软具有伸缩性的气密材料层，具有大于该腔口部12a、12b的轮廓，且贴合于该门片部21a、21b的内侧表面，而在该闸门构件2a、2b闭合于该壳体构件1时与该腔口部12a、12b相对应，该压制框体部23a、23b沿着该弹性皮层部22a、22b的外缘形状而框设叠覆于该弹性皮层部22a、22b，而使该弹性皮层部22a、22b固定在该压制框体部23a、23b与该门片部21a、21b之间；以及一气流构件3，连通于该腔室11，用来抽取该腔室11内的气体或通入气体至腔室11内。
[0046]如图1所示，本实施例中，该腔体装置100为液晶屏幕的贴合排泡机。当然，本实用新型不以此为限，该腔体装置100亦可为液晶屏幕贴合机、液晶屏幕排泡机或是任何一种腔体装置。
[0047]如图1及图2所示，该壳体构件1为一合金制成的长方形壳体，而壳体构件1的内部空间为该腔室11，而该腔口部12a、12b连通于该腔室。在本实施例中，该腔口部在该壳体构件1的前侧及后侧分别具有一进料腔口 12a与一出料腔口 12b，用来供产品自该进料腔口12a进料加工后而自该出料腔口 12b出料。当然，本实用新型不以此为限，该腔口部亦可具有一个或两个以上的腔口，而腔口的位置也可在该壳体构件1的同侧或其它位置。在本实