专利名称：贯通孔形成方法及贯通孔形成加工产品的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用激光的贯通孔形成方法。具体涉及利用激光烧蚀加工法的贯通 孔形成方法。
背景技术：
树脂材料渗透到从工业制品到家庭用品的所有领域，另外，为了保持在各自中 保持独特的功能而实施各种加工，并在逐渐要求高的加工精度。然而，对树脂的微细孔 加工虽然有钻孔加工、冲压加工、电子束加工、蚀刻加工等，但形成材料厚度以下孔径 的贯通孔和以材料的厚度以下的孔距形成贯通孔存在着困难。激光加工应用技术从用CO2激光的切割·开孔·焊接扩展到用YAG激光的更 精密的切割·开孔·焊接加工、打标记，以及利用准分子激光的除去薄膜或高分子加工 和应用领域，也应用于如上所述的树脂材料的加工领域。此处，在利用作为红外光的CO2激光进行由树脂材料组成的物品的开孔加工 的情况下，贯通孔的周围受热的影响隆起或者附着喷出物，不能进行整洁的孔品质的加 工，在使孔距过窄的情况下产生邻接的孔之间连接等问题，不能进行高密度的孔加工。目前，正在推进使用YAG激光的三次谐波、四次谐波等的UV光源的加工工艺 的实用化，使用在UV区域的波长的激光，利用光子能量切断高分子材料的结构分子内的 化学键，使激光照射部分瞬间分解飞散的烧蚀现象利用的开发正在进展中。利用该烧蚀现象的加工由于向周边部分的热扩散量少，因此进行热影响小的精 密加工成为可能，同时不需要后加工或修饰加工等许多优点，其利用正在迅速推广。然而，有报道在加工对象物上形成贯通孔的开孔加工中，由于激光的特性， 所形成的贯通孔的直径为加工对象物的激光射出侧比入射侧小，形成所谓的锥形。因此，为了得到充分的开口面积而需要形成孔径更大的贯通孔的形成或更多贯 通孔的形成，此时，被加工位置的机械强度下降或加工效率下降和加工成本上升，以 及，在规定面积内设计上所要求的开孔率不能确保等成为问题。这样，人们正在寻求可以控制所形成的贯通孔的形状的新的贯通孔形成方法， 例如贯通孔的直径为加工对象物的激光的入射侧和射出侧相等的贯通孔的形成，以及， 根据用途，所形成的贯通孔的直径为加工对象物的激光的射出侧比入射侧大的所谓倒锥 状的贯通孔的形成。此处，特开2003-158358公报(专利文献1)中记载了方法，其中，在加工对象 物的背面侧压合贴附保护片作为二层结构，对加工对象物照射激光，直至保护片的中段 形成孔后，剥离保护片，得到贯通孔。另外，特开2004-243404公报(专利文献2)中记载了技术，其中，对于基板垂 直照射激光，形成锥形孔，接着，边使激光相对于基板倾斜边照射，使入射侧和射出侧 的孔径一致从而形成直孔。另外，特开平11-58051号公报(专利文献3)中记载了技术，其中，当在绝缘基板的背面侧配置了反射材料(铜箔)的状态下，以使激光的焦点位置成为绝缘基板的上方 的方式照射激光时，自基板的上面持续形成孔，形成到达铜箔的锥孔。当进一步继续照 射时，激光反射在铜箔上，照在锥孔的内面，因此直径扩大，最终，贯通孔成为直孔。另外，特开2001-79677公报(专利文献4)中记载了技术，其中，在激光的照射 部弯曲形成合成树脂弹性片来进行激光加工，由此形成在激光射出侧成为大直径的孔， 加工后通过使该片平坦，贯通孔成为直孔。