专利名称：等离子显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用等离子放电进行显示的等离子显示装置。
其中，等离子显示装置(PDP)通过将等离子放电产生的紫外线照射到荧光体并发光来进行图像显示，市场期待生产出薄型、大画面的显示器。
PDP由放电时的电压大致分为直流驱动(DC)型和交流(AC)驱动型。DC型PDP是对在对置的2个基板上设置的阴极和阳极间施加直流电压放电，只在施加电压的期间进行显示。另一方面，AC型PDP是对一对放电电极间施加交流脉冲电压放电，由覆盖电极的电介质层和保护层(MgO层)积累电荷并具有2个值的存储器功能。另外，AC型PDP与DC型同样有在对置的2个基板上分别设置1个放电电极的对置放电型和、在单个基板上并列设置2个放电电极的面放电型。
图13表示现有的面放电型的等离子显示装置100的概要结构。在此，示出包含对应1单位像素(图象单元)的部分的基本结构。
该等离子显示装置100对置配置背面玻璃基板101和成为显示面侧的前面玻璃基板102，期间在其边缘部密封。在背面玻璃基板101上平行排列多个地址电极103，设置覆盖这些地址电极103的电介质层104，在其之上还设置条状的隔壁105。利用隔壁105按各地址电极103分割其上面的空间，在隔壁105间的地址电极103的正上方分别交互设置红、绿、蓝的3原色的荧光体106。
另一方面，在前面玻璃基板102上为了面放电而设置有一对维持电极107(107a、107b)。在维持电极107a、107b上一体设置用于降低电阻的总线电极110(110a、110b)。另外，维持电极107排列成与地址电极103的延伸方向正交，维持电极107和地址电极103形成矩阵。另外，在这样的维持电极107上依次设置电介质层108、以及MgO膜构成的保护层109。电介质层108构成放电电流限制用的电容器，具有保持一定时间积累的电荷的功能。保护层109从放电等离子的溅射保护电介质层108和维持电极107，同时具有放大2次电子发射系数并降低放电开始电压、限制多余的放电电流、维持放电状态等功能。
该等离子显示装置100中，背面等离子基板101和前面等离子基板102之间成为放电空间，在此作为放电气体封入霓红、氙等混合气体或单独气体。该放电空间由隔壁105分割，在各放电空间矩阵状配置的一对维持电极107和地址电极103的交点形成点(最小发光单位)112。另外，荧光体106由红、绿、蓝的邻接的3个点112构成1单位像素(图象单元)113。
图14是沿着图13的VII-VII线的截面图。该等离子显示装置100中，首先在对应要发光的点112的保护层109上选择性积累壁电荷，接着对一对维持电极107a、107b间施加交流电压。这样，通过在壁电荷的电压重叠交流电压，维持电极107a、107b间的电压达到放电开始电压，产生放电(维持放电)。利用该放电从放电气体发射的紫外线照射到点112的荧光体106，点112发光并进行显示。
等离子显示装置100的驱动次序基于该原理，由要显示的点112的选择方法分为选择写入方式和选择泻放方式。选择写入方式中，首先最初对这些维持电极107a、107b交互施加脉冲，初始化成所有点112的壁电荷均匀的状态。在该状态下泻放整个面。接着，只使要显示的点112在维持电极107a、107b的一方和地址电极103间放电(地址放电)，在保护层109上积累壁电荷。若在该状态下对维持电极107a、107b间施加交流电压，则只有具有壁电荷的点112达到放电开始电压，产生放电(维持放电)。
与此不同，选择泻放方式中，首先使所有点112在维持电极107a、107b间放电，点亮整个面，在保护层109上同样积累壁电荷。接着，只使不显示的点112在与前一放电相反极性的维持电极107a、107b的一方和地址电极103间放电(地址放电)，泻放其壁电荷。结果，只在应显示的点112残留壁电荷，之后进行与选择写入方式相同的处理进行显示。
