1.一种激光光线的检查方法，其特征在于，包含如下的步骤：
检查用膜配设步骤，在具有第1面和该第1面的相反侧的第2面的检查用板状物的该第1面上形成检查用膜，该检查用膜吸收透过该检查用板状物的波长的激光光线而熔融；
改质层形成步骤，在实施了该检查用膜配设步骤之后，使该检查用膜与卡盘工作台的保持面相对而利用该卡盘工作台保持该检查用板状物，并从该第2面侧照射该激光光线以使其在该检查用板状物的内部会聚而在该检查用板状物的内部形成改质层；以及
检查步骤，在实施了该改质层形成步骤之后，根据因通过了该检查用板状物的该激光光线而形成于该检查用膜的熔融痕来检查该激光光线的状态。
2.根据权利要求1所述的激光光线的检查方法，其特征在于，
在该检查步骤中，在相对于形成在该改质层的正下方的改质层正下方熔融痕，形成在该改质层正下方熔融痕的附近的斑点状熔融痕偏集的情况下，判定为该激光光线相对于照射该激光光线的激光光线照射构件的光学单元或透镜的光轴偏移。