另外，特开平8-141766号公报(专利文献5)中记载了技术，其中，通过在加 工对象物的下面配设高反射率板，在利用所照射的激光束在加工对象物上形成贯通孔之 后，由该高反射率板反射所入射的激光束，该反射激光束照在贯通孔内面或切口内面来 进行激光加工，由此得到无锥度的贯通孔或切口。然而，在专利文献1记载的技术中，激光的入射侧和射出侧的孔径取决于加工 对象物的厚度，厚度越厚其差越大，其结果，难以形成所谓的笔直形状的贯通孔。另 外，加工对象物的形状的自由度也变低。另外，在加工对象物上贴附保护片意味着增加 贴附工序和激光加工后剥离保护片的工序。进而，具有因利用防护片造成的成本上升及 剥离后的保护片不能再利用而成为废弃物的问题。再有，在该专利文献1中记载的技 术，关于形成倒锥状的贯通孔的方法既无记载也无教导，其在该技术上事实上是不可能 的。另外，在专利文献2中记载的技术存在着问题相对于基板垂直地照射激光 后，接着使激光发光部或者加工对象物倾斜，且边使其旋转边进行照射等，装置及其控 制复杂且高级，结果产品成本升高。在专利文献3记载的方法中，由于配置于绝缘基板的背面侧的反射材料每次受 激光照射，因此，有反复使用的情况下的反射材料的反射率下降导致加工精度下降的顾 虑。另外，在加工对象物应用于由树脂组成的薄材料时，存在这样的问题必须使加工 对象物和反射材料充分地密接，否则不可期望其效果，进而，加工对象物的形状的自由 度变低，同时，增加反射材料的压粘及剥离的工序，成本变高。在专利文献4记载的方法中，存在这样的缺点必须按照在激光照射部所形成 的锥形状使加工对象物弯曲，由于加工对象物越厚越必须加大弯曲率，因此在加工时加 工对象物有可能发生破裂或弯曲，除了象片一样的平板状的加工对象物外，对例如箱体 或各种壳体等事实上不能应用。在专利文献5的方法中，是在加工对象物的下面配设高反射率板，但当不使加 工对象物和高反射率板密合时，利用反射激光束的加工有可能出现斑痕。另外，由于反 射板受激光束照射，因此当反射率下降时，有可能加工精度也下降。这样，没有可以说能容易地控制所形成的贯通孔的形状的贯通孔形成方法的技 术，如，不论加工对象物形状如何，贯通孔的直径为加工对象物的激光入射侧和射出侧 均相等的贯通孔的形成；以及，根据用途，所形成的贯通孔的直径为加工对象物的激光 的射出侧比入射侧大的所谓倒锥状的贯通孔的形成等。此外，现有技术中，如上所述，在为了使贯通孔的形状为激光的射出侧相对于 入射侧小，邻接设置多个(许多)贯通孔的情况下，根据贯通孔的入射侧的直径的大小确 定贯通孔之间的轴间(贯通孔的中心轴之间)的距离的最小值，但由于贯通孔的入射侧直径大，因此不能使贯通孔之间的轴间距离减小。在这样的现有技术的情况下，在应用于 设计上要求将贯通孔的大小设定为以目测不能识别的大小例如ΙΟΟμιη以下的设备，例如 携带电话或便携式音乐设备等中的光的通过部(显示装置等)或声音的通过部(扬声器或 麦克风等)的情况下，还存在不能提高开孔率和不能使足够的光或声音通过的问题。专利文献1 特开2003-158358号公报专利文献2 特开2004-243404号公报专利文献3 特开平11-58051号公报专利文献4 特开2001-79677号公报专利文献5 特开平8-141766号公报
发明内容