但是，这样的面放电型PDP有利用负辉光放电的PDP和采用阴极辉光放电的PDP。负辉光是在比所谓克鲁克斯暗区更远离阴极的位置产生，需要将放电电极间距离设为100μm左右。因此，此时的维持电极107a、107b间的间隙(放电间隙)需要大于100μm。因此，点112的尺寸缩小是有限的。另一方面，提出了采用阴极辉光放电的放电间隙格外窄的PDP(例如，特开平10-247474号公报等)。从阴极发射的电子朝向阳极加速，但刚发射的电子不与气体分子相互作用，电极间的阴极附近成为阿斯顿暗区。若加速的电子激励气体分子，则接着阿斯顿暗区产生激励的气体分子发光的部分。该部分为阴极辉光，比负辉光和克鲁克斯暗区离阴极更近。从而，在阴极辉光放电中，放电间隙小于50μm，维持电极107a、107b间设定为小于50μm。
这样工作中的等离子显示装置100中，在维持放电的放电等离子中产生受激准分子(excimer)、准稳定原子、准稳定分子等激励状态的粒子(准稳定粒子)。这些粒子不能直接迁移到基底状态，寿命比较长，有利于放电的持续、稳定化、放电功率的降低，但若在放电空间内运动中与周围的隔壁105等冲突，会失去能量。
但是，现有的等离子显示装置100中，由于维持电极107为薄板状的薄膜电极，所以如图14所示，在2个维持电极107a、107b的上面侧产生维持放电，其放电路径成为连结维持电极107a、107b的上面的半圆形的拱形状。因此，准稳定粒子与放电空间的周围壁面冲突的概率高，其平均自由行程变短，寿命变短。因此具有准稳定粒子的绝对数或存在概率不足，放电开始电压和放电维持电压上升的问题。该工作电压的增大成为引起耗电的增大、结构电路的过负荷以及产生拱形放电等异常放电等问题的主要原因。
另一方面，为了提高PDP的清晰度，需要缩小1点部分的区域，但由于若缩小电极间隔则工作电压上升，所以仍然导致上述问题。从而，不能稳定确保准稳定粒子，不能抑制低的驱动电压的现有的放电方式难以避免伴随小型化的电压上升。
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供可实现高清晰度、高亮度显示，同时耗电少的可靠性高的等离子显示装置。
以下具体说明本发明的其它目的、特征、效果。
图2是沿着图1所示的等离子显示装置的I-I线的截面图。
图3A和图3B是说明图1所示的等离子显示装置的变形例的地址电极和维持电极的配置的平面图。
图4A至图4C是表示本发明的实施例2的等离子显示装置的主要部分结构的图。
图5A和图5B是图4A至图4C所示的等离子显示装置的单元配置的一例。
图6A和图6B是表示本发明的实施例3的等离子显示装置的主要部分结构的图。
图7是图6A和图6B所示的等离子显示装置的单元配置的一例。
图8是图6A和图6B所示的等离子显示装置的单元配置的一例。
图9A和图9B是表示本发明的实施例4的等离子显示装置的主要部分结构的图。
图10是图9A和图9B所示的等离子显示装置的单元配置的一例。
图11是表示本发明的实施例5的等离子显示装置的主要部分结构的图。
图12是表示本发明的实施例5的等离子显示装置的主要部分结构的图。
图13是表示现有的等离子显示装置的结构的图。
图14是表示图13所示的现有的等离子显示装置的主要部分结构的图。
〔实施例1〕图1是表示本发明的实施例1的等离子显示装置的概要结构的图。图2是沿着其I-I线的截面的放大图。该等离子显示装置10中，在前面玻璃基板12上设置的维持电极17(17a、17b)、电介质层18和保护层19以外的各结构要素的结构与现有的等离子显示装置100相同，在对置配置的背面玻璃基板11和显示面侧的前面玻璃基板12间设置放电用的空间，边缘部经隔片(未图示)密封。另外，在此地址放电为负辉光放电、维持放电为阴极辉光放电。
背面玻璃基板11是例如板状形成了高变形点玻璃或钠玻璃。在背面玻璃基板11上例如并列配设有铝(Al)等金属薄膜构成的地址电极13，在其之上设置覆盖地址电极13的电介质层14。该电介质层14例如通过真空蒸镀SiO2(二氧化硅)来形成。在电介质层14上设置用于按各地址电极13分割放电空间21的隔壁15。隔壁15中例如截面形成梯形状，通过形成玻璃浆糊图案之后燃烧形成。另外，隔壁15的高度可以通过研磨隔壁15的顶部、或切削背面玻璃基板11来调整。在这些隔壁15间，在隔壁15的侧面和电介质层14的露出面上交互设置红、绿、以及蓝的3原色的荧光体16。
另一方面，前面玻璃基板12因位于显示侧而需要采用透明性好的材料，一般与背面玻璃基板11相同采用高变形点玻璃或钠玻璃。在前面玻璃基板12上设置与对置的地址电极13的延伸方向正交的多组维持电极17(17a、17b)，维持电极17和地址电极13构成将交点作为点的矩阵。
