照明用光源及使用其的图案检查装置的制作方法

专利名称：照明用光源及使用其的图案检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种为了进行对象物的表面状态的检查而相对该表面从斜 向照射照明光的照明用光源，及对形成于基板的图案照射照明光、获得被 照明的图案图像而自动地进行检查的图案检査装置。
背景技术：
公知有对被形成于光透射性的基板上的图案照射照明光而根据所拍摄 的图像来判定图案的优劣的图案检查装置。
在此种图案检査装置中，从形成有基板的图案的一侧通过反射照明单 元，相对检查区域斜向入射地进行照明，然后通过摄影单元来拍摄基板的 图案，根据被拍摄的图像的辉度分布图案，可检测出图案上有无凹坑(凹 部或缺口)。若在图案上有凹坑，则有发生断线的情形，因而必须作为不合 格品检测出来。
如上述的照明单元，作为用于对检査对象从全方向斜向地照射照明光 的照明单元，经常使用环形照明单元。作为使用环形照明单元的检査装置， 例如有专利文献l。
依照上述公报，如图14 (a)所示，现有的环形照明，在薄圆筒环状的 本体容器102中将多个LED103排列配置在同心圆上。
另外，如该图14 (a)的a向视图即图14 (b)及b向视图即图14 (c) 所示，各LED103在圆的中心O方向具有角度地配置，而对于进行检查的 工件，成为可从斜向照射照明光。专利文献h日本特开2002-328094号公报
在上述图案检查装置中，反射照明光在进行工件检查的区域的任意点 上，从全方向(360°方向)入射同一入射角度的光，从各方向所入射的光 强度必须相同。
另外，无论在检查区域的哪一点，其条件(从全方向入射同一的入射 角度的光，从各方向所入射的光强度相同)也必须相同。以下说明其理由。
(1) 在上述的图案检查装置中，若在图案上存在凹坑，则作为明亮(辉 度高)的部分被拍摄。若光亮(辉度)大，则凹坑的大小大，而若光亮(辉 度)小，则凹坑小。
若为小的凹坑，也有可以不作为不合格的情形，这时候，根据凹坑的 光亮(辉度)的大小来判定优劣。
(2) 在检査区域的某一点，若入射于该点的照明光的强度根据方向而 不同，则即使凹坑(缺口)的大小相同，根据产生缺口的方向，光亮(辉 度)也会变化。
例如，如图15所示，可以使照明光从右侧以较强的强度，而从左侧以 较弱的强度进行照射。位于图案P右侧的凹坑，由于反射强度较强的照明 光，因而变亮，相反地，位于图案P左侧的凹坑，由于反射强度较弱的照 明光，因而变暗。
也就是说，即使缺口 (凹坑)的大小相同，光亮(辉度)也不相同， 而无法实施正确的检查(优劣判定)。因此，照明光在检查区域的任意点， 必须从全方向(360°方向)以相同强度进行照明。
另外，在图案的表面有产生突起的情形。由于突起产生断线的可能性 较低，因而不必作为不合格检测出。为了区别检测在图案表面产生的凹坑与突起而照明反射照明光，但由于角度，很难区别检测凹坑与突起。为了 将图案表面的凹坑与突起区别检测，需要以最适当的角度范围来照射照明 光。与上述同样，不可变得根据产生缺口的方向而无法区别凹坑与突起。
因此，在检查区域的某一点，必须从全方向(360°方向)入射同一入射角 度的光。
另外，对于检査区域全体，若来自各方向的照明光的强度或入射角度 有偏差，则即使相同大小的凹坑，根据部位光亮(辉度)的大小也会变化， 或无法与突起进行区别，因而无法完成正确的检査(优劣判定)。因此，在 检査区域的任一部位(点)，也必须从全方向(360°方向)入射同一的入 射角度的光，从各方向所入射的光强度也必须相同。