本发明的目的在于提供新的贯通孔形成方法，其不具有上述以往的应用激光的 贯通孔形成方法带有的很多问题，并且其能容易地控制这些现有技术得不到的所形成的 贯通孔的形状，如，不论加工对象物形状如何，加工对象物的激光入射侧的直径和射出 侧的直径均相等的贯通孔的形成；以及，所形成的贯通孔的直径为加工对象物的激光的 射出侧比入射侧大的所谓倒锥状贯通孔的形成等。本发明人为了解决上述课题，从各种各样的角度进行了研究，结果发现，在利 用激光烧蚀加工法形成贯通孔时，通过使特定的物质与加工对象物的射出面接触，不仅 在加工对象物为树脂材料的情况下，即使是在一般认为是更困难的金属材料的情况下也 能够控制入射侧的直径和射出侧的直径的比率，从而完成了本发明。S卩，为了解决上述课题，本发明的贯通孔形成方法，如权利要求1所记载为贯 通孔形成方法，该方法是通过由激光加工装置对加工对象物照射激光使所述加工对象物 的一部分升华，以将贯通孔形成于所述加工对象物的利用激光烧蚀法的贯通孔形成方 法，其特征在于，对所述加工对象物相对于激光的射出面，在使高分子物质的胶体溶 液、高分子物质的溶液及多元醇中的任一种以上与其接触的状态下，照射所述激光。另外，本发明的贯通孔形成方法如权利要求2所述，为权利要求1所述的利用激 光的贯通孔形成方法，其特征在于所述激光为紫外光。另外，本发明的贯通孔形成方法如权利要求3所述，为权利要求1或权利要求2 所述的贯通孔形成方法，其特征在于所述激光为选自固体激光的三次谐波、四次谐波及 五次谐波中的任一种。另外，本发明的贯通孔形成方法如权利要求4所述，为权利要求1 3任一项所 述的贯通孔的形成方法，其特征在于所述激光为选自Q开关脉冲振荡的YAG激光、Q开 关脉冲振荡的YLF激光及Q开关脉冲振荡的YVO4激光中的任一种。另外，本发明的贯通孔形成方法如权利要求5所述，为权利要求1或权利要求2 所述的贯通孔形成方法，其特征在于上述激光为准分子激光。另外，本发明的贯通孔形成加工产品如权利要求6所述，为贯通孔形成加工产 品，其特征在于利用权利要求1 5中任一项所述的贯通孔形成方法形成了贯通孔。另外，本发明的贯通孔形成加工产品如权利要求7所述，其设置有许多直径为 IOOym以下的贯通孔，其中，开孔加工部的大小比各边为0.3mm的正方形大，且其开孔
5加工部的开孔率为35%以上。根据该结构，在应用于例如显示器面等时，尽管在非点亮 时不能用目测分辨孔，但在点亮时可成为极其明亮的显示。另外，本发明的贯通孔形成加工产品如权利要求8所述，其设置有许多直径为 IOOym以下的贯通孔，其中，各孔的两个面的直径比为100 75 75 100。由此， 尽管不能用目测分辨孔，但可实现极其高的开孔率。发明效果根据本发明的贯通孔形成方法，以对上述加工对象物相对于激光的射出面，以 使高分子物质的胶体溶液、高分子物质的溶液或多元醇与其接触的状态，照射上述激 光，由此，能容易地控制所形成的贯通孔的形状，如加工对象物的激光的入射侧的孔径 和射出侧的直径相等的贯通孔的形成，以及，所形成的贯通孔的直径为加工对象物的激 光射出侧比入射侧大的所谓倒锥状的贯通孔的形成等。此时，由于使高分子物质(聚合物)的胶体溶液及高分子物质(聚合物)的溶液 的粘度成为较高的粘度，或者，仅是使用粘度比较高的多元醇涂布在加工对象物的射出 面上，也可形成如上所述的接触状态，因此，可在不受加工对象物形状的影响下形成贯 通孔，并且，不会将激光加工时的加工对象物的位置限制为水平，即使为垂直或者倾斜 的状态也可加工。