这些维持电极17是例如由ITO(Indium-Tin Oxide)等材料形成的透明电极，以对于将成对的维持电极17a、17b相互对置的面作为实质放电面的足够的厚度形成。这样的维持电极17的厚度是根据等离子显示装置10的规格可适当设定的值，但最好是大于10μm、为了扩大放电面最好大于20μm、更好是大于40μm。在此，维持电极17的厚度为40μm。至此的维持电极的厚度在0.1～1.0μm的范围内。厚度小于1μm是因为具有若再厚就会从基板剥离，蒸镀所需的时间过长等问题。另外，在此的维持电极17的宽度(即，对置面的宽度)例如是几μm～20μm左右。
另外，维持电极17除了整体由电极材料构成之外，也可以是例如由电极材料覆盖陶瓷等芯。此时，电极材料至少设置在对置面即可，为了难以从基板12剥离，可以设置更大体积的维持电极17。特别是在厚度大于40μm的大体积形状的情况下，这种结构容易形成。
成对的维持电极17a、17b的间隙(放电间隙)为了阴极辉光而小于50μm，设定为最好是小于40μm、更好是小于20μm。另外，与一对维持电极17a、17b邻接的另一维持电极17a、17b对的相互间距离为了防止点间的所谓克鲁克斯而例如大于20μm。另外，在这些维持电极17a、17b可以为了降低电阻而例如设置Al(铝)等金属构成的总线电极(未图示)。
另外，如图13所示，以前电介质层108和保护层109设置成从维持电极17上覆盖前面玻璃基板102的整个面，但在此设置成电介质层18和保护层19只覆盖各维持电极17。电介质层18和保护层19分别例如由低熔点玻璃和MgO(氧化镁)构成。
另外，在前面玻璃基板12的一对维持电极17a、17b和背面玻璃基板11的地址电极13之间设置的放电空间作为放电气体封入霓红、氙等混合气体或单独气体，由隔壁15分割的放电空间构成各放电单元，同时按点发光。
下面，参考图1和图2说明等离子显示装置10的工作。
在此，驱动方式为选择泻放方式。首先，对各维持电极17a、17b间施加交流脉冲电压。其电压例如一侧为+200V、另一侧为-200V左右。这样，在所有放电单元的保护层19上均匀积累壁电荷，复位单元整个面。接着，未显示的点的放电单元中，对维持电极17和地址电极13施加放电地址电压进行负辉光放电(地址放电)，泻放其壁电荷。此时，施加给各维持电极17a、17b的放电地址电压的极性与初始化时的放电极性相反。例如，在维持电极17侧将前一放电中为+200V的电压设定为-100V，将-200V的电压设定为0V，将地址电极13的电压设定为+70V。这样，只在应显示的点残留壁电荷。
接着，若在该状态下对维持电极17a、17b间施加交流电压，则只有具有壁电荷的点112因壁电荷的电压和交流电压重叠而达到放电开始电压，在其放电间隙产生阴极辉光放电的面放电(维持放电)。此时施加的放电维持电压例如分别对于维持电极17a、17b都是±160V的交流电压。
在此，本实施例中，由于以足够厚度形成维持电极17a、17b，所以放电实质上在这些侧面中相互对置的对置面产生。此时，2个放电面间的放电路径成为与对置面正交的直线状。因此，该放电产生的准稳定粒子只在维持电极17a、17b间存在，朝向放电单元周围的概率低。这样，准稳定粒子可以作为整体长时间维持准稳定状态。
该放电路径平行于荧光体16的表面，在放电间隙向维持电极17a、17b的延伸方向连续。从而，放电等离子在图2的虚线所示的区域中产生成平行于荧光体16的表面的面状。另外，由于电介质层18和保护层19只覆盖维持电极17a、17b，所以在维持电极17a、17b的下侧也进行放电。
通过该等离子放电，放电空间内的放电气体发射紫外线，该紫外线照射到荧光体16激励荧光体16并发光显示点。
本实施例的等离子显示装置10以在相互对置维持电极17a、17b的对置面间产生放电的厚度(40μm)立体形成，维持放电在该对置面间产生成直线状，该放电的准稳定粒子只在对置面间存在。从而，增大准稳定粒子的存在概率，可以保持长时间寿命，所以可以降低放电开始电压和放电维持电压。
