技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置，包括外壳、Z向驱动、X向驱动，所述Z向驱动通过螺钉与X向驱动连接，形成串联机构；Z向驱动、X向驱动的驱动方式采用压电驱动器，Z向驱动、X向驱动的导向方式采用气浮导轨导向，金刚石刀具安装在Z向驱动上，实现了金刚石刀具在X、Z方向上的高频直线式往返伺服运动。因非接触式驱动，使得整个装置寿命长，同时具有高运动精度。
技术研发人员：徐爱群;吴礼琼;廖胜凯;于海阔
受保护的技术使用者：浙江科技学院;徐爱群
技术研发日：2016.04.12
技术公布日：2017.10.24