1.一种激光加工装置,其特征在于,
具备:
装置框架;
支撑部,其安装于所述装置框架且支撑加工对象物;
激光输出部,其相对于所述装置框架能够装卸;及
激光聚光部,其安装于所述装置框架,
所述激光输出部具有:
射出激光的激光光源;及
调整所述激光的输出的输出调整部,
所述激光聚光部具有:
反射型空间光调制器,其调制并反射所述激光;
聚光光学系统,其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光;及
成像光学系统,其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光输出部还具有安装基座,该安装基座支撑所述激光光源及所述输出调整部且相对于所述装置框架能够装卸,
所述激光输出部经由所述安装基座而安装于所述装置框架。
3.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光输出部还具有反射镜,该反射镜用于调整从所述激光输出部射出的所述激光的光轴。
4.根据权利要求2所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光输出部还具有反射镜,该反射镜用于调整从所述激光输出部射出的所述激光的光轴。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,
所述输出调整部调整所述激光的偏振光方向。
6.根据权利要求5所述的激光加工装置,其特征在于,
所述输出调整部包含λ/2波长板及偏振光板。
7.根据权利要求1~4中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光输出部还具有激光平行化部,该激光平行化部调整所述激光的直径并且将所述激光平行化。
8.根据权利要求5所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光输出部还具有激光平行化部,该激光平行化部调整所述激光的直径并且将所述激光平行化。
9.根据权利要求6所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光输出部还具有激光平行化部,该激光平行化部调整所述激光的直径并且将所述激光平行化。
10.根据权利要求1~4中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,
所述反射型空间光调制器、所述聚光光学系统及所述成像光学系统与500~550nm、1000~1150nm及1300~1400nm的波长带对应。
11.根据权利要求5所述的激光加工装置,其特征在于,
所述反射型空间光调制器、所述聚光光学系统及所述成像光学系统与500~550nm、1000~1150nm及1300~1400nm的波长带对应。
12.根据权利要求6所述的激光加工装置,其特征在于,
所述反射型空间光调制器、所述聚光光学系统及所述成像光学系统与500~550nm、1000~1150nm及1300~1400nm的波长带对应。
13.根据权利要求7所述的激光加工装置,其特征在于,
所述反射型空间光调制器、所述聚光光学系统及所述成像光学系统与500~550nm、1000~1150nm及1300~1400nm的波长带对应。
14.根据权利要求8所述的激光加工装置,其特征在于,
所述反射型空间光调制器、所述聚光光学系统及所述成像光学系统与500~550nm、1000~1150nm及1300~1400nm的波长带对应。
15.根据权利要求9所述的激光加工装置,其特征在于,
所述反射型空间光调制器、所述聚光光学系统及所述成像光学系统与500~550nm、1000~1150nm及1300~1400nm的波长带对应。