进而，能对加工对象物的激光的入射侧的孔径和射出侧的孔径相等的贯通孔的 形成、以及所形成的贯通孔的孔径为加工对象物的激光射出侧比入射侧变大的所谓倒锥 状的贯通孔的形成等所形成的贯通孔的形状容易地进行控制，同时，在一个加工对象物 上形成多个贯通孔时，可以高密度地形成贯通孔，进而，由于不会发生变色或变形，所 以不需要在贯通孔周边的后加工或修饰加工。另外，高分子物质的胶体溶液、高分子物质的溶液及多元醇只通过擦去，或者 只用分散剂或溶剂清洗就可简单地除去，在后者的情况下，只要组合过滤、浓缩或回收 等方法，还可进行分散质、溶质、分散剂、溶剂等的再利用，此时，可以完全除掉废弃 物的排放。根据本发明权利要求2涉及的贯通孔形成方法，除上述结构以外，由激光加工 装置照射的激光设为紫外光。紫外光由于每一个光子的能量高，因此可以高效地切断加 工对象物的结构分子内的化学键，可以容易地进行可将材料瞬间升华·除去的激光烧蚀 加工。进而，因其光子能量高之故，和与加工对象物背面(激光射出面)接触的高分子 物质的胶体溶液、高分子物质的熔液、或者多元醇引起化学反应，使等离子体或自由基 等活性种产生，从而有助于高效率的高分子材料的加工。另外，根据本发明权利要求3的贯通孔形成方法，上述激光为选自固体激光的 三次谐波、四次谐波及五次谐波中的任一种。此处，三次谐波、四次谐波、五次谐波的 紫外光对于激光，对由不透明的树脂组成的加工对象物有效，四次谐波、五次谐波的紫 外光对于激光，无论透明·不透明，对所有的由树脂组成的加工对象物均有效。另外，根据本发明权利要求4的贯通孔形成方法，上述激光具有为选自Q开关脉 冲振荡的YAG激光器、Q开关脉冲振荡的YLF激光器及Q开关脉冲振荡的YVO4激光器 中任一种的构成。即，由激光加工装置照射的激光均优选使用Q开关脉冲振荡的YAG三次谐波(355nm)、YAG 四次谐波(266nm)、YAG 五次谐波(213nm)、YLF 三次谐波(351nm)、 YLF四次谐波(263nm)、YLF五次谐波(211nm)、YVO4三次谐波(355nm)、YVO4四次 谐波(266nm)、YVO4五次谐波(213nm)的各激光。这些激光的特征在于，不仅可以微细加工，而且装置价格比较廉价、操作性良 好、处理简单。进而，通过在这些激光中使用Q开关脉冲振荡型，使激光的储备能量暂 时蓄积便一下子输出，所以有即使是低输出的激光装置也可以得到高峰值输出这样的优 点，可以以更高密度(以窄孔距)形成从锥形状到笔直形状、倒锥状的贯通孔。另外，权利要求5涉及的发明使用准分子激光来进行。准分子激光除可进行与固体激光的三次谐波、四次谐波、五次谐波的紫外光几 乎同样的加工以外，输出振荡可以更高，所以并用光掩模或多透镜阵列时，可以在加工 对象物的多个位置以高密度的窄孔距一起形成贯通孔。另外，权利要求6涉及的贯通孔形成加工产品，如权利要求6所述，是利用权利 要求1 权利要求5中任一项所述的贯通孔形成方法形成贯通孔的贯通孔形成加工产品， 其中所形成的贯通孔的形状设定为所要求的形状，所述贯通孔的形状为现有技术得不到 的，如，不论加工对象物的形状如何，加工对象物的激光的入射侧的孔径和射出侧的孔 径均相等的贯通孔的形成，以及，所形成的贯通孔的孔径为加工对象物的激光的射出侧 比入射侧大的所谓倒锥状的贯通孔的形成等。另外，本发明的贯通孔形成加工产品如权利要求7所述，是设置有许多直径 为ΙΟΟμιη以下的贯通孔的开孔加工产品，其特征在于，开孔加工部的大小大于各边为 0.3mm的正方形，且其开孔加工部的开孔率为35%以上。根据该结构，在应用于例如显 示器面等时，虽然非展示时不能以目测分辨孔，但在点亮时为极其明亮的显示。另外，本发明的贯通孔形成加工产品如权利要求8所述，是设置有许多直 径为ΙΟΟμιη以下的贯通孔的开孔加工产品，其特征在于，各孔的两个面的直径比为 100 75 75 100，此时可以使孔间的间距更窄，其结果，开孔率改善，例如开孔率 为50%以上。由此，尽管不能用目测分辨孔，但可以实现极其高的开孔率。