在上述图案检查装置中，将CCD线性传感器即摄像单元在与线性传感 器延伸的方向正交的方向进行扫描，进行拍摄检査区域全体。
图16是CCD线性传感器(未图示) 一次地拍摄的细长区域的俯视图。 摄像区域的大小例如是长18mm，宽度是2 U m。
虽然在该图上模式化表示，但如上述说明，例如即使在摄像区域的中 心部A，另外在左端部B或右端部C，所入射的照明光也是从全方向(360 °方向)同一的入射角度，从各方向所入射的光强度必须相同。
但是，在图14所示的现有的环形照明中，各LED103具有角度地配置 于圆的中心O方向。因此，如图17所示，来自各LED的光并不是平行光， 照明光朝向摄像区域的中心部A。
因此，在检査区域具有如图16的大小时，在中心部A，虽从全方向照 射均匀的强度与角度的光，但此以外的点，例如在两端部B或C，所入射的光强度根据方向而不相同。
回到图17，在摄像区域B、 C，没有例如从相对于CCD线性传感器所 延伸的方向正交的方向所入射的照明光(a)， (b)(图中以虚线表示)。所 以，在B， C的位置，即使有缺口朝(a)或(b)的方向的凹坑，从该方 向也不入射照明光，因而无法检测出凹坑。
也就是说，在上述图案检查装置中，作为反射照明单元，无法仍然使 用现有的环形照明。

发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，本发明的目的在于提供一种在拍摄 的区域的任意点，从全方向(360°方向)入射同一入射角度的光，从各方 向所入射的光强度相同，且无论在摄像区域的哪一点，都可得到其条件都 相同的反射照明单元，而且可进行使用该反射照明单元的凹坑的正确检查 (优劣判定)的图案检查装置。
发明人专心研究的结果，发现了在拍摄的区域的任意点，从全方向(360 °方向)入射同一入射角度的光，从各方向所入射的光强度相同，且无论 在检査区域的哪一点，为了使其条件(从全方向入射同一的入射角度的光， 而从各方向所入射的光强度相同)都相同，对于所拍摄的区域的横竖的大 小，只要将与其相同或比其还要大且射出平行光的面光源作为一个单位， 将该面光源以多个环状地围绕摄像区域的方式配置在摄像区域上部的同一 平面上就可以。
使用图1来说明解决方法的原理。
图l (a)是表示从上方观看线状摄像区域R的俯视图，准备与摄像区域R相同长度与宽度的6个线状光源a、 b、 c、 d、 e、 f，表示在摄像区域 R上方的同一平面上以围绕摄像区域R的方式配置的状态。另外，图1 (b) 是表示从横向观看图l (a)的侧视图。
如图1所示，从线状的光源a f以平行状态射出照明光，而以预定的 入射角度入射于摄像区域R的各点BAC。也就是说，从各光源的中央部A' 所射出的光入射于摄像区域R的中央部A。另外，从各光源的左端部B' 所射出的光入射于摄像区域R的左端部B，另外从各光源的右端部C'所 射出的光入射于摄像区域R的右端部C。
如图1所示，照明光的光路即A-A'、 B-B'及C-C'互相平行，而各 自长度从(光源至摄像区域为止的距离)也相等，因而在摄像区域R的A， B， C的各点，从各方向(图1的情形为6个方向)入射同一入射角度的光， 而从各方向所入射的光强度相同。另外，无论在摄像区域R的哪一点，都 从全方向入射同一入射角度的光而从各方向所入射的光强度相同。
在1图中，为了不使图变得烦杂，将配置于摄像区域R的周围的光源 数设为6个，但其数量越多，越会从全方向入射均匀的强度与角度的照明 光。
图2是表示摄像区域为矩形状的情形的例子。
图2 (a)， (b)与图1 (a)同样，从上方观看长方形状的摄像区域R 的俯视图，准备与摄像区域R相同大小的8个长方形状的面光源a h，表 示在摄像区域R上方的同一平面上以围绕摄像区域R的方式配置的状态。 另外，图3是表示从横向观看图2 (a)的侧视图。
