焦点检测机构及激光加工设备的制作方法

本申请涉及激光加工，尤其涉及一种焦点检测机构及激光加工设备。

背景技术：

1、划片机是一种通过激光对晶圆进行划片的设备。划片过程中，由于各晶圆厚度的差异以及晶圆的翘曲，或者由于震动的影响，激光的焦点需要实时的调整才能使激光焦点位于最佳位置，达到较理想的划片效果。现有的划片机在进行激光划片时，无法实时的进行焦点高度的检测和调整。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本申请提供一种能自动、实时调节激光焦点的焦点检测机构及激光加工设备。

2、为达此目的，本申请采用以下技术方案：

3、一种焦点检测机构，应用于激光加工，包括：

4、相机模组；

5、焦点检测模组，设于所述相机模组的一侧，用于发出检测激光，所述检测激光能被相机模组拍摄到；

6、检测激光反射镜，设于所述相机模组下方，用于将所述焦点检测模组发出的所述检测激光沿所述相机模组的轴线方向向下反射；

7、目镜模组，设于所述检测激光反射镜下方，所述检测激光经所述检测激光反射镜反射后由所述目镜模组射出，且用于加工工件的加工激光经过所述目镜模组射出；所述目镜模组包括驱动件及目镜，所述目镜与所述驱动件连接，所述驱动件能驱动所述目镜升降，所述目镜升降能改变所述检测激光及所述加工激光的焦点位置。

8、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测模组的出光口低于所述相机模组，且所述焦点检测模组的出光口与所述检测激光反射镜相对设置。

9、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述检测激光反射镜的倾斜角度为45度。

10、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测机构还包括：

11、第一安装板，与所述相机模组连接，所述焦点检测模组设于所述第一安装板上；所述第一安装板上设有条形孔，所述条形孔沿竖直方向设置，所述焦点检测模组通过所述条形孔与所述第一安装板连接。

12、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测机构还包括：

13、反射镜安装座，所述检测激光反射镜设于所述反射镜安装座上；

14、反射镜调节座，与所述相机模组连接，所述反射镜安装座设于所述反射镜调节座上；所述反射镜调节座上设有调节螺钉，所述调节螺钉能调节所述检测激光反射镜的倾斜角度。

15、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测机构还包括：

16、拉紧弹簧，其一端与所述反射镜调节座连接，另一端与所述反射镜安装座连接；所述调节螺钉穿设于所述反射镜调节座上，且所述调节螺钉的末端抵在所述反射镜安装座上。

17、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测机构还包括：

18、光路盒，设于所述检测激光反射镜与所述目镜模组之间，所述光路盒的一端设有加工激光入口，另一端设有加工激光出口和检测激光入口；所述检测激光入口与所述加工激光出口上下相对设置，且所述加工激光出口位于所述目镜模组上方；所述检测激光由所述检测激光入口射入并由所述加工激光出口射出；所述加工激光入口用于连接发出加工激光的设备。

19、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测机构还包括：

20、标靶模组，设于所述相机模组的一侧，用于发出标靶光束以调节所述相机模组的清晰度。

21、作为上述焦点检测机构的可选方案，所述焦点检测模组为wdi自动对焦模组。

22、一种激光加工设备，包括如上所述的焦点检测机构。

23、本申请实施例的有益之处在于：增加了焦点检测模组，焦点检测模组发出的检测激光是能被相机模组检测到的可见光，焦点检测模组发出的检测激光与加工工件用的加工激光同时从目镜模组射出，目镜用来对激光进行聚焦，从而使检测激光的焦点与加工激光的焦点一致，相机检测到的检测激光的焦点即为加工激光的焦点，根据相机拍摄到的检测激光焦点的图像来判断激光焦点是否在正确位置，也就是判断加工激光的焦点是否在正确位置，实时的检测激光焦点。焦点检测的原理为：当相机拍摄到的焦点图像为一个圆点，说明焦点在正确位置；当相机拍摄到的焦点图像为半圆形，说明焦点不在正确位置，焦点偏上或偏下。

24、相机拍摄完焦点图像后，激光加工设备根据焦点拍摄结果实时调整目镜高度，从而调节焦点位置，使激光焦点处于正确位置，也就是实时调整激光的焦点。

技术特征：

1.一种焦点检测机构，应用于激光加工，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的焦点检测机构，其特征在于，所述焦点检测模组的出光口低于所述相机模组，且所述焦点检测模组的出光口与所述检测激光反射镜相对设置。

3.根据权利要求2所述的焦点检测机构，其特征在于，所述检测激光反射镜的倾斜角度为45度。

4.根据权利要求1所述的焦点检测机构，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求1所述的焦点检测机构，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求5所述的焦点检测机构，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求1所述的焦点检测机构，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求1所述的焦点检测机构，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求1所述的焦点检测机构，其特征在于，所述焦点检测模组为wdi自动对焦模组。

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的焦点检测机构。

技术总结
本申请公开了一种焦点检测机构及激光加工设备。焦点检测机构应用于激光加工，包括：相机模组；焦点检测模组，设于相机模组的一侧，用于发出检测激光，检测激光能被相机模组拍摄到；检测激光反射镜，设于相机模组下方，用于将焦点检测模组发出的检测激光沿相机模组的轴线方向向下反射；目镜模组，设于检测激光反射镜下方，检测激光经检测激光反射镜反射后由目镜模组射出，且用于加工工件的加工激光经过目镜模组射出；目镜模组包括驱动件及目镜，目镜与驱动件连接，驱动件能驱动目镜升降，目镜升降能改变检测激光及加工激光的焦点位置。本申请提供一种能自动、实时调节激光焦点的焦点检测机构及激光加工设备。

技术研发人员：黄伟耿,李东宇,曾威,尹建刚,高云峰
受保护的技术使用者：深圳市大族半导体装备科技有限公司
技术研发日：20221223
技术公布日：2024/1/12