扫描电镜用免导电胶试样座的制作方法
【专利摘要】一种扫描电镜用免导电胶试样座，包括试样座基座，试样座基座边缘环绕设置有滑道，滑道中设置有可沿滑道滑动的滑块，滑块顶面设置有金属杆，金属杆顶端设置有导电金属链，导电金属链一端与金属杆顶端连接，导电金属链另一端设置有铜片与试样接触；试样座基座的试样承载面设置有若干锥形支架，锥形支架均匀布置在试样座基座底部。本设计具有结构简单、操作便捷、降低成本等特点，其上设置的金属杆以及与金属杆配合使用的导电金属链实现了试样座与试样的导电，杜绝了因使用导电胶而引起的一系列故障；利用锥形支架支撑试样，可有效避免因试样底部的细微不平造成的震动，影响试验数据；本设计在有效提高试验扫描准确性的同时，大幅降低了试验成本。
【专利说明】扫描电镜用免导电胶试样座
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扫描电镜实验室中的设备，具体地指与扫描电镜配合使用的一种扫描电镜用免导电胶试样座。
【背景技术】
[0002]扫描电镜实验室实验中，常常需要对试样进行镶嵌以及磨制等处理，然后进行观察分析。有些试样是导电的，但镶嵌树脂导电性不够好，会影响扫描电镜的成像效果，因此常常用导电胶将试样与样品台连接起来，以防止试样上电荷积累。一些非金属材料，本身就不导电，分析时，除了表面要喷碳、喷金外，也还要用导电胶把喷碳或喷金表面与样品台连接起来。但导电胶是消耗品，成本高昂，而且废弃的导电胶容易掉进样品台的传动轴，也常常会引起机械故障。此外，样品台表面是平面，镶嵌试样或其它类型底部近似平面的试样，直接放到样品台上，也常常会因为电子轰击导致底部的微小震动，引起图片的不清晰，影响扫描准确性。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的就是要克服现有扫描电镜试样座的缺陷，提供一种能够提高试样导电性能，进而提高扫描准确性，降低试验成本的扫描电镜用免导电胶试样座。
[0004]为实现上述目的，本实用新型所设计的扫描电镜用免导电胶试样座，包括试样座基座，其特殊之处在于:所述试样座基座边缘环绕设置有滑道，所述滑道中设置有可沿滑道滑动的滑块，所述滑块顶面设置有金属杆，所述金属杆顶端设置有导电金属链，所述导电金属链一端与金属杆顶端连接，所述导电金属链另一端设置有铜片与试样接触；所述试样座基座的试样承载面设置有若干锥形支架，所述锥形支架均匀布置在试样座基座底部。
[0005]进一步地，所述金属杆可沿长度方向伸缩活动。这样，金属杆可以根据所扫描试样的实际高度调整高度，便于导电金属链与试样接触。
[0006]进一步地，所述锥形支架设置有三个，其连线呈三角形布置在试样座基座的试样承载面。这样，可以提高试样放置在试样座基座上的稳定性，防止晃动影响扫描结果。
[0007]本实用新型的优点在于:所设计的扫描电镜用免导电胶试样座具有结构简单、操作便捷、降低成本等特点，其上设置的金属杆以及与金属杆配合使用的导电金属链实现了试样座与试样的导电，减少了试验准备工序，杜绝了因使用导电胶而引起的一系列故障；利用试样座基座底部设置的锥形支架支撑试样，可有效避免用平面支撑时因试样底部的细微不平造成的震动，影响试验数据；本设计在有效提高试验扫描准确性的同时，大幅降低了试验成本，具有良好的市场前景。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型扫描电镜用免导电胶试样座的结构示意图。
[0009]图中:滑道I ;试样座基座2 ;滑块3 ;金属杆4 ;导电金属链5 ;铜片6 ;锥形支架7。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
[0011]图中所示的扫描电镜用免导电胶试样座，包括试样座基座2，试样座基座2边缘环绕设置有滑道1，滑道I中设置有可沿滑道I滑动的滑块3，滑块3顶面设置有金属杆4，金属杆4可沿长度方向伸缩活动，并且根据需要可沿滑道绕试样作360°旋转；金属杆4顶端安装有一条长约20_的导电金属链5，导电金属链5可以灵活弯曲，其一端与金属杆4顶端连接，另一端设置有铜片6与试样接触；试样座基座2的试样承载面设置有三个锥形支架7，锥形支架7呈三角形均匀布置在试样座基座2的试样承载面。
[0012]该扫描电镜用免导电胶试样座，使用步骤如下:
[0013]1.将试样放置在试样座基座2上的锥形支架7 ；
[0014]2.滑动金属杆4下部滑块3，使其到达需要位置；
[0015]3.调节金属杆4的高度，使其与试样高度大致相同；
[0016]4.将导电金属链5端部的铜片6放置于待测试样边缘,使试样与试样座基座2导通；
[0017]5.将试样放入扫描电镜试样室,抽真空后,加高压后进行扫描观察等操作。
【权利要求】
1.一种扫描电镜用免导电胶试样座，包括试样座基座(2),其特征在于:所述试样座基座(2)边缘环绕设置有滑道(I)，所述滑道(I)中设置有可沿滑道(I)滑动的滑块(3)，所述滑块(3)顶面设置有金属杆(4)，所述金属杆(4)顶端设置有导电金属链(5)，所述导电金属链(5) —端与金属杆(4)顶端连接，所述导电金属链(5)另一端设置有铜片(6)与试样接触；所述试样座基座(2)的试样承载面设置有若干锥形支架(7)，所述锥形支架(7)均匀布置在试样座基座(2)底部。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜用免导电胶试样座，其特征在于:所述金属杆(4)可沿长度方向伸缩活动。
3.根据权利要求1或2所述的扫描电镜用免导电胶试样座，其特征在于:所述锥形支架(7)设置有三个，其连线呈三角形布置在试样座基座(2)的试样承载面。
【文档编号】H01J37/20GK204029761SQ201420502418
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年9月2日 优先权日:2014年9月2日
【发明者】张彦文, 徐国涛, 王志奋, 吴立新, 陈士华, 许竹桃 申请人:武汉钢铁(集团)公司