用于面阵列封装用铜基非晶焊球及其制备方法及封装方法与流程

文档序号:12296616阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种用于面阵列封装用铜基非晶焊球及其制备方法及封装方法,所述用于面阵列封装用铜基非晶焊球为非晶球形Cu46Zr42Al7Y5粉末,在面阵列封装过程中,熔融Sn通过扩散反应将非晶球形Cu46Zr42Al7Y5粉末与焊盘连接起来。采用本发明的技术方案,采用铜基Cu46Zr42Al7Y5非晶焊球实现面积阵列封装互连,该材料在互连过程中并不熔化,在连接过程中只通过扩散反应达到连接的目的,焊球高度基本不发生变化,连接过程耗时短,所用焊盘并不需要镀上阻焊层和Au层,完成互连后焊球形状不发生明显变化,提高了抗高温和抗电迁移性能。

技术研发人员:计红军;梁孟;李明雨;马鑫;黄嘉一
受保护的技术使用者:哈尔滨工业大学深圳研究生院;深圳市汉尔信电子科技有限公司
技术研发日:2017.06.13
技术公布日:2017.10.27
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