由面光源a h的A'， B'， C'， D'，照明光以平行的状态射出，而以预定的入射角度入射在摄像区域R的ABCD各点。例如，如图2(a)所示， 在摄像区域R的图中左下D，入射来自各面光源的左下D'的光(图中以 虚线所示)。另外，如图2 (b)所示，在摄像区域R的右上B，入射来自 各面光源的右上B'的光(图中以单点化线表示)。
同样地，在摄像区域R的右下C，入射来自面光源的右下C'的照明 光；在摄像区域R的左上A，入射来自面光源的左上A，的照明光。
图3表示由面光源a与d的D，向摄像区域R的D入射照明光，而由 C'向摄像区域R的C入射照明光的状态。
照明光的光路即A-A'、 B-B'、 C-C，及D-D'互相地平行，而各自长 度(从光源至摄像区域为止的距离)也相等，因而在摄像区域R的A， B， C的各点，从各方向(图2的情形为8个方向)入射同一入射角度的光， 而从各方向所入射的光强度相同。另外，无论在摄像区域R的哪一点，都 从全方向入射同一入射角度的光而从各方向所入射的光强度相同。
配置于摄像区域R的周围的面光源数越多，越会从全方向入射均匀的 强度与角度的照明光。但是，如后述地，若增加面光源的数，则使得其相 应的照明单元的直径(大小)变大，而装置会大型化。
基于以上，在本发明中，如下地解决上述课题。
(1) 一种照明用光源，将向被照射区域照射平行光的面光源，在同一 平面上环状地配置多个，使各面光源的大小为被照射于被照明区域面上的 来自各面光源的光的照射区域包含被照明区域全体的大小。
(2) 在上述(1)所述的照明用光源中，将上述多个面光源构成为将 多个LED于同一平面上排列多个。并且，将各面光源内的LED，以来自各面光源的平行光被照明于被照明区域的方式，朝向配置有各面光源的环状 的内侧倾斜排列。
(3) 在上述(1)所述的照明用光源中，将上述多个面光源构成为在 多个LED的光射出侧将棱镜板环状地配置多个，所述棱镜板将从上述多个 LED所射出的光作为平行光射出，构成各面光源的棱镜板，以来自各棱镜 板的平行光被照明在被照明区域的方式，使从各LED射出的光在配置有各 面光源的环状内侧折射。
(4) 一种图案检査装置，具备暗视场照明单元，对于形成有图案的 工件从斜向照射反射照明光；摄像单元，对通过上述暗视场照明单元所照 明的上述图案进行拍摄；保持工件的工件保持单元；及控制部，根据通过 上述摄像单元所拍摄的图案像来判定图案的优劣，作为上述暗视场照明单 元使用上述(1 3)中的照明用光源。
在本发明中，可以得到以下的效果。
(1) 在拍摄的区域的任意点，从全方向(360°方向)入射同一入射 角度的光，从各方向所入射的光强度相同，且无论在检查区域的哪一点， 使其条件都相同，也就是说，使同一的入射角度的光从全方向入射，从各 方向所入射的光强度都相同地进行照明。
因此，所拍摄的区域内的光亮(辉度)不会由于部位而有所改变，无
论在检查区域的哪一点，都可以同一条件进行拍摄。
(2) 通过将本发明的照明光源作为图案检查装置的暗视场照明单元使 用，从而在进行检查的全区域，根据所拍摄的图像来区别凹坑与突起，而 通过凹坑的光亮(辉度)的不同则可判定优劣。


图1 (a)， (b)是说明本发明的原理的图(摄像区域为线状的情形)。 图2 (a)， (b)是说明本发明的原理的图(摄像区域为矩形的情形)。 图3是图2 (a)的侧视图。
图4 (a) (c)是表示构成本发明第1实施例的照明单元的面光源的 构成的图。
