一种靶材切割固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材加工设备技术领域，更具体地说，它涉及一种靶材切割固定装置。


背景技术：

2.靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。多数靶材加工制造过程中离不开切割作业，一般需要将圆柱状的靶坯固定好、切成片状的圆形靶材；目前靶材切割装置上设置的用于固定靶坯的夹持机构，为满足不同尺寸靶坯通用性，多为螺纹式可调结构，在拆装靶坯或调节夹持尺寸时需要重复旋拧螺纹，拆装速度慢，不仅浪费人力，还导致靶材切割效率低、增加整体加工成本。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提出一种靶材切割固定装置，能够解决目前靶材切割装置夹持机构拆装速度慢、费时费力的技术问题。
4.本实用新型提供了如下技术方案：一种靶材切割固定装置，包括底座、外框架、托料板、上侧夹持机构、侧部夹持机构，所述外框架截面呈门型结构，包括两相对设置的竖板以及连接两竖板顶部的顶板，所述竖板的底部固定于底座上，托料板设有两块、设置在底座上并位于外框架内部，两块托料板中间设有间隔，两托料板相对的上边沿用于托置靶坯下端；上侧夹持机构设置于顶板上，包括上压板、上活塞缸，上活塞缸缸体固定于顶板上，上活塞缸的活塞杆向下伸出与上压板连接、用于驱动上压板对靶坯上端进行顶压；侧部夹持机构设有两个、用于分别设置在靶坯的水平两侧，包括侧活塞缸、侧夹板，侧夹板下侧与所述托料板转动连接，侧活塞缸缸体转动安装在所述竖板上，侧活塞缸活塞杆向外框架内部伸出并与侧夹板上侧转动连接，所述侧夹板用于受到侧活塞缸推动作用相对托料板转动、夹紧靶坯侧部。
5.有益效果：本靶材切割固定装置用于安装靶坯时，将靶坯沿两块托料板中间的间隔竖向放置在两托料板之间，之后驱动上活塞缸、侧活塞缸的活塞杆伸出，使上压板伸出、侧夹板相对底座向靶坯转动，从顶部、两侧分别顶紧、夹紧靶坯，使靶坯无法移动；同样的，驱动上活塞缸、侧活塞缸使其活塞杆收回，上压板向上移动，侧夹板相对底座远离靶坯移动，上侧夹持机构和侧部夹持机构均松开靶坯，操作人员可直接拿下或者推动靶坯。综上，本实用新型具有拆卸方便、快速的优点，靶坯安装好以后其顶部、侧部、底部均受到夹持顶紧，结构稳固、便于切割；使用适用性好，可用于不同外径尺寸的靶坯，拆装过程中人手操作步骤少，通过外部气源、液压源即可快速完成作业，省时省力，大大提高拆装效率、加快切割速度的同时降低靶材综合加工成本。
6.进一步的，所述上压板的两侧设有滑动凸起，所述竖板内侧则设有用于与滑动凸起上下滑动导向配合的滑动凹槽，所述滑动凹槽为收口槽。
7.有益效果：上压板与竖板上下滑动配合，保证上压板移动过程中沿既定路线运动、避免发生偏移。
8.进一步的，靶材切割固定装置还包括用于对靶坯切割端进行限位的可调限位件，可调限位件整体呈l型结构，包括竖直限位板和横向板，底座上于两托料板之间的间隔处设有供所述横向板插入的安装槽，安装槽槽底设有螺柱，横向板上设有供螺柱通过的长槽，所述竖直限位板固定在横向板一端，所述长槽贯通横向板另一端；通过螺母与螺柱连接将横向板压紧固定在所述底座上，使用时竖直限位板用于与靶坯切割端的端面相抵。
9.有益效果：设置对靶坯切割端进行限位、位置可移动的可调限位件，便于调节、确定靶材切割厚度。
10.进一步的，所述横向板的竖直侧面上设有刻度线。
11.有益效果：操作者可方便的根据刻度线确定靶材切割厚度。
12.进一步的，两托料板相对的上边沿处设有弧形过渡面。
13.有益效果：弧形过渡面保护靶坯受压时不易产生表面损坏。
附图说明
14.图1是本实用新型的一种靶材切割固定装置的具体实施例1的整体结构示意图；
15.图2是图1中a处的细节放大图；
