五氧化二铌靶坯的电火花线切割方法
【专利摘要】本发明公开一种五氧化二铌靶坯的电火花线切割方法，采用电火花线切割机对五氧化二铌靶坯进行切割，所述切割在惰性气体环境中进行。当五氧化二铌靶坯表面温度瞬间达到10000℃，可避免空气中的氧将五氧化二铌靶坯（Nb2O5-x）氧化而还原成五氧化二铌，从而依旧保持着五氧化二铌靶坯的n-半导体特性，导电性好，可大幅提高切割速率（可达3mm/min以上），无需购置多台电火花线切割机或购置昂贵的金刚石线切割机，即可有效提高切割效率，降低了加工成本。
【专利说明】五氧化二铌靶坯的电火花线切割方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种五氧化二铌靶材的切割方法，尤其是一种可有效提高切割效率、降低加工成本的五氧化二铌靶材的电火花线切割方法。
【背景技术】
[0002]由于五氧化二铌具有独特的物理和化学性质，已被广泛地应用于现代技术的许多领域。如具有较强的紫外吸收能力，可作为紫外敏感材料的保护膜；具有折射率性能，与SiO2等配合制备具有不同折射率的薄膜；用于离子显示器彩色滤光膜，可提高等离子显示器的亮度和可视角度，是等离子显示器重要的镀膜材料之一。目前，在五氧化二铌靶材的制备过程中，均需要根据客户要求的尺寸，对大块的五氧化二铌靶坯进行切割。现有的基本切割方法是采用电火花线切割机进行切割，具体操作方法是在空气环境中，将脉冲电源的一极与五氧化二铌靶坯相接，另一极与金属丝相接，在金属丝与五氧化二铌靶坯之间实现火花放电，继而形成 800(Ti200(rc高温，使五氧化二铌靶坯表面材料呈线状瞬间熔化……逐步切割以达到预定形状，但是缺点是切割速率慢，通常只能达到0.6mm/min。为提高五氧化二铌靶坯切割效率，现有的一种解决方案是使用多台电火花线切割机同时进行切割，不仅增加了设备投入，而且也增加了相应的操作人员，加大了产品加工成本；另一种解决方案则是采用金刚石线切割机，但是设备造价昂贵，产品加工成本依然较大。因此，如何既能提高五氧化二铌靶材的切割效率，又能降低加工成本是人们渴望解决但始终未能获得成功的技术难题。
【发明内容】
[0003]本发明是为了解决现有技术所存在的上述技术问题，提供一种可有效提高加工效率、降低加工成本的五氧化二铌靶材的电火花线切割方法。
[0004]本发明的技术解决方案是:一种五氧化二铌靶坯的电火花线切割方法，采用电火花线切割机对五氧化二铌靶坯进行切割，所述切割在惰性气体环境中进行。
[0005]本发明是在惰性气体环境中采用电火花线切割机对五氧化二铌靶坯(Nb205_x)进行切割，当五氧化二铌靶坯表面温度瞬间达到10000°c，可避免空气中的氧将五氧化二铌靶坯(Nb205_x)氧化而还原成五氧化二铌，从而依旧保持着五氧化二铌靶坯的η-半导体特性，导电性好，可大幅提高切割速率(可达3mm/min以上)，无需购置多台电火花线切割机或购置昂贵的金刚石线切割机，即可有效提高切割效率，降低了加工成本。虽然方法简单，但是却解决了人们渴望解决但始终未能获得成功的技术难题。
【具体实施方式】
[0006]实施例1:
将6mm厚的五氧化二铌靶坯置于现有电火花线切割机的工件台上，并按照现有方法与脉冲电源相接。在工件台的五氧化二铌靶坯外罩有一个保护罩，保护罩上有电源线输入孔及金属丝(电极丝)通行孔，由氮气瓶向保护罩内输入氮气作为保护气体。因氮气瓶的压力大于保护罩，因此氮气会将保护罩内的空气排出而充满保护罩，当保护罩内充满氮气后开始电火花线切割。电火花线切割机参数设置如下:脉宽48ys，脉间384ys，电压100V，电流3A，电极丝直径Φ0.18_。切割速率达到3mm/min，切割表面光洁。
[0007]实施例2:
也是实现对6mm厚的五氧化二铌靶坯进行电火花线切割，方法基本同实施例1，与实施例I所不同的是向保护罩内充入氩气，电火花线切割机参数设置如下:脉宽48μ S，脉间384 μ S，电压220V,电流3.8Α，电极丝直径Φ 0.18mm。切割速率达到3.2mm/min,切割表面光洁。
[0008]比较例:
使用现有的电火花线切割机直接进行切割，以6mm厚的氧化铌靶坯为切割对象，电火花线切割机参数设置同实施例2，S卩:脉宽48ys，脉间384ys，电压220V，电流3.8A，电极丝直径Φ 0.18mm。切割速率仅为0.6mm/min，切割表面粗糙。
【权利要求】
1.一种五氧化二铌靶坯的电火花线切割方法，采用电火花线切割机对五氧化二铌靶坯进行切割，其特征在于:所述切割在惰性气体环境中进行。
【文档编号】B23H1/00GK103920945SQ201410127991
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年4月1日 优先权日:2014年4月1日
【发明者】张士察, 孙振德, 李玉新, 李春梅 申请人:北京冶科纳米科技有限公司