专利名称：等离子显示板及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种等离子显示板，特别涉及一种衬底本身带有隔板(Barrierrib)的等离子显示板及其制造方法。
图1是表示已有技术的等离子显示板的剖面图。参照图1，利用气体放电显示图像的等离子显示板包括一组平板的前面衬底1和后面衬底2。所述衬底的外部边缘部是密封的，两个衬底之间包含大量气体。在相互保持一定间隔的前面衬底1和后面衬底2的各内表面，相互垂直地排列和形成着带状(Stripe)结构的阳极3和阴极4。在阳极3等的之间设有定义象素，并防止相邻象素间串话(Crosstalk)的隔板(Barrier Rib)5。
这种结构的等离子显示板的析像清晰度，其特性取决于前面衬底1和后面衬底2之间的内部结构、填充其间的气体的种类、阴极的形状以及材料、与前面衬底接触的隔板面的平坦度等。
特别是在显示图像时，为防止由放电单元间的光扩散引起的色彩渗透而形成有隔板，此时对隔板面的平坦度有要求。
作为形成这种隔板的方法，有丝网印刷法、转印法和正在开发之中的喷砂(Sand Blasting)法。
丝网印刷法是在衬底上覆盖上掩膜，再涂敷上粘液状态的隔板物质，然后烧制而形成隔板的。这时，为了调节隔板的高度，有时需要进行多次印刷。但是由于构成掩膜的网的弯曲性质，采用丝网印刷法存在很难形成大面积和高精度的隔板的问题。
转印法是在形成用于形成隔板的掩膜图案的状态下，在此图案上通过连续转印隔板用物质而形成隔板的方法。由于这种方法清晰度有限，因而存在不适合应用在SVGA级的高清晰度电视(HDTVHigh Definition Television)的问题。
喷砂法(Sand Blaster)是在衬底上均匀地涂敷隔板物质，然后用喷砂机磨去隔板部分以外部分的方法。使用这种方法除去不是隔板的部分时，为了不将隔板部分一起磨去，必须预先附着用曝光法形成图案的保护层。但是，采用这种方法，由于在使用像砂子一样又硬又小的颗粒强烈碰撞以磨去不需要的部分时，也会透过保护层使隔板面受到机械性的损伤，所以很难形成均匀的隔板。因此，为了不损伤电极和保护层、使隔板以外的部分容易地被磨去，则必须开发电极物质和感光膜物质，这是这种方法存在的问题。
本发明的目的在于提供一种能够形成稠密均一的隔板的等离子显示板及其制造方法。
本发明涉及的等离子显示板的制造方法是提供有多个带状型沟等的透明绝缘衬底。在各个沟的表面上，依次形成有规定图案的透明电极和荧光体。以规定的厚度全面涂敷牺牲层，在和透明电极图案的排列方向垂直、和所涂的牺牲层的两个边缘有规定间隔的位置上，形成露出透明绝缘衬底表面的穿孔等。在所述穿孔等和牺牲层的整个表面上，用可将穿孔等充分埋没的厚度蒸镀电极物质。然后，对蒸镀的电极物质进行有选择的蚀刻，形成和透明电极图案垂直的、和埋没穿孔的电极物质一体化的电极图案。最后，通过除去牺牲层，确保各单元的放电空间。
本发明涉及的等离子显示板包括设有用多个带状型沟等和沟等之间的部分定义各个单元的隔板的透明绝缘衬底；在沟内形成的透明纵电极；在透明纵电极上形成的荧光体；以及为了和透明纵电极直交以规定间隔排列成带状，在透明绝缘衬底的隔板之中、由位于边缘部的隔板的规定部分上形成的支持体支持的横电极。
附图的简要说明如下图1是表示已有的等离子显示板的概要剖面图。
图2A至图2F是用以说明本发明的等离子显示板的制造方法的工序流程图。
图3是根据图2的方法形成等离子显示板的平面图。
下面根据
本发明的优选实施例。
图2是通过实施例说明本发明涉及的等离子显示板的隔板的形成方法的工序流程图。
参照图2A，在为了形成等离子显示板而准备的上下透明衬底中的任意一个10上，以规定的厚度涂敷感光膜11。
参照图2B，通过通常的照相蚀刻工序(曝光及显象)而形成感光膜图案11′。
参考图2C，以规定的深度蚀刻露出的透明衬底10。这时，蚀刻的方法采用使用等离子体的干式蚀刻法。
参照图2D，通过剥离感光膜掩膜11′，在透明衬底自身上形成隔板。
然后，进行形成色彩等离子显示的象素的工序。即，在形成隔板的透明衬底10′的整个表面上，蒸镀象铟锡氧化物(Tndium Tin Oxide)这样的透明电极用物质，形成规定的感光膜掩膜，通过蚀刻不需要的部分的透明电极而形成阳极12。然后，在前表面涂敷红色荧光体，通过所述的照相蚀刻工序，在阳极12上的预定区域形成红色荧光体13a。用同样的方法依次在预定的区域形成绿色、蓝色的荧光体13b、13c。