图5 (a)， (b)是均等地配置8个图4的面光源的情形的图。 图6 (a)， (b)是表示说明对于矩形的摄像区域R，从8个各面光源照 射照明光的情形的图。
图7 (a)， (b)是说明构成本发明的第2实施例的照明单元的光源的构
成的图。
图8是说明棱镜板的切出的图。
图9是说明向图7所示的光源安装棱镜板的图。
图10 (a) (c)是放大表示构成第2实施例的照明单元的面光源的图。
图11 (a) (c)是表示在图10中所使用的棱镜板的变形例的图。 图12 (a) (c)是表示使用第2实施例的照明单元来观察凹坑的实 验结果的图。
图13是表示将本发明的照明单元适用于图案检査装置的情形的实施例 的图。
图14 (a) (c)是说明现有的环形照明单元的图。 图15是说明即使凹坑(缺口)的大小相同，根据缺口产生的方向，光 亮(辉度)也变化的情形的图。图16是表示CCD线性传感器一次地拍摄的细长区域的俯视图。 图17是说明在现有的环形照明单元中使照明光朝向摄像区域的中心部 的图。
符号说明
1:面光源；2: LED; 3:支撑构件4:扩散板；5:棱镜板； 6:支柱；10:暗视场照明单元(反射照明单元)；11:摄像单元； lla: CCD线性传感器；lib:透镜单元；12:摄像单元驱动机构； 13:扫描单元；14:工件保持单元(工件平台)；15:控制部； R:摄像区域；W:工件；a h:面光源。
具体实施例方式
以下，针对本发明的实施方式的照明单元的光源部的具体的构成例加 以说明。图4是表示构成本发明的第1实施例的照明单元的面光源的构成 的图，倾斜地排列使得多个LED的方向成为平行，而照明光以平行状态射 出，表示以规定的入射角度入射于摄像区域的面光源的实施例。
图4 (a)是从下方(摄像区域侧)观看照明用的面光源的俯视图，图 4 (b)是表示从A方向观看图4 (a)的光源的侧视图，图4 (c)是表示从 B方向观看图4 (a)的光源的主视图。另外，这些图，是为了便于说明的 模式图，实际的LED是縮短间隔排列多个。
如该图所示，在本实施例中，来自各LED2的照明光的主光线以平行 状态射出，以规定的入射角度e入射于摄像区域R而构成面光源l。另外， 在LED2与摄像区域R之间，也可以如该图虚线所示设置扩散板4。如图4 (a)所示，从各LED2射出的光中，以最强的光成分(主光线) 互相平行的方式将多个LED2排列于LED支撑构件3上。另外，在摄像区 域R，必须有平行光从该面光源1入射，因而排列LED2的区域的大小， 比摄像区域R的大小还要大。
将如此构成的面光源1，以围绕摄像区域的方式环状地配置在多个块状 的摄像区域上的平面内。因此，支撑构件3若形成扇形，则较方便。
如图4 (b)所示，LED2以照明光对于摄像区域R的入射角度成为所 期望的角度e的方式，朝着摄像区域R倾斜配置。
从LED2所射出的光的指向性较高，因而来自各LED2的光，以大致
平行的状态入射于摄像区域R。
将多个如此所构成的面光源1，以围绕摄像区域R的方式环状地配置 在摄像区域R之上的同一平面内。
图5及图6是模式地表示将图4的面光源以45°均等地配置8个的状 态的图。图5 (a)与图6是俯视图，而图5 (b)是侧视图。另外，在LED2 与摄像区域R之间，与图4同样，也可以如该图的虚线所示设置扩散板4。
图5是表示对于线状的摄像区域R，从8个各面光源l-a l-h照射照 射光的状态。在图1 图3中，使摄像区域R与面光源1的大小相同进行 了说明，但在本图中，面光源l的面积比摄像区域R的面积还要大。
实际上，很难使摄像区域R的大小与面光源1的大小作成一致，为了 以均匀照度向摄像区域R全体入射平行的光，将面光源1的面积作成比摄 像区域的面积稍大较有利。