另外，通过在对置面间直线放电，放电间隙的整个区域产生放电，可以有效放电，同时可以不恶化荧光体16而抑制放电单元的高度。现有的情况下，如图14所示，由于如上述维持放电在维持电极107a、107b的上面之间产生成拱形状，所以荧光体106因拱形顶上的等离子而恶化。另外，为了防止该问题，需要提高放电单元并使维持电极107和荧光体106具有一定距离。另外，以前由于放电等离子主要在放电路径的中央，即拱形的顶部分(图14的虚线区域)集中产生，所以虽说采用同一面上的电极对的面放电型，但实质上对发光有用的等离子在拱形顶上产生成线状。
与此不同，本实施例中，由于在维持电极17a、17b之间产生的维持放电的放电路径与荧光体16的表面平行，所以可使放电路径上的所有放电有效用于发光。特别是在此，由于放电等离子产生成平行于荧光体16的表面的面状，所以可使放电有效用于发光。
另外，由于电介质层18和保护层19只覆盖维持电极17a、17b，所以在维持电极17a、17b的下侧也进行放电，放电可以有效利用放电间隙。
下面说明上述实施例1的变形例。图3A和图3B表示变形例的地址电极13和维持电极17的配置，图3A为平面图，图3B为沿着其II-II线的截面图。此时，维持电极17形成为具有只在与地址电极13正交形成点的部位成对的维持电极17的对置面产生放电的厚度(例如40μm)，此外的部位例如与以前同样非常薄。因此，维持放电在作为目的的点位置的局部产生。从而，可以降低电荷移动产生的邻接点间的克鲁克斯。
〔实施例2〕图4A至图4C表示本发明的实施例2的等离子显示装置的主要部分结构。图4A为平面图、图4B为其III-III线的截面图、图4C为IV-IV线的截面图。该等离子显示装置中，放电空间由隔壁分割成单元状，构成内部放电空间封闭的各放电单元20，与隔壁25对置的2边分别相接，岛状维持电极27a、27b设置在前面玻璃基板22上。另外，与剩余的隔壁25中的1边相接，岛状地址电极23设置在荧光体26上。另外，荧光体26设置在背面玻璃基板21上。
在此，维持电极27a、27b以在相互对置的对置面间产生放电的厚度立体形成，其厚度例如为40μm。另外，厚度最好大于10μm，可以在10μm～100μm范围内适当选择。另外，其宽度最好在几μm～20μm左右的范围内，例如可以是10μm左右。另外，与实施例1同样，维持电极27a、27b间的放电间隙设定为小于50μm、最好是小于40μm、更好是20μm，同时确定单元的维持电极27相接的隔壁25的距离。
另一方面，地址电极23在此设置为在与隔壁25的维持电极27相接的2边以外的面几乎位于中央。其中，地址电极23起在与维持电极27间产生地址放电的作用即可，不是必需设置在该位置，其形状可以是例如实施例1的线状。另外，这些地址电极23和维持电极27分别由电介质24覆盖。
这样的等离子显示装置中，在各放电单元20内部如图4A和图4B所示产生维持放电。即，岛状地在单元20内独立设置的维持电极27a、27b的对置面间产生放电，2个放电面间的放电路径成为与对置面正交的直线。因此，该放电产生的准稳定粒子只在维持电极27a、27b间存在，朝向放电单元周围的概率低。这样，准稳定粒子可以作为整体长时间维持准稳定状态。
本实施中，由于放电路径平行于荧光体26的表面，同时电介质层24只覆盖维持电极27a、27b，所以在维持电极27a、27b的下侧也进行放电，可以有效利用放电间隙引起放电。
通过利用该等离子放电，放电气体发射紫外线，其线照射到荧光体26激励荧光体26并发光显示点。
图5A和图5B是表示采用这样的放电单元20构成的等离子显示装置的一例。图5A和图5B中，地址电极23和维持电极27分别与地址电极布线123、维持电极布线127连接，各放电单元通过这些地址电极布线123和维持电极布线127驱动。
上述实施例1中，放电等离子产生成平行于荧光体16的表面的面状，本实施例中，在放电等离子对置的维持电极27a、27b间产生成直线状。因此，若去除该点，则本实施例的作用效果与实施例1相同。
〔实施例3〕图6A和图6B表示本发明的实施例3的等离子显示装置的主要部分结构。图6A为平面图、图6B为其V-V线的截面图。该等离子显示装置中，面对面的梳形隔壁35嵌合组合，由该隔壁35将放电空间如图那样分割成X方向和Y方向。从而，在1个放电单元30中，细长的放电空间构成为由隔壁35折弯，在该放电空间的两端设置有岛状的维持电极37a、37b。另外，如图6A所示，在此，在折弯隔壁35的放电空间的部位设置有放电辅助电极37c。