图1是在本发明中使用的一例激光加工装置的概略构成图；图2是表示贯通孔形成时的加工对象物附近的状态的说明图；图3是实施利用激光的贯通孔形成加工的透明PET片(实施例1)的显微镜照 片；图4是包含图3的片的贯通孔的截面的显微镜照片；图5是在实施例2-1中经过贯通孔形成加工的片的截面的显微镜照片；图6是表示照射次数和孔形状的关系(射出孔径/入射孔径的比率)(实施例5) 的曲线图；图7是用三次谐波进行激光加工的金属风格装饰片(实施例6)的显微镜照片；图8是经激光加工的透明聚碳酸酯片(实施例7)的显微镜照片；图9是经激光加工的铝板(实施例8)的显微镜照片；图10是经激光加工的不锈钢板(实施例9)的显微镜照片；
图11是用可见光进行激光加工的金属风格装饰片(比较例5)的显微镜照片；图12是用红外光进行激光加工的金属风格装饰片(比较例6)的显微镜照片；图13是表示实施例10中的结果的图；图14是表示实施例10中的结果的图；图15是表示实施例10中的结果的图；图16是表示实施例10中的结果的图；图17是表示实施例11中的结果的图；图18是表示实施例12中的结果的图；图19是表示实施例13中的结果的图；图20是表示实施例14中的结果的图；图21是表示实施例15中的结果的图；图22是表示实施例16中的结果的图；图23是表示实施例17中的结果的图。附图标记Ia共振镜(全反射镜)Lb共振镜(部分反射镜)2Q 开关3非线性光学元件4控制装置5激光扫描装置(检流(galvano)扫描镜)6聚光透镜7透镜保护罩8加工对象物9固定台10紫外激光11入射面12射出面13高分子物质的胶体溶液14高分子物质的溶液15多元醇LP激光加工装置LS紫外激光光源LM固体激光媒介
具体实施例方式本发明可以进行例如如下操作，使用将概略构造图示于图1的激光加工装置LP 来实施。如图1所示，激光加工装置LP是对加工对象物8实施加工的装置，具有紫外 激光光源(激光振荡器)LS，和用于用激光10在所设定的激光照射范围对加工对象物8表面进行扫描的激光扫描装置(检流扫描镜)5，用于控制Q开关2和激光扫描装置5的控 制装置4，用于将激光10进行聚光的聚光透镜6，用于防止向聚光透镜6的激光反射及保 护透镜表面的透镜保护罩7，用于载放加工对象物8的固定台9。另外，作为紫外激光光 源LS也可以使用准分子激光器。紫外激光光源LS由固体激光媒介LM和全反射镜构成的共振镜la，由部分反射 镜构成的共振镜lb，Q开关2以及将由固体激光媒介LM振荡的基本波转换为三次谐波 或者四次谐波的非线性光学元件3构成。在共振镜Ia和Ib之间将固体媒介激光LM配 置于共振镜Ia侧，将Q开关2配置于共振镜Ib侧，以便用共振镜la、lb、固体激光媒 介LM来进行光共振。另外，在共振镜la、固体激光媒介LM、Q开关2、共振镜Ib之间持续光共振， 通过使Q开关2动作，使所积蓄的能量一下子放出，由此可得到高峰值功率的激光，因 此，也可以通过控制Q开关2的定时来控制照射能量，另外，也可以控制供给构成紫外激 光光源LS的激励用的激光二极管(未图示)或者灯的电流值来改变照射能量。