在5图中，从8个面光源，照明光以平行的状态射出，以规定的角度e入射于摄像区域R的全体。因此，在摄像区域R的BAC上的任意点中， 从全方向(360°方向)，相同角度的照明光以相同照射强度入射，无论在 摄像区域的哪一点，其条件(从全方向(360°方向)相同角度的照明光以 相同照射照度入射的情形)都相同。
图6是表示对于矩形状的摄像区域R，从8个各面光源a h照射照明 光的状态。与图5的情形同样地，从8个面光源，照明光以平行状态射出， 以规定角度e入射于摄像区域R的全体。
因此，在以摄像区域R的ABCD所包围的区域的任意点中，从全方向 (360°方向)相同角度的照明光以相同照射强度入射，无论在摄像区域R 的哪一点，其条件都相同。也就是说，从全方向(360°方向)相同角度的 照明光以相同照射强度入射。
以下，针对本发明的第2实施例的照明单元加以说明。
在本实施例中，组合LED与棱镜板加以使用。
与第l实施例同样，将多个LED环状地排列在平面的支撑构件上，配 置于摄像区域上。但是，LED是未给予角度，分别配置成为朝正下方。因 此，从各LED所射出的光中，最强的光成分(主光线)互相平行。
图7 (a)是表示从下方观看如此地配置的光源的俯视图，图7 (b)是 图7的A-A侧剖面图。另外，该图是表示为了便于说明所用的模式图，实 际上，LED是縮短间隔排列多个。
如图7 (b)所示，在本实施例中，LED2是被安装于支撑构件3，使得 从LED2所射出的光的主光线相对于包含有摄像区域的平面成为正交。
在该光源的光射出侧，将棱镜板予以分割而被安装。如下述地，分割的棱镜板比摄像区域还要大，作成将光射出部分割成均等角度的形状。
所谓棱镜板，是在透明的板的一侧，沿长轴方向平行地排列多个剖面 呈三角形的棱镜，所谓的山与谷是直线状地连续形成的。棱镜板例如在液 面显示画面中，为了将液晶面板的光亮作成均匀而设于背面光与液晶面板 之间。
如图8所示，将此种棱镜板切出欲形成的面光源的大小，并将此准备 多个。棱镜板如图8所示，被形成于棱镜板5的棱镜的长轴方向，沿与扇 形的面光源的中心轴r-r大约正交的方向被切出。
也就是说，在将棱镜板安装于上述光源时，从棱镜板所射出的平行光 以大约相等的入射角度入射于摄像区域R的方式被切出。
另外，如图9所示，安装于图7所示的光源的光射出侧。在图9中， 安装有8枚棱镜板5;照明单元成为与第1实施例同样的以45°均等配置8 个面光源的状态。
图10是放大表示光源的安装有1枚棱镜板的部分的图。图10 (a)是 从下方观看照明光源的俯视图，图10 (b)是从A方向观看图10 (a)的光 源的侧视图，图10 (c)是从B方向观看图10 (a)的光源的主视图。
如图10 (b)， (c)所示，棱镜板5是经由支柱6安装于LED支撑构件
3。 另外，如该图的虚线所示，也可以在棱镜板5与LED2之间设置扩散板4。
如图10 (b)所示，从各LED2所射出的主光线呈平行的照明光，入射 于棱镜板5的棱镜斜面而折射，在保持平行的状态下朝2方向分支。所分 支的一方的光成分以入射角度e照明摄像区域R。所分支的另一方的光成分是未被使用。棱镜板5的棱镜角度设计成入射角度e成为所期望的数值。 图11是在图io中所使用的棱镜板的变形例。图io的情形，入射于棱
镜板5的光被分成2个方向，因而从LED2所射出的光中， 一半未被使用。 因此光的利用效率较差。
为了解决此问题，将棱镜板5的剖面形状作成为直角三角形。由此， 入射于棱镜的光仅在一个方向折射，而可利用从LED2所射出的所有光。