这些维持电极37a、37b以及放电辅助电极37c都在前面玻璃基板32上形成。其中的维持电极37a、37b以在Y方向相邻的放电辅助电极37c间在与其对置的面产生放电的足够的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。另一放电辅助电极37c也以在相互相邻的电极间在与其对置的面产生放电的足够的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。其中，由于放电辅助电极37c为了瞬间火种放电而设置的，所以厚度可以是几μm～10μm左右。另外，这些维持电极37a、37b和辅助放电电极37c分别由电介质层38和保护层39覆盖。
另外，在隔壁35间的背面玻璃基板31上设置有荧光体36、以及未图示的地址电极。在此，地址电极起在与维持电极37之间产生地址放电的作用即可，其位置和形状为任意的。
这样的维持电极37a、37b间的放电路径成为沿着单元30内的放电空间导向放电辅助电极37c形成的折弯的直线。另外，维持电极37a、37b和Y方向排列的放电辅助电极37c之间的放电间隙与实施例1同样，例如设定为小于50μm、最好是小于40μm、更好是小于20μm，同时确定单元的Y方向的隔壁35的长度。
具有这种结构的放电单元30的等离子显示装置中，如图6A所示，经放电辅助电极37c沿着放电单元30的纵向放电，在维持电极37a、37b的对置面间产生维持电极。此时，由于2个放电面间的放电路径平行于前面玻璃基板32面成为直线，所以该放电产生的准稳定粒子只在维持电极37a、37b之间存在，朝向放电单元30周边的概率低。因此，准稳定粒子可以作为整体长时间维持准稳定状态。
通过利用该等离子放电，放电单元30内部的放电气体发射紫外线，其紫外线照射到荧光体36激励荧光体36并发光显示点。
图7和图8是采用这样的放电单元30构成的等离子显示装置的单元配置的一例。图7中，放电单元30都以相同朝向排列成格子状，荧光体36的3原色、R(红)、G(绿)、B(蓝)在X、Y方向交互重复。
图8中，放电单元30配置为在Y方向以一定宽度并列，在X方向对于邻接的放电单元将相互位置错开半个单元宽度。另外，单元30的朝向在Y方向成为相互镜面对称，荧光体36的R(红)、G(绿)、B(蓝)在Y方向相同，在X方向交互重复。
本实施例中，由于设置了放电辅助电极37c，所以可以在任意位置折弯放电路径，增加放电单元内的设计自由度。其它作用效果与实施例2相同。
〔实施例4〕图9A和图9B表示本发明的实施例4的等离子显示装置的主要部分结构。图9A为平面图、图9B为其VI-VI线的截面图。在此，1个放电单元40中，隔壁45为螺旋形状，在隔壁45的中心部和外部的2个终端部分别设置岛状的维持电极47a、47b。另外，在隔壁45内侧的侧壁设置沿着如图所示的螺旋状的放电路径产生放电的放电辅助电极47c。
这些维持电极47a、47b以及放电辅助电极47c都在前面玻璃基板42上形成。在此与实施例3同样，维持电极47a、47b以在沿着放电空间的纵向邻接的放电辅助电极47c之间在与其对置的面产生放电的足够的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。放电辅助电极47c以在与相互邻接的电极之间在与其对置的面产生放电的足够的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。其中，由于放电辅助电极47c为了瞬间火种放电而设置的，所以厚度可以是几μm～10μm左右。这些维持电极47a、47b和辅助放电电极47c分别由电介质层48和保护层49覆盖。
另外，在隔壁45间的背面玻璃基板41上设置有荧光体46、以及未图示的地址电极。在此，地址电极起在与维持电极47之间产生地址放电的作用即可，其位置和形状为任意的。
具有这样结构的放电单元40的等离子显示装置中，如图9A所示，通过经放电辅助电极47c沿着放电单元的纵向在螺旋状的路径放电，在维持电极47a、47b的对置面间产生维持放电。此时，由于2个对置面间的放电路径平行于前面玻璃基板42的面成为直线，所以该放电产生的准稳定粒子只在维持电极47a、47b之间存在，朝向放电单元周围的概率低。因此，准稳定粒子可以作为整体长时间维持准稳定状态。