16.图3是本实用新型的一种靶材切割固定装置的具体实施例1中可调限位件于上侧视角的示意图；
17.图4是本实用新型的一种靶材切割固定装置的具体实施例1中可调限位件和底座的局部示意图；
18.附图标记：1-底座；2-靶坯；3-竖板；4-顶板；5-托料板；6-上活塞缸；7-上压板；8-滑动凸起；9-滑动凹槽；10-侧活塞缸；11-侧夹板；12-可调限位件；13-安装槽；14-螺柱；15-螺母；16-横向板；17-竖直限位板；18-长槽；19-刻度线。
具体实施方式
19.下面结合附图对本实用新型进行详细描述。
20.本实用新型的一种靶材切割固定装置的具体实施例1：
21.本实用新型的具体结构如图1所示，主要由底座1、外框架、托料板5、上侧夹持机构、侧部夹持机构构成，外框架设置在底座1上，托料板5位于外框架内部，上侧夹持机构、侧部夹持机构均设置在外框架上。外框架截面呈门型结构，主要由顶板4和两个相对设置的竖板3构成，竖板3下端固定在底座1上，两竖板3上端之间通过顶板4连接。托料板5设有两块，设置在底座1上，两托料板5中间设置间隔且两托料板5上相互对应的上边沿用于托置靶坯2下端，为防止在夹持固定过程中损伤靶坯表面，两托料板5相对的上边沿处设有弧形过渡面。
22.上侧夹持机构用于对靶坯2上端进行压紧、设置在在顶板4上，包括上活塞缸6和上压板7，上活塞缸6缸体以活塞杆向下伸出的姿态固定在顶板4上，上压板7位于顶板4和靶坯2之间、固定在上活塞缸6活塞杆下端，通过驱动上活塞缸6可带动上压板7上下运动。为保持上压板7稳定沿既定路线运动，上压板7的两侧设有向外伸出的滑动凸起8，与此对应的，竖
板3内侧设有通过滑动凸起8与上压板7滑动导向配合的滑动凹槽9，滑动凹槽9是收口槽，防止上压板7从滑动凹槽中脱离。
23.侧部夹持机构设有两个，用于对靶坯2的水平两侧进行夹持，两侧部夹持机构分别设置在两竖板3上，包括侧活塞缸10和侧夹板11，侧活塞缸10缸体以活塞杆向外框架内伸出的方向转动装配在竖板上，侧夹板11下端与托料板5转动连接、上侧与侧活塞缸10活塞杆外端转动连接。在侧活塞缸10伸缩过程中，带动侧夹板11相对托料板转动并远离/靠近靶坯2，两侧夹板11同步配合使用，可对靶坯两侧同时夹紧、松开。
24.本实用新型还包括用于限位靶坯2切割端、确定靶材切割厚度的可调限位件12，可调限位件12结构如图1-图4所示，使用时安装在底座1上，底座1上于两托料板5之间的间隔处设有用于安装可调限位件12的安装槽13，安装槽13的槽底固定有螺柱14。限位件12整体呈l型、包括竖直限位板17和横向板16，竖直限位板17固定在横向板16一端，横向板16上设置供螺柱14通过、贯通横向板16远离竖直限位板17一端的开槽18，安装可调限位件12的时候，使开槽18开口对准螺柱缓缓推入安装槽13内，用螺母15与螺柱14螺纹连接将可调限位件12压紧安装在安装槽13内部，使用时靶坯2切割端的端面用于与竖直限位板17相抵，通过调节螺柱14与开槽18的相对位置可改变可调限位件12相对底座1位置，继而调整靶材的切割厚度。为方便精确观测靶材切割厚度，横向板16的竖直侧面上设置刻度线19。
25.本靶材切割固定装置使用时与切割装置配合，将靶坯2切割成圆形片状靶材：先将靶坯2放置在两托料板5之间，驱动上活塞缸6、侧活塞缸10伸出，使上压板7下降、两侧夹板11向靶坯2转动，直到上压板7压紧靶坯2顶部、两侧夹板11夹紧靶坯2两侧，完成靶坯的固定；拆卸时，使上活塞缸6、侧活塞缸10的活塞杆收缩，上压板7、侧夹板11均松开靶坯。综合以上过程，本实用新型的靶材切割固定装置不仅适用于多种外径尺寸的靶坯、具有一定通用性，还具有安装紧固、拆装方便、省时省力的优点，可提升拆装效率、加快切割速度。
26.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。