图12表示使用图10所示的第2实施例的照明单元观察产生于图案上 的凹坑的实验结果。另外，在本实验例中，如图12 (c)所示，使用棱镜板 5所分割的照明光源的数是12个，也就是说，以30°均等配置12个面光 源的状态。
图12(a)是表示将产生于某一图案的凹坑(观察物)，在摄像单元(CCD 线性传感器)的视场左侧(相当于上述摄像区域R的B的位置)、视场的 中央(相当于摄像区域R的A的位置)、视场的右侧(相当于摄像区域R 的C的位置)的各自位置旋转360°时，摄像单元显像的凹坑的辉度变化 的图表。
在该图中，纵轴是辉度(相对值)，横轴是凹坑(观察物)的旋转角度。 在摄像区域R的任意点，从全方向(360°方向)入射同一入射角度的
光，若从各方向所入射的光强度相同，即使使之旋转，在凹坑的辉度应不
会有变化。
在通过图14所示的现有例的照明单元进行照明的情形，若在视场中央 (A)旋转凹坑时，则辉度变化大约是±8%。与此相对，在本发明中，如 图12 (a)所示，即使旋转凹坑，在视场左侧(B)、视场中央(A)、视场右侧(C)的任一部位，辉度变化也很少。辉度的变化在任一位置，都在大
约±3%，与现有例相比较可减低至一半以下。
图12 (b)是表示将产生在某一图案的凹坑(观察物)，在摄像单元的 视场左侧(B)、视场中央(A)、视场右侧(C)移动变化时的辉度变化的 图表。在该图中，纵轴表示辉度(相对值)，而横轴是表示摄像单元的位置。 从所标绘的点的左侧为视场左侧(B)、视场中央(A)、视场右侧(C)。也 就是说，在视场(B)、视场中央(A)、视场右侧(C)观察同一凹坑时的 辉度不同。
如果检査区域全体以相同条件进行照明，则即使使放置凹坑(观察物)
的位置变化(无论在检査单元的视场的哪一位置)，因所观看物为同一凹坑， 因此其辉度应不会改变。
另外，该图中以单点化线所表示的"(旧)"的图表，是通过图14所示 的现有例的照明单元进行照明的情形的实验结果。
如图12 (b)所示，现有例的情形，当移动凹坑的位置时，则辉度有很 大变化。尤其是，在视场中央(A)，辉度会上升，而如在视场左侧(B)、 视场右侧(C)，当为视场(摄像区域)的端部时，则辉度会降低。辉度的 变化大约是±8%。
与此相对，在本发明中，在视场中央(A)，辉度会上升，而在视场左 侧(B)、视场右侧(C)有降低的趋势，但其变化大约是±4.5%，与现有 例相比较，可减低至一半左右。
另外，将照明光源以棱镜板分割的数量，也就是说面光源的数越多， 对于摄像区域越会从全方向照射均匀的照明光。但是，如上述地，必须将平行的光照射在摄像区域全体，因而面光源 的大小，必须与摄像区域的大小相同或是比其还要大。
因此，若增加面光源数，则其相应的照明单元的直径(大小)会变大， 使得装置变大型化。因此，对于分割照明单元的数(面光源的数)，在防止
装置的大型化的观点上有限制，而认为以上述实验例中所表示的12分割(12 个面光源)较适当。
本发明的照明光源可适用于用以检查对象物的表面状态的检査装置， 以下，针对于本发明的照明用光源适用于图案检查装置的情形加以说明。
图13是表示将本发明的照明单元适用于图案检查装置的情形的实施例 的图，该图是从侧面观看本实施例的检査装置的图。
在图13中，照射反射照明光的暗视场照明单元(反射照明单元)10， 是第1或第2实施例所示的照明光源，而环状地设于摄像单元11的周围， 摄像单元从360。全方位来照明工件W。
摄像单元11是由摄像元件即CCD线性传感器lla、及具有将工件W 上的图案予以成像在该CCD线性传感器lla上的光学元件的透镜单元lib 所构成。
在摄像单元11上安装有摄像单元驱动机构12，通过扫描单元13来驱 动摄像单元驱动机构12，由此，摄像单元11在该图箭号方向进行扫描 (scan)。