图2是表示载放于固定台9的加工对象物(在该例中为树脂制薄板状材料。具 体为携带电话的框体材料)8附近的状态的说明图。作为加工对象物8的材质，可举出例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET树脂)、丙 烯酸系树脂、聚碳酸酯(PC)、聚酰亚胺(PI)等高分子树脂材料；或者各种增强塑料或例 如金属风格装饰片等包含金属层的树脂层合材料等；或者铝或铁(不锈钢)、钛、镁等或 它们的合金等金属材料等。另外，按照高分子物质的胶体溶液13、高分子物质的溶液14、多元醇15与加工 对象物8的激光的入射面11的背面(射出面12)接触的方式进行配置。具体地，也可以以加工对象物的激光入射面11的背面与放入容器的这些高分子 物质的胶体溶液13、高分子物质的溶液14、或者多元醇15的液面接触的方式来保持加工 对象物，这种情况下即使在入射面11的背面设置有凹凸的情形中也可以实施本发明的贯 通孔形成方法，但也可以在加工对象物的激光的入射面11的背面涂布这些液体，这时， 加工对象物的入射面11的背面侧的形状自由度进一步提高。在利用涂布接触的情况下，可以利用辊、毛刷、喷射等方法将高分子物质的胶 体溶液13、高分子物质的溶液14或者多元醇15涂布在加工对象物8的射出面12侧，或 者使用使加工对象物8的射出面12侧接触所积存的高分子物质的胶体溶液13、高分子 物质的溶液14、或者多元醇15的液面等一般的方法进行涂布。此时，由于当涂布厚为 IOym以上时可稳定地得到扩径效果，所以优选。并且，由于即使加厚到一定程度，例 如超过2000 μ m，效果也不变，所以优选设定为容易形成涂布层的范围，例如50μιη 2000 μ m。此处，在粘度低的涂布剂的情况下，当加厚涂布层时，有可得到良好的结果 的倾向。作为高分子物质的胶体溶液，可举出例如淀粉水溶液(市售的淀粉糊等)、 聚醋酸乙烯酯乳液、天然橡胶系胶乳、丙烯酸系胶乳、聚氨酯系胶乳、合成橡胶系胶乳 等，可以使用其中的一种，或只要无损本发明的效果，也可以将多种混合使用。对于这些胶体溶液的分散质浓度，预先分别对每个种类进行研究，根据加工对 象物厚度或定为目标的贯通孔的孔径等预先适当研究来确定，以得到目标孔形状。
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此处，在使用没有流动性的凝胶代替胶体水溶液的情况下不能得到本发明的效 果。即，凝胶由于没有形状自由性，所以加工对象物8的射出面12的形状自由度变低， 进而不能得到本发明的效果。即，凝胶由于与胶体溶液(溶胶)比较没有流动性，因此 不能包围射出孔，由于等离子脱离的影响而不能将能量集中在孔的附近，因此被认为得 不到贯通孔形状的调节功能。另一方面，作为高分子物质的溶液，可举出例如聚乙烯醇(PVA)、丙烯酸聚合 物、聚丙烯酰胺(PAM)、聚氧化乙烯(PEO)、羧甲基纤维素钠(CMC、CM纤维素)、甲 基纤维素(MC)的水溶液、或者硝化纤维素等有机溶剂溶液等。对在这些溶液中的溶质 的浓度，预先分别对每个种类进行研究，根据加工对象物厚度或定为目的的贯通孔的孔 径等预先进行适当研究来确定，以得到目标孔形状。作为上述高分子物质的水溶液，由于以聚乙烯醇(PVA)为溶质、以水为溶剂的 水溶液比较廉价，并且具有生物降解性或生物相容性，是废弃处理时不给环境施加负荷 的生物降解性高分子，因此特别优选。