专利名称：等离子显示板及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种等离子显示板，特别涉及一种阳极和隔板(Barrier rib)一体化的等离子显示板及其制造方法。
图1是表示已有技术涉及的等离子显示板的剖面图。
参照图1，利用气体放电显示图像的等离子显示板包括其外部边缘部被密封的、内部包含大量的气体的前面衬底1和后面衬底2。这样一对平面板在相互保持规定间隔的前面衬底1和后面衬底2的各内表面上带(stripe)状型结构的阳极3和阴极5相互垂直排列，在阳极3之间设有定义象素，防止相邻象素间串话(crosstalk)的隔板(Barriier rid)4。
这样结构的等离子显示板的清晰度的特性取决于前面衬底1和后面衬底2之间的内部结构、填充此间的气体的种类、阴极的形状以及材料、和前面衬底接触的隔板面的平坦度等。
特别是，在为防止图像时因放电单元间的光扩散引起的色彩扩散而形成隔板方面，对其隔板面的平坦有要求。
作为形成这样的隔板的方法有丝网印刷法、转印法、和正在开发之中的喷沙法。
丝网印刷法是在衬底上覆盖掩膜，涂敷粘液状态的隔板物质之后烧制而形成隔板的方法。这时，为了调整隔板的高度有时需要多次印刷。但是，作为丝网印刷法，由于构成掩膜的网的柔韧性质，存在很难形成大面积和高精度的隔板的问题。
转印法是在形成为形成隔壁的掩膜图案的状态下，通过在该图案部分上继续转印隔板用物质而形成隔板的方法。这种方法由于清晰度的限制，存在不能应用于SVGA级的高清晰度电视(HDTVHigh Definition Television)的问题。
喷沙(Sand blasting)法是在衬底上均匀地涂敷隔板物质后，用喷沙器除去隔板之外的部分的方法。这种方法在除去非隔板部分时，为了不使隔板部分一起被除去，必须用曝光法预先覆盖形成图案的保护层。但是，这种方法用象砂粒一样的又硬又小的颗粒强烈撞击来除去不必要的部分时，会透过保持层使隔板面受到机械损伤，很难形成均匀的隔板。因此，这种方法为了使电极和保护层等不受损伤，使隔板容易切成，存在必须开发电极物质和感光膜物质的问题。
本发明是为了解决上述问题而实施的，其目的在于提供一种在防止弯曲的同时，且能形成稠密、均匀的隔板的等离子显示板及其制造方法。
根据本发明，等离子显示板的制造方法首先是在透明绝缘衬底上形成带状型排列的多个第一透明电极图案。然后，蚀刻第一透明电极图案，形成中央部有规定宽度的沟的第二透明电极图案。在沟的上部形成红、绿、蓝的荧光体后，将牺牲层以规定的厚度涂敷在整个表面，和第二透明电极图案的排列方向垂直、在涂敷的牺牲层的两侧边缘的所规定间隔的位置上形成露出透明绝缘衬底表面的穿孔。以足以将穿孔充分埋没有规定厚度在穿孔和牺牲层的整个表面蒸镀电极物质。蚀刻蒸镀的电极物质，形成和透明电极图案垂直、和被穿孔埋没的电极物质成为一体的电极图案，用湿式蚀刻除去牺牲层。
本发明涉及的等离子显示板，在一侧透明绝缘衬底上形成的阳极用透明电极排列成多条带状，在其各个中央部设有规定宽度和深度的沟，各沟的两侧壁的功能为隔板。各个沟内设有荧光体，和阳极用透明电极垂直的阴极用电极以规定间隔排列成带状，被在位于透明绝缘衬底的隔板中端部的隔板的规定部分上形成的支持体所支持。
附图的简单说明如下图1是表示已有的等离子显示板概略的剖面图。
图2A～2E是用于说明本发明涉及的等离子显示板的制造方法的工序流程图。
图3是表示由图2A～2E的方法形成的等离子显示板的平面图。
以下参照
本发明的优选实施例。
图2是根据实施例说明本发明涉及的等离子显示板的制造方法的工序流程图。
参照图2A，在为形成等离子显示板而准备的上下透明玻璃衬底中的一个透明玻璃衬底10上，以规定的厚度涂敷铟锡氧化物(Indium Tin OxideITO)的透明电极和第一感光膜(PMMA)。然后，通过通常的照相蚀刻工序使第一感光膜的规定部分曝光、显像以形成第一感光膜掩膜图案14。用干式各向异性蚀刻法蚀刻、除去透明电极的露出部分，直至玻璃衬底10的表面露出为止，由此，形成第一透明电极图案12。
然后，剥离第一感光膜掩膜图案14，以可将第一透明电极图案12之间充分埋没的厚度涂敷第二感光膜。通过通常的照相蚀刻工序除去覆盖在透明电极12的规定部分上的第二感光膜形成第二感光膜掩膜图案16后，使用采用等离子体的干式各向异性蚀刻法蚀刻露出的透明电极至规定的深度，形成内部有沟18-1、18-2、18-3的第二透明电极图案12＇。透明电极蚀刻后的剖面结构如图2B所示。
参照图2C，除去第二感光膜掩膜图案16。在此形成的第二透明电极图案12＇的沟18-1、18-2、18-3的底面12a起纵电极的作用，边缘部12b起隔板的作用。
然后，使用由上述方法形成的第二透明电极图案12＇，进行以形成彩色等离子显示器的单元为目的的工序。即，在含有第二透明电极图案12＇的整个表面涂敷红色的荧光体，通过上述的通常的照相蚀刻工序在图上的左侧纵电极12a的预定区域上形成红色的荧光体20-1。用同样的方法，依次在位于中央的纵电极12a的预定区域上形成绿色的荧光体20-2、在右侧的预定区域上形成蓝色的荧光体20-3。
