专利名称：无电极型平面介质阻挡放电荧光灯及其制作方法
技术领域：
本发明涉及一种包括荫罩的装置，更具体地，涉及一种用于使荫罩消磁 的装置和方法。
背景技术：
在有机电致发光显示器件或者半导体器件中，通过使用具有预期图案的 荫罩，可以在基板上形成薄膜图案。更具体地，荫罩和基板设置在源之上，以 使荫罩设置在基板和源之间。然后，源蒸发并通过荫罩沉积在基板上。通常，在腔室中荫罩粘接到具有基板的基板支架上。荫罩和基板可以通 过木几械固定法或者磁性固定法固定到基板支架上。在机械固定法中，可以使用 销或者夹子机械地固定基板支架的侧面、荫罩和基板。在磁性固定法中，荫罩 是由磁性物质形成，并且基板和荫罩可以通过永久磁体或者电磁体磁性固定到 基板支架上。在磁性固定法中，荫罩可以被磁化，并且荫罩的相邻图案由于磁化而彼此接触，使得在基板上产生非预期的图案。
图1和图2为示出根据现有技术采用磁性荫罩形成薄膜的装置的视图。 如图1所示，荫罩102设置在工艺腔室101中的掩模支架103之上。基板105设置在基板支架104之上，该基板支架104设置在工艺腔室101中的荫罩102之上。荫罩102是由不胀钢形成，该不胀钢是铁磁铁和镍的合金，并具有相对 低的热膨胀系数。与图案对应而向荫罩102打孔。两个交叉图案(未示出)形成在基板105和荫罩102中的每一个上。当 通过电荷耦合装置(CCD)的照相机106监控交叉图案时，根据来自CCD照 实施例15-
具体工艺流程同实施例12，前后玻璃基板外表面上透明固体导电介质层6 的附加，是通过透明导电胶将氧化锡铟(ITO)薄膜粘接到后玻璃基板2外表面。
实施例16:
具体工艺流程同实施例15，前后玻璃基板外表面上透明固体导电介质层6 的附加，是通过真空溅射在后玻璃基板2外表面直接制作ITO玻璃。
由以上实施图例可以看出，本发明专利所制作的无极平板荧光灯，由于成功 避免使用了贵重金属电极，所以大大降低了制作成本；另外，制作过程中尽可能 多的减少了烧结的次数，在最大程度上保护了玻璃基板的机械强度和表面平整 度；此外，有效利用了玻璃基板，使其具有介质阻挡放电功能，从而再次避免了 介质阻挡层的喷涂、烧结制作。所有结果表明，本发明更易实现这类平板光源在 大尺寸品种上的工业化生产。
权利要求
1.一种无电极型平面介质阻挡放电荧光灯，包括前玻璃基板和后玻璃基板，在两片玻璃板内侧面均配置有荧光粉层，后玻璃基板上配置障壁和边框作为支撑体，将前后玻璃基板对位、封接成一个整体，内部充入一定压力的惰性气体，其特征在于前后玻璃基板的外表面上各附加一层透明导电介质层(6)，该透明导电介质层(6)不具有任何电极形状，为连续的片状，后玻璃基板(2)的透明导电层(6)外表面配置反光层(7)，前后玻璃基板作为介质阻挡放电层，在高频交变电压的作用下，产生等离子体，激发荧光粉稳定发光。
2. 根据权利要求1所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯，其特征在于所述的透明导电介质层6由密封一层透明水膜构成。
3. 根据权利要求(1)所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯，其特征在 于所说的透明导电介质层(6)由直接在后玻璃基板的外表面涂覆一层透明固 体导电物质构成。
4. 根据权利要求2所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯，其特征在于 所说的透明水膜是普通工业用水、日常饮用水。
5. 根据权利要求3所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯，其特征在于所说的透明固体导电物质是氧化锡铟(ITO)薄膜。
6. 根据权利要求1或2或3或4或5所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光 灯，其特征在于所说的后玻璃基板(2)上配置障壁(4)和边框(5)为透明 状，形状不固定，障壁(4)和边框(5)或通过低熔点玻璃粉与后玻璃基板粘结， 或通过刻蚀后玻璃基板的方法直接实现，此时障壁4和边框与后玻璃基板(2) 为一完全的整体。
7. 根据权利要求6所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯，其特征在于 所说的后玻璃基板(2)上配置障壁(4)和边框(5)为非透明状。
8. —种无电极型平面介质阻挡放电荧光灯的制作方法，其特征在于前后玻 璃基板的外表面上各附加一层透明导电介质层，后玻璃基板(2)的透明导电介 质层(6)外表面配置反光层(7)，直接以前后玻璃基板作为介质阻挡放电层， 具体的制作步骤包括有-一.荧光灯的前后玻璃基板内侧面均喷涂、烧结有荧光粉层(3); 二. 后玻璃基板2上或刻蚀或烧结障壁(4)和边框(5)作为支撑体；三. 将前后两玻璃基板对位、封接成一个整体，内充一定压力的惰性气体；四. 前后玻璃基板外表面上各附加一层透明导电介质层(6)，附加的一层透 明导电介质层(6)或由密封一层透明水膜或由涂覆一层ITO或者涂覆一层导电 高分子复合物固体导电物质作为导电介质；五. 后玻璃基板的透明导电层(6)外表面上配置反光层(7)，直接以前后玻 璃基板作为介质阻挡放电层；六. 在高频交变电压的作用下，产生等离子体，激发荧光粉稳定发光。
9. 根据权利要求8所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯的制作方法， 其特征在于所说的密封一层透明水膜是在前后玻璃基板外表面贴上一片超薄玻 璃板，周围用紫外光固化胶进行密封，形成具有一定厚度的空腔，然后从预留的 小孔处注入水；所说的后玻璃基板(2)的透明导电层(6)外表面上配置反光层(7)是或电镀或粘接反光层于后玻璃基板(2)的透明导电层(6)外表面上。
10. 根据权利要求8所述的无电极型平面介质阻挡放电荧光灯的制作方法， 其特征在于所说的前后玻璃基板外表面上透明固体导电介质层(6)的附加， 是通过透明导电胶将氧化锡铟(ITO)薄膜粘接到后玻璃基板(2)外表面，或 通过真空溅射在后玻璃基板(2)外表面直接制作ITO玻璃。
全文摘要
本发明公开了一种无电极型平面介质阻挡放电荧光灯及其制作方法。该荧光灯在两片玻璃基板内侧面均配置了荧光粉层，后玻璃基板上配置了障壁和边框作为支撑体。将前后两基板对位、封接成一个整体，内充一定压力的惰性气体。在前后玻璃基板外表面上各密封一层透明水膜或涂覆一层固体导电物质作为导电介质，直接以前后玻璃基板作为介质阻挡放电层。在高频交变电压的作用下，产生等离子体，激发荧光粉稳定发光。本发明减少了热处理过程，最大限度的保护了玻璃基板的机械强度和表面平整度。利用本发明所制作的产品，明显降低成本，工艺简化，提高生产效率，尤其适于平板光源在大尺寸品种生产上的工业化。
文档编号H01J61/42GK101106057SQ20071001818
公开日2008年1月16日 申请日期2007年7月3日 优先权日2007年7月3日
发明者李建平, 王奇观, 王素敏 申请人:西安工业大学