通过利用该等离子放电，放电单元40内的放电气体发射紫外线，其紫外线照射到荧光体46激励荧光体46并发光显示点。
图10是采用这样的放电单元40构成的等离子显示装置的单元配置的一例。在此，如图9A的虚线所示，放电单元40的外形看作6角形，各放电单元配置成蜂窝状。另外，荧光体46的R(红)、G(绿)、B(蓝)在Y方向相同，在X方向交互重复。
本实施例中，由于设置了放电辅助电极47c，所以可以曲线状折弯放电路径，增加放电单元的设计自由度。其它作用效果与实施例2相同。
〔实施例5〕图11是表示本发明的实施例5的等离子显示装置的主要部分结构的图。本实施例的等离子显示装置构成为除了设置了荧光体50和荧光体保护层51之外，与实施例1相同，所以对相同结构要素附加同一标号，不作说明。
在此，荧光体50层状设置在背面玻璃基板11上，在放电单元上面的相应部分配置R(红)、G(绿)、B(蓝)的荧光体，此外的部分成为炭等黑矩阵。在该荧光体50上关闭条状排列的隔壁15之间的开口设置荧光体保护层51。荧光体保护层51可以例如由玻璃或硅(Si)形成，其厚度可以是50μm左右。
本实施例中，由于在荧光体50上设置了荧光体保护层51，所以可以防止荧光体50在放电中受到成为等离子的气体激励粒子或高温电子的接触而恶化。
另外，如图12所示，可以在荧光体50的整个面设置层状的荧光体保护层51，同时设置隔壁55。隔壁55在前面玻璃基板12侧也形成面，包围放电单元的周围。这样的隔壁55例如可以通过切削规定厚度的玻璃基板或腐蚀Si基板来形成，若设置在前面玻璃基板12上，则容易制造装置。
以上举出实施例说明了本发明，但本发明不限于上述实施例，可以进行各种变形。例如，上述实施例中，放电方式是设地址放电为负辉光放电、设维持放电为阴极辉光放电，设放电间隙小于50μm、最好小于20μm，但可以将地址放电和维持放电一起设为阴极辉光放电。另外，在2个放电为负辉光放电的情况下，通过选择100μm左右的放电间隙，可以同样构成等离子显示装置。这样，本发明与放电方式无关，可以广泛适用于等离子显示装置。
如上所述，根据本发明的等离子显示装置，由于成对的2个维持电极具有在相互对置的面可实质放电的厚度，所以通过维持放电在该对置面间产生成直线状，该放电的准稳定粒子只在对置面间存在，可以保持较长时间的寿命。从而，可以实现高清晰度、高亮度的显示，同时由于放电开始电压和放电维持电压降低，可以提高工作稳定性、降低耗电，还可以实现小型化。
可知基于上述说明可以实施本发明的各种变形例。从而，在以下权利要求的范围内，可以利用上述所述形态以外的形态实施本发明。
权利要求
1.一种等离子显示装置，包括在对置配置的2个基板中的一基板上设置的荧光体层，和在另一基板上的经放电间隙邻接的支持电极对，其特征在于上述支持电极对具有在两电极相互对置的面间可显著放电的厚度。
2.如权利要求1所述的等离子显示装置，其特征在于上述维持电极对的电极间放电的放电路径为直线状。
3.如权利要求2所述的等离子显示装置，其特征在于上述放电路径平行于上述荧光体层。
4.如权利要求1所述的等离子显示装置，其特征在于上述维持电极对的各电极厚度等于或大于10μm。
5.如权利要求4所述的等离子显示装置，其特征在于上述维持电极对的各电极厚度等于或大于20μm。
6.如权利要求5所述的等离子显示装置，其特征在于上述维持电极对的各电极厚度等于或大于40μm。
7.如权利要求1所述的等离子显示装置，其特征在于上述放电间隙小于50μm。
8.如权利要求1所述的等离子显示装置，其特征在于在上述维持电极对的电极间设置1个或2个或更多的放电辅助电极。
全文摘要
提供一种可实现高清晰度、高亮度的显示，同时耗电少、可靠性高的等离子显示装置。在前面玻璃基板(12)上例如设置厚度40μm的维持电极对(17a)、(17b)。该厚度是对于将维持电极对(17a)、(17b)相互对置的面作为实质放电面充分的厚度，此时的放电路径成为对置面间的直线。从而，在放电时产生的准稳定粒子偏离这些对置面朝向周围的概率降低，可以作为整体保持长时间寿命。
文档编号H01J11/26GK1426594SQ01808653
公开日2003年6月25日 申请日期2001年12月28日 优先权日2000年12月28日
发明者白水进一郎 申请人:索尼公司