参照图2E，然后为在由隔板定义的象素上确保放电空间，在前表面以规定的厚度涂敷聚酰亚胺(Polyimide)的牺牲层14，蚀刻出“a”部。在这里，a部是在后续工序中形成横电极(阴极；和透明纵电极垂直)和透明衬底10′相接触的地点，这是通过将牺牲层14除去，使深度足够露出边缘部的隔板的表面而形成的。
参照图2F，将象铝这样的电极物质蒸镀在形成于牺牲层上的沟等a和牺牲层14的上部。然后，利用通常的照相蚀刻法，通过将蒸镀的电极物质图案化，形成带状的横电极15。所述横电极15和在下部形成的透明纵电极垂直。然后，通过将牺牲层14用湿式蚀刻法除去，形成用于在纵电极和横电极之间进行气体放电的空间。
图3是将根据所述过程形成横电极状态的结构放大的平面图。
参照图3，本发明的等离子显示板具有下述结构纵透明电极和荧光体13a、13b、13c位于通过前面衬底本身的蚀刻而形成的隔板之间，在和纵透明电极垂直方向上以规定间隔形成有横电极，在横电极15和荧光体13a、13b、13c之间，确保有气体放电所需的一定空间。
在由上述过程形成的下部显示极上，另外设有透明衬底(图中未示出)，在隔板表面上覆盖，将前面板和后面板的玻璃衬底结合起来。
和整块玻璃衬底10′相对方向的后面玻璃衬底(图中未示出)，由于设置、结合在采用本发明的方法制造的扁平的隔板表面上，所以可防止显示时由于隔板表面不均匀而产生的附近单元间的色彩污染。
如上所述，由于本发明的等离子显示板及其制造工序是将覆盖玻璃衬底的隔板面研磨扁平直至露出金属电极图案，然后只将金属电极采用湿式蚀刻除去规定的厚度，完成最终的图案厚度，所以能够消除由隔板表面不均匀造成的放电单元间的串话，且减小单元间距的尺寸，具有提高画面的清晰度、使产品高档化的效果。
权利要求
1.一种等离子显示板的制造方法，其特征在于包括提供具有多个带状型沟等的透明绝缘衬底的步骤；在所述各沟的表面上依次形成规定图案的透明电极和荧光体的步骤；将牺牲层以规定厚度全面涂敷的步骤；在所述涂敷的牺牲层上、和透明电极图案的排列方向垂直、在和两侧边缘有规定间隔的位置上等形成使所述透明绝缘衬底的表面露出的穿孔等的步骤；在所述穿孔等和所述牺牲层的整个表面以可将所述穿孔充分埋没的一定厚度蒸镀电极物质的步骤；对蒸镀的电极物质进行有选择的蚀刻，形成和所述的透明电极图案垂直、和埋没所述穿孔的电极物质一体化的电极图案的步骤；除去牺牲层的步骤。
2.根据权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述透明绝缘衬底是玻璃衬底。
3.根据权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述的沟的形成步骤包括在透明绝缘衬底上涂敷感光膜，通过照相蚀刻工序形成感光膜图案的步骤；对露出的透明衬底以规定的深度进行各向异性蚀刻的步骤；除去感光膜图案的步骤。
4.根据权利要求3所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述透明绝缘衬底的蚀刻是采用等离子体的干式蚀刻。
5.根据权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述的牺牲层是聚酰亚胺。
6.根据权利要求1所述的等离子显示板的制造方法，其特征在于，所述的透明电极是铟锡氧化物。
7.一种等离子显示板，其特征在于包括具有多个带状型沟等、所述沟等之间提供的部分是作为隔板而起作用的透明绝缘衬底；在所述各个沟内分别形成的透明纵电极；在所述透明纵电极上形成的荧光体；以及为了和所述透明纵电极垂直以规定间隔排列成带状、在所述透明绝缘衬底的隔板之中，由位于边缘部的隔板的规定部分上形成的支持体支持的横电极。
8.根据权利要求7所述的等离子显示板，其特征在于，所述横电极和所述支持体包含同一材料。
9.根据权利要求8所述的等离子显示板，其特征在于，所述同一材料是铝。
全文摘要
一种在透明玻璃衬底上形成隔板的等离子显示板，包括设有用多个带状型沟等和沟等之间的部分定义各个单元的隔板的透明绝缘衬底；在沟内形成的透明纵电极；在透明纵电极上形成的荧光体；以及为了和透明纵电极垂直以规定间隔排列成带状、在透明绝缘衬底的隔板之中由位于边缘部的隔板的规定部分上形成的支持体支持的横电极，其目的在于消除由于隔板表面不均匀而造成的放电单元间的串话，提高画面的清晰度，使产品高档化。
文档编号H01J11/12GK1166687SQ9710978
公开日1997年12月3日 申请日期1997年5月6日 优先权日1996年5月22日
发明者崔洛宪, 玉道永, 金镇满, 卞得寿 申请人:现代电子产业株式会社