专利名称：一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光装置，具体是一种用于减薄微压传感器 弹性膜片的激光装置。
背景技术：
压力传感器广泛用于测量气体、液体或蒸汽的压力。压力传感器 的金属弹性膜片是其中的一个重要组成部分。
而对金属弹性膜片的制造加工工艺是影响压力传感器精度的一 个很重要的关键步骤。现行一般采用机械加工方法，该方法只能将应
变式压力传感器的金属弹性膜片加工到200 um极限，不能制造更小 量程的传感器弹性膜片，不能很好的满足压力传感器的精度要求。
实用新型内容
本实用新型所耍解决的技术问题是针对传统加工装置不能制造 200 u m以下的微压传感器弹性膜片的问题，提供一种用于减薄微压传 感器弹性膜片的激光装置，使其能将金属弹性膜片精确加工到100U m 200 tx m之间需要的厚度，而且可以修正弹性膜片的不平行度。
为了解决上述技术问题，本实用新型采取的具体技术方案是，一 种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置包括激光加工机、微动台 和位于微动台上的水冷架，所述水冷架设有一与弹性膜片相应大小的 卡槽；所述激光加工机的激光发生器对准所述卡槽，以使其发射的激 光束垂直于卡槽位置；激光加工机上设置有控制激光发生器移动的激 光偏转器。
所述水冷架具体包括水冷架主体、进水管路和出水管路。 作为优选方案，激光发生器发出的激光频率为10 20kHz。 本实用新型的工作原理是，用于减薄微压传感器弹性膜片的激光 装置包括激光加工机、激光偏转器.1冷台和微动台，将弹性膜片放 置于所述的水冷台的卡槽中。所述的水冷台和所述的弹性膜片置于所 述的微动台上。所述微动台用于调整弹性膜片的位置，使膜片要加工 的范围与激光扫描区域对准。所述水冷台通水，用于给弹性膜片降温， 避免过高温度损害弹性膜片。激光偏转器由设置的程序控制，用于使 激光束产生移动。所述激光发生器用于产生足够能量的可烧蚀金属材 料的聚焦激光束。
首先用频率10 20kHz的脉冲聚焦激光束对弹性膜片进行烧蚀，激光束在弹性膜片上以行距0.01 0.05mm的逐行扫描的方式移动， 完成一次扫描即可剥离一层，使弹性膜片的厚度降低c (c=0. 1 0.5 um，取决于设置的激光能量和行距)，重复扫描n次即可将弹性膜片 减薄nXc ( li m)。
本实用新型的有益效果
所述用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置可以有效地将金 属弹性膜片的厚度减薄到200 um以下，用于制造低量程的压力传感 器；同时可以通过程序控制在扫描过程不断改变激光束的能量，使激 光束扫描到膜片较厚的部位时提高能量，实现在减薄弹性膜片的同时 改善膜片原有的不平行度。
综上所述，本实用新型是一种不仪可解决200 um以下的薄弹性 膜片的加工问题的有效装置，而且可以改善膜片原有的不平行度。
下面结合具体实施方式
和附图对本实用新型作进一步的说明。
图1为本实用新型的结构示意图； 图2为弹性膜片的横截面图。 在上述附图中，
1-激光加工机2-激光偏转器3-卡槽 4-水冷架 5-微动台1:'6:进水管路
7-出水管路 8-激光束 9-弹性膜片 10-水冷架主体11-激光发生器
具体实施方式
参见图1、 2，将弹性膜片9放进水冷架4的卡槽3中，为了避免 对弹性膜片9光洁的表面或者是制作的功能元件的表面造成损坏，放 置时将弹性膜片翻转朝下，使激光束8仅对弹性膜片9表层进行剥离 加工。
调节微动台5的高度使弹性膜片9位于激光束8的聚焦点。开启 激光加工机1，使激光发生器11对准弹性膜片9发射激光束8。设置 扫描控制程序，启动低能量红光输出并运行扫描程序，使红光通过激 光偏转器2对弹性膜片9进行扫描，水平调节微动台5使红光扫描范 围恰好覆盖弹性膜片9。
开启循环流动冷却水，并打开进水管路6和出水管路7的阀门， 使水冷架主体10通水对卡槽3中的弹性膜片9进行冷却。关闭激光 加工机l的红光，设置激光能量参数和扫描重复次数(n)，启动扫描 程序并开启激光输出，达到设置的朽描重复次数时将自动关闭激光输 出，完成对弹性膜片的n次剥离减薄。
权利要求1、一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置，其特征是包括激光加工机(1)、微动台(5)和位于微动台(5)上的水冷架(4)，所述水冷架(4)设有一与弹性膜片(9)相应大小的卡槽(3)；所述激光加工机(1)的激光发生器(11)对准所述卡槽(3)，以使其发射的激光束(8)垂直于卡槽(3)位置；激光加工机(1)上设置有控制激光发生器(11)移动的激光偏转器(2)。
2、 根据权利要求1所述用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装 置，其特征是所述水冷架(4)包括水冷架主体(10)、进水管路(6) 和出水管路(7)。
3、 根据权利要求1或2所述用于减薄微压传感器弹性膜片的激光 装置，其特征是所述激光发生器发出的激光频率为10 20kHz。
专利摘要本实用新型公开了一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置，包括激光加工机、微动台和位于微动台上的水冷架，所述水冷架设有一与弹性膜片相应大小的卡槽；所述激光加工机的激光发生器对准所述卡槽，以使其发射的激光束垂直于卡槽位置；激光加工机上设置有控制激光发生器移动的激光偏转器。本实用新型针对传统加工装置不能制造200μm以下的微压传感器弹性膜片的问题，提供一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置，使其能将金属弹性膜片精确加工到100μm～200μm之间需要的厚度，而且可以修正弹性膜片的不平行度。
文档编号B23K26/08GK201320662SQ20082021098
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月17日 优先权日2008年12月17日
发明者锋 谢, 陈云锋, 颜志红 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所