设有检查对象即配线等的图案的工件W，被载置于工件保持单元(工 件平台)14上，而通过摄像单元11在工件W上进行扫描，拍摄形成于工 件W上的配线等的图案。上述扫描单元13、摄像单元11、暗视场照明单元10等通过控制部15 被控制。
在图13中，当工件W被载置于工件保持单元(工件平台)14上时， 则暗视场照明单元(反射照明单元)IO被点灯。
然后，摄像单元11通过扫描单元13在工件W的宽度方向，由一方侧 朝另一方侧(该图由右向左)进行扫描。通过暗视场照明单元10所照明的 工件W上的配线图案像，被显像于摄像单元11的CCD线性传感器lla， 而在控制部15被存储。
当完成配线图案的拍摄后，则暗视场照明单元IO被熄灯。
控制部15对通过摄像单元11所拍摄的图像图案进行图像处理，检测 图案上有无缺陷。另外，若有异常就输出警报等。
若完成该图案的检查，则下一个进行检査的工件W被载置于工件保持 单元14上，以下，重复上述的动作。
另外，在上述中，针对于基板的图案检查加以说明，但对于在薄膜状 工件的图案检查的情形，在设有薄膜状工件的移送机构之处有所不同，但 以同样的装置可实现。
权利要求
1.一种照明用光源，其特征在于向被照射区域照射平行光的面光源，在同一平面上环状地配置多个，各面光源的大小为，被照射于被照明区域面上的来自各面光源的光的照射区域包含被照明区域全体的大小。
2. 如权利要求l所述的照明用光源，其特征在于 上述多个面光源，是将多个LED于同一平面上排列多个而构成，各面光源内的LED，以来自各面光源的平行光被照明于被照明区域的 方式，朝向配置有各面光源的环状的内侧倾斜排列。
3. 如权利要求1所述的照明用光源，其特征在于上述多个面光源，是在多个LED的光射出侧将棱镜板环状地配置多个 而构成，所述棱镜板将从上述多个LED射出的光作为平行光而射出，构成各面光源的棱镜板，以来自各棱镜板的平行光被照明在被照明区 域的方式，使从各LED射出的光在配置有各面光源的环状内侧折射。
4. 一种图案检査装置，具备暗视场照明单元，对于形成有图案的工件从斜向照射反射照明光； 摄像单元，对通过上述暗视场照明单元所照明的上述图案进行拍摄； 保持工件的工件保持单元；及控制部，根据通过上述摄像单元所拍摄的图案像来判定图案的优劣， 其特征在于，暗视场照明单元是权利要求1、 2或权利要求3中所述的照明用光源。
全文摘要
本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在LED支撑构件(3)上，照明光从LED(2)以平行的状态射出，以规定的入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a～h)。排列LED(2)的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a～h)，照明光以平行状态射出，以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此，在摄像区域(R)的BAC上的任意点上，相同角度的照明光以相同照射强度从全方向入射，无论在摄像区域的哪一点上，其条件都成为相同。所以，在进行检查的全部区域，根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。
文档编号F21V5/02GK101551078SQ20091013015
公开日2009年10月7日 申请日期2009年3月27日 优先权日2008年3月31日
发明者松田僚三, 野本宪太郎 申请人:优志旺电机株式会社