进而，在将这样的以聚乙烯醇(PVA)为主成分的高分子物质的水溶液13涂布在 加工对象物8的情况下，因为聚乙烯醇(PVA)有容易溶解于热水的性质，所以通过在激 光加工后用热水对加工对象物8进行清洗，可以从加工对象物8上容易地除去高分子物质 的水溶液13。进而，通过将该清洗水过滤，除去激光烧蚀飞散物后，只要调节水分使聚 乙烯醇(PVA)为适当的浓度，就可再利用，此时，几乎没有废弃物。在本发明中，除了上述高分子物质的胶体溶液、高分子物质的溶液以外，可使 用多元醇、即多醇(带有2个以上的羟基-OH的脂肪族化合物)。作为多元醇，可以使用 羟基的数为2以上的液状多元醇。作为这样的多元醇，可举出乙二醇、甘油、双甘油、 聚甘油(以下示出聚甘油的通式(1)。式中的重复单位η平均为10的物质容易得到)等， 可以将它们直接使用或者与水混合使用。另外，也可以使用通常是固体，添加水即可形 成成液状的多元醇。作为这样的例子，可举出聚乙烯醇的水溶液(PVA)。[化学式1]
权利要求
1.贯通孔形成方法，是通过由激光加工装置对加工对象物照射激光使所述加工对 象物的一部分升华，以将贯通孔形成于所述加工对象物的利用激光烧蚀法的贯通孔形成 方法，其特征在于，对所述加工对象物相对于激光的射出面，在使高分子物质的胶体溶 液、高分子物质的溶液及多元醇中的任一种以上与其接触的状态下，照射所述激光。
2.如权利要求1所述的利用激光的贯通孔形成方法，其特征在于，所述激光为紫外光。
3.如权利要求1或2所述的贯通孔形成方法，其特征在于，所述激光为选自固体激光 的三次谐波、四次谐波及五次谐波中的任一种。
4.如权利要求1 3任一项所述的贯通孔形成方法，其特征在于，所述激光为选自Q 开关脉冲振荡的YAG激光、Q开关脉冲振荡的YLF激光及Q开关脉冲振荡的YV04激 光中的任一种。
5.如权利要求1或权利要求2所述的贯通孔形成方法，其特征在于，所述激光为准分子激光。
6.贯通孔形成加工产品，其特征在于，利用权利要求1 5中任一项所述的贯通孔形 成方法形成了贯通孔。
7.贯通孔形成加工产品，其设置有多个直径为100μ m以下的贯通孔，其特征在于， 开孔加工部的大小大于各边为0.3mm的正方形，且该开孔加工部的开孔率为35%以上。
8.贯通孔形成加工产品，其设置有多个直径为100μ m以下的贯通孔，其特征在于， 各孔的两个面的直径比为100 75 75 100。
全文摘要
本发明提供新的贯通孔形成方法，其不具有以往应用激光的贯通孔形成方法所具有的许多问题，并且，能容易地控制这些现有技术得不到的所形成的贯通孔的形状，如，不论加工对象物形状如何，加工对象物的激光入射侧的直径和射出侧的直径均相等的贯通孔的形成；以及所形成的贯通孔的直径为加工对象物的激光的射出侧比入射侧大的所谓倒锥状贯通孔的形成等。其为在加工对象物中形成贯通孔的利用激光烧蚀加工法的贯通孔形成方法，其中，在使高分子物质的胶体溶液、高分子物质的溶液或多元醇对于激光接触的状态下，对加工对象物的射出面照射上述激光。
文档编号B23K26/38GK102015196SQ200980113930
公开日2011年4月13日 申请日期2009年3月2日 优先权日2008年2月28日
发明者中村奖, 板垣薰 申请人:株式会社维塞微技术, 独立行政法人国立高等专门学校机构