一种栅网式静电四极杆装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种栅网式静电四极杆装置，包括四个极杆和两个极板，所述四个极杆设于两个极板之间，所述的四个极杆均匀分布设置且合围形成空腔，所述极板上设有小孔,两个相邻的极杆之间留有间距，所述极杆设有通孔，所述通孔覆盖有栅网。本实用新型结构简单，在增设了栅网后，在保证内部电场的同时，能有效增大抽气的速率，提高气体流速，使得能够将尽可能多的中性分子抽出装置之外，从而保证本实用新型内部的真空度。而且，本实用新型不仅能使样品离子传输效率得到提高，还能减少离子能量分散，有助于仪器灵敏度和分辨率的提升。本实用新型作为一种栅网式静电四极杆装置应用于质谱仪产品中。
【专利说明】一种栅网式静电四极杆装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种四极杆，尤其涉及一种栅网式静电四极杆装置。
【背景技术】
[0002]静电四极杆是质谱仪器中一种常用的离子传输装置，其作用是与前后电极配合形成一牵引束缚电场，控制离子束的方向和形状，从而提高离子的传输效率。
[0003]但是，现在常规的静电四极杆结构是由一组表面光滑的不锈钢片组成，杆上施有直流电压，电压极性正负均可。相邻杆间留有一定间隙作为抽气口，以保证静电四极杆装置内部的真空度，避免真空度过低。为防止电场渗透，调节样品离子束按照特定方向出射静电四极杆，需要要求杆间间隙尽可能小；然而由于静电四极杆内部的真空要求，又期望尽可能大的杆间隙作为出气口。因此，该种结构难以同时满足真空和电场条件的需求。
实用新型内容
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种结构简单，能同时满足真空和电场条件的一种栅网式静电四极杆装置。
[0005]本实用新型所采用的技术方案是:
[0006]一种栅网式静电四极杆装置，包括四个极杆和两个极板，所述四个极杆设于两个极板之间，所述的四个极杆均匀分布设置且合围形成空腔，所述极板上设有小孔，两个相邻的极杆之间留有间距，所述极杆设有通孔，所述通孔覆盖有栅网。
[0007]进一步作为优选的实施方式，在所述极杆上且靠近极板的两端设有等距离排列的锯齿。
[0008]进一步作为优选的实施方式，所述通孔的形状为矩形。
[0009]进一步作为优选的实施方式，所述极杆的横截面为圆弧形。
[0010]进一步作为优选的实施方式，所述极杆为不锈钢片。
[0011]进一步作为优选的实施方式，所述栅网采用金属材质加工而成。
[0012]本实用新型的有益效果是:
[0013]本实用新型一种栅网式静电四极杆装置结构简单，在增设了栅网后，在保证内部电场的同时，能有效增大抽气的速率，提高气体流速，使得能够将尽可能多的中性分子抽出装置之外，从而保证本实用新型内部的真空度。而且，本实用新型不仅能使样品离子传输效率得到提高，还能减少离子能量分散，有助于仪器灵敏度和分辨率的提升。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步说明:
[0015]图1是本实用新型一种栅网式静电四极杆装置的结构示意图；
[0016]图2是本实用新型一种栅网式静电四极杆装置的侧面示意图；
[0017]图3是本实用新型一种栅网式静电四极杆装置的极杆结构示意图。【具体实施方式】
[0018]参考图1-3，本实用新型一种栅网式静电四极杆装置，包括四个极杆I和两个极板2，所述四个极杆I设于两个极板2之间，所述的四个极杆I均匀分布设置且合围形成空腔，所述极板2上设有小孔21，两个相邻的极杆I之间留有间距，所述极杆I设有通孔11，所述通孔11覆盖有栅网3。
[0019]其中，所述四个极杆I沿圆周方向均匀分布设置且合围形成空腔，极杆I中部的通孔11作为出气口，应在尽可能大的同时，保证结构不发生形变。栅网3的缠绕面积要覆盖通孔11，由栅网面提供极杆I的表面电势面，栅网3的间距不宜过大，更不能过密，适当留有间距，以保证装置内部电场及减少电场在通孔11处渗透的同时，还不能影响通孔11作为装置出气口的性能。在保证相邻极杆I绝缘的条件下，尽可能缩小极杆I之间的间隙，防止装置内部电场在此处过多的渗透。极板2的上小孔21用于离子注入或逐出。其中一端的极板2为入口电极,另一端的极板2为出口电极。
[0020]进一步作为优选的实施方式，在所述极杆I上且靠近极板2的两端设有等距离排列的锯齿12。所述锯齿12用于固定栅网3。
[0021]进一步作为优选的实施方式，所述通孔11的形状为矩形。
[0022]进一步作为优选的实施方式，所述极杆I的横截面为圆弧形。
[0023]进一步作为优选的实施方式，所述极杆I为不锈钢片。
[0024]进一步作为优选的实施方式，所述栅网3采用金属材质加工而成。
[0025]以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做作出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【权利要求】
1.一种栅网式静电四极杆装置，其特征在于:包括四个极杆(I)和两个极板(2)，所述四个极杆(I)设于两个极板(2)之间，所述的四个极杆(I)均匀分布设置且合围形成空腔，所述极板(2 )上设有小孔(21)，两个相邻的极杆(I)之间留有间距，所述极杆(I)设有通孔(11)，所述通孔(11)覆盖有栅网(3)。
2.根据权利要求1所述的一种栅网式静电四极杆装置，其特征在于:在所述极杆(I)上且靠近极板(2 )的两端设有等距离排列的锯齿(12 )。
3.根据权利要求1所述的一种栅网式静电四极杆装置，其特征在于:所述通孔(11)的形状为矩形。
4.根据权利要求1所述的一种栅网式静电四极杆装置，其特征在于:所述极杆(I)的横截面为圆弧形。
5.根据权利要求1所述的一种栅网式静电四极杆装置，其特征在于:所述极杆(I)为不锈钢片。
6.根据权利要求1所述的一种栅网式静电四极杆装置，其特征在于:所述栅网(3)采用金属材质加工而成。
【文档编号】H01J49/42GK203398087SQ201320397069
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年7月4日 优先权日:2013年7月4日
【发明者】莫婷, 朱辉, 黄正旭, 高伟, 周振, 李梅 申请人:广州禾信分析仪器有限公司, 昆山禾信质谱技术有限公司