参照图2D，在被隔板12b和后续工序中形成的横电极所定义的各个单元，为了确保放电空间，在整个表面以规定的厚度涂敷聚酰亚胺(polyimide)的牺牲层22，并以可露出透明玻璃衬底10的表面的深度蚀刻“a”部。在这里，a部作为要形成的纵电极(阴极；和透明横电极垂直)和透明衬底10的接触的地方，位于纵电极通过的路径的两侧边缘下部。
参照图2E，将象铝这样的电极物质蒸镀在牺牲层22和其穿孔(a部)上部。然后，将用通常的照相蚀刻法蒸镀的电极物质图案化，由此形成和在下部形成的透明纵电极12a垂直的带状型横电极图案24。然后，通过将牺牲层22用湿式蚀刻除去，在纵电极和横电极之间形成气体放电用的空间。
图3是表示将在上述过程中形成的横电极结构放大的平面图。
参照图3，其结构为通过透明电极本身的二次图案化过程定义由同种物质构成的隔板和纵电极，红、绿、蓝的荧光体13a、13b、13c位于被定义的纵电极的上面，横电极以规定间隔呈带状型位于垂直方向上，由此，在横电极12＇和纵电极24之间确保了气体放电所用的空间。
另一方面，图上没有示出，在上述过程形成的下部板上加上另外一块透明衬底(图上未示出)覆盖于隔板面上，使上下玻璃衬底结合起来。
所述透明电极的功能为隔板，与已有的丝网印刷法相比，隔板不弯曲，而与喷沙法相比可使损伤减至最小。
如上所述，本发明涉及的等离子显示板的制造方法为，通过照相蚀刻工序将由阳极预定的透明纵电极在隔板和阳极两个部分上形成隔板和阳极两部分，由此可消除由隔板面的不均匀而引起的放电单元间的串话，能够减小单元间距，因此具有提高画面清晰度，使产品高档化的效果。
在这里，仅对本发明的特征实施例进行了说明、图示，也可以理解为包括本领域技术人员对该实施例的修改和变形。
权利要求
1.一种等离子显示板的制造方法，其特征在于包括在透明绝缘衬底上形成带状型排列的多个第一透明电极图案的步骤；对所述各第一透明电极图案进行蚀刻以在其中央部形成有规定宽度和深度的沟的第二透明电极图案的步骤；在所述沟的上部形成红、绿、蓝的荧光体的步骤；将牺牲层以规定厚度全部涂敷的步骤；和所述第二透明电极图案的排列方向垂直，在和所述被涂敷的牺牲层的两侧边缘有规定间隔的位置上等形成可使所述透明绝缘衬底的表面露出的穿孔的步骤；将电极物质以可将所述穿孔充分埋没的规定厚度在所述贯通沟和所述牺牲层的整个表面蒸镀的步骤；蚀刻被蒸镀的电极物质，形成和所述第二透明电极图案垂直、和所述埋没穿孔的电极物质一体化的电极图案的步骤；以及除去牺牲层的步骤。
2.如权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述第一透明电极图案的形成步骤包括在所述透明绝缘衬底上依次形成透明电极层和感光膜，通过照相蚀刻工序形成第一感光膜的步骤；用干式蚀刻法除去露出的透明电极的步骤；以及除去第一感光膜图案的步骤。
3.如权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述第二透明电极图案的形成步骤包括以将所述第一透明电极图案之间充分埋没的厚度涂敷感光膜的步骤，形成使所述第一透明电极图案的中央部分露出的第二感光膜图案的步骤；用干式蚀刻法以规定的深度蚀刻露出的第一透明电极层以形成沟的步骤；以及除去第二感光膜图案的步骤。
4.如权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述透明电极的蚀刻是采用等离子体的干式蚀刻法。
5.如权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述牺牲层是聚酰亚胺。
6.如权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述透明电极是铟锡氧化物(ITO)。
7.一种等离子显示板，其特征在于包括透明绝缘衬底；在所述透明绝缘衬底上形成的、呈多条带状型排列的、在其各个中央部设有规定宽度和深度的沟的、所述各沟的两侧壁作为隔壁发挥作用的透明电极；在所述各个沟内分别形成的荧光体；以及为了和所述透明电极垂直而以规定间隔排列成带状、由位于所述透明绝缘衬底的隔板中端部分的隔板的规定部分上形成的支持体所支持的纵电极。
8.如权利要求7所述的等离子显示板，其特征在于，所述纵电极和所述支持体含有同一材料。
全文摘要
一种隔板和阳极一体化的等离子显示板,其结构为:在一侧透明绝缘衬底上形成的阳极用透明电极排列成多个带状,各带的中央部设有规定宽度和深度的阳极的沟,各沟的两个侧壁作为隔板发挥作用,各沟上设有荧光体,和阳极用透明电极垂直的阴极用电极以规定间隔排列成带状,由位于透明绝缘衬底的隔板中端部分的隔板的规定部分上形成的支持体支持,可消除由隔板面的不均匀而引起的放电单元间的串话,提高画面清晰度。
文档编号H01J9/24GK1171590SQ9710978
公开日1998年1月28日 申请日期1997年5月6日 优先权日1996年5月22日
发明者崔洛宪, 玉道永, 金镇满, 卞得寿 申请人:现代电子产业株式会社