技术总结
本实用新型提供一种激光加工装置，其能够使用激光的波长相互不同的多个激光光源。激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、安装于装置框架(210)且支撑加工对象物(1)的支撑台(230)、相对于装置框架(210)可装卸的激光输出部(300)、安装于装置框架(210)的激光聚光部(400)。激光输出部(300)具有射出激光的激光振荡器和调整激光的输出的λ/2波长板单元及偏振光板单元。激光聚光部(400)具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、使激光相对于加工对象物(1)进行聚光的聚光透镜单元、构成反射型空间光调制器的反射面和聚光透镜单元的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜。
技术研发人员：奥间惇治;长尾光洋;伊崎泰则
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
文档号码：201720102005
技术研发日：2017.01.26
技术公布日：2017.11.10