专利名称：用于激光刻膜的激光设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光装置。具体涉及一种用于激光刻膜的激 光设备。
背景技术：
在薄膜光伏太阳能电池制造中，需要对其上的a-Si膜层、Al膜层 TCO膜层进行刻画。特别是在对a-Si膜层和Al膜层进行刻画时，由于 现有的激光刻膜机所使用的激光器都是输出高斯光束，很容易出现灼 伤TCO膜层的问题，因此容易产生废品，以造成高额的损失。 实用新型内容本实用新型的目的是提供一种能将激光输出的高斯光東转换为 近似平顶的高斯光東的用于激光刻膜的激光设备。为了达到上述目的，本实用新型有如下技术方案 本实用新型的一种用于激光刻膜的激光设备，包括在激光设备输 出端的准直系统、扩束系统、聚焦系统，所述激光设备中具有输出为 532nm波长的基膜绿激光的激光器，与激光器连接的激光光纤耦合装 置，与激光光纤耦合装置连接的芯径为0.2mm，数值孔径为0.12mm 的阶跃光纤，与阶跃光纤连接的具有焦距F49-21的光纤耦合镜的光 纤耦合装置。其中，所述光纤耦合镜为焦距F:20的光纤耦合镜。 其中，所述激光光纤耦合装置包括左立板、右立板、上立板、下 立板、上盖板、底板、螺塞，所述左立板、右立板、上立板、下立板 分别位于激光光纤耦合装置的四周，上盖板、底板分别位于激光光纤 耦合装置上，下，螺塞位于激光光纤耦合装置端部。其中，所述光纤耦合装置包括聚焦镜简、外套筒、端盖、平移接头、光纤耦合镜，所述光纤耦合镜位于聚焦镜简内，外套简在聚焦镜 筒的外围，平移接头在外套简的端部，端盖固定在外套简的端部。由于釆取了以上技术方案，本实用新型的优点在于 本实用新型能把激光设备输出的高斯光束转换为近似平顶的高斯光東，从而保证用激光刻画薄膜光伏太阳能电池中的a-Si膜层和Al膜层时，不灼伤TCO膜层，因此保证了不出废品。
图i为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型激光光纤耦合装置的放大示意图；图3为图l的俯视图；图4为本实用新型光纤耦合装置的放大示意图。图中1、机柜；2、激光器；3、激光光纤耦合装置；4、光纤耦 合装置；5、聚焦系统；6、左立板；7、右立板；8、上立板；9、下 立板；10、上盖板；11、底板；12、螺塞；13、聚焦镜简；14、调节 圈；15、螺紋圈；16、镜片压圈；17、滑环；18、光纤耦合镜；19、 外套简；20、平移接头；21、端盖；22、弹簧；23、弹簧压板。
具体实施方式
以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。参见图1-图4,本实用新型的一种用于激光刻膜的激光设备，由 准直系统、扩東系统、聚焦系统5、 532nm波长的基膜绿激光的激光 器2、激光光纤耦合装置3、芯径为0.2mm、数值孔径为0.12mm的阶跃 光纤、光纤耦合装置4组成；所述激光光纤耦合装置2由左立板6、右 立板7、上立板8、下立板9、上盖板IO、底板ll、螺塞12组成；所述 光纤耦合装置4聚焦镜简13、外套简19、端盖21、平移接头20、光纤 耦合镜18组成。本实用新型在532nm波长的基膜绿激光的激光器2的输出端使用4焦距F-20的光纤耦合镜18耦合进芯径为0.2mm，数值孔径为0.12mm的阶跃光纤，再输出通过光東准直后，进行扩東聚焦后进行激光刻膜 工作。本实用新型主要解决的问题时把激光器输出的高斯光束转换为 近似平顶的高斯光束，从而使激光器2在刻画膜光伏太阳能电池中的 a-Si膜层和Al膜层时，不灼伤TCO膜层，已保证膜光伏太阳能电池的 生产质量。显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型 所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领 域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形 式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本 实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实 用新型的保护范围之列。
权利要求1、一种用于激光刻膜的激光设备，包括在激光设备输出端的准直系统、扩束系统、聚焦系统，其特征在于激光设备中具有输出为532nm波长的基膜绿激光的激光器，与激光器连接的激光光纤耦合装置，与激光光纤耦合装置连接的芯径为0.2mm，数值孔径为0.12mm的阶跃光纤，与阶跃光纤连接的具有光纤耦合镜的光纤耦合装置。
2、 如权利要求l所述的一种用于激光刻膜的激光设备，其特征在 于所述激光光纤耦合装置包括左立板、右立板、上立板、下立板、 上盖板、底板、螺塞，所述左立板、右立板、上立板、下立板分别位 于激光光纤耦合装置的四周，上盖板、底板分别位于激光光纤耦合装 置上，下，螺塞位于激光光纤耦合装置端部。
3、 如权利要求l所述的一种用于激光刻膜的激光设备，其特征在 于所述光纤耦合装置包括聚焦镜简、外套简、端盖、平移接头、光 纤耦合镜，所述光纤耦合镜位于聚焦镜简内，外套筒在聚焦镜简的外 围，平移接头在外套简的端部，端盖固定在外套简的端部。
专利摘要本实用新型涉及一种激光装置。本实用新型公开了一种用于激光刻膜的激光设备，包括在激光设备输出端的准直系统、扩束系统、聚焦系统，所述激光设备中具有输出为532nm波长的基膜绿激光的激光器，与激光器连接的激光光纤耦合装置，与激光光纤耦合装置连接的芯径为0.2mm，数值孔径为0.12mm的阶跃光纤，与阶跃光纤连接的具有焦距F＝19-21的光纤耦合镜的光纤耦合装置。本实用新型主要解决的问题时把激光器输出的高斯光束转换为近似平顶的高斯光束，从而使激光器2在刻画膜光伏太阳能电池中的a-Si膜层和Al膜层时，不灼伤TCO膜层，以保证膜光伏太阳能电池的生产质量。
文档编号B23K26/38GK201380363SQ20082024112
公开日2010年1月13日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者斌 付, 扬 刘, 文 孙, 建 曹 申请人:武汉楚天激光(集团)股份有限公司