一种晶圆切割用的夹具的制作方法

本技术涉及晶圆加工，具体涉及一种晶圆切割用的夹具。

背景技术：

1、晶圆切割定位装置，用于晶圆片的切割定位，使得晶圆片稳定切割，晶圆片是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆片，晶圆片切割机又名硅片 激光切割机、激光划片机，工作原理时利用高能激光束照射在工件表面，使被照射的区域局部熔化、气化，从而实现硅材料的切割。

2、晶圆切割可采用磁性夹具、吸盘夹具、夹盖夹具和胶粘夹具，其中磁性夹具将晶圆吸附在夹具上，以便进行切割，这种夹具具有良好的稳定性和精度，同时容易操作，更加方便使用。

3、磁力夹具通常由耐高温和耐腐蚀材料制成，能够在激光切割过程中承受高温和辐射，然而，如果激光切割的过程中产生大量的火花、溅射物或有害气体，这些可能会对磁力夹具的表面造成一定的污染或腐蚀，而磁性表面污染或磁力源损坏因素的影响，容易导致磁力不稳定，这可能导致晶圆在切割过程中移位或松动，同时磁力夹具中的磁力吸盘维护较为麻烦，后期维护的成本较高。

4、因此，磁力夹具存在磁性表面污染或磁力源损坏导致磁力不稳定且维护成本较高造成使用不便的技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种晶圆切割用的夹具，避免磁力夹具的磁性表面污染或磁力源损坏，从而避免磁力不稳定，且便于维护减少维护成本。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

3、设计一种晶圆切割用的夹具，包括安装机构、承载机构、磁力吸盘和防护机构，所述安装机构用于与激光切割机床连接；

4、所述承载机构与安装机构可拆卸连接，且位于安装机构的上方；

5、所述防护机构包括壳体，所述壳体与承载机构可拆卸连接，且位于承载机构上方；

6、所述磁力吸盘通过锁紧件与承载机构可拆卸连接，所述壳体朝向磁力吸盘开设有容纳槽，所述磁力吸盘位于容纳槽内。

7、可选的，所述承载机构包括承载板，所述承载板的上表面开设有穿线孔，用于磁力吸盘的电线穿出安装，所述承载板的下表面开设有导线槽，所述导线槽与磁力吸盘的电线外表面接触。

8、可选的，所述锁紧件包括限位螺栓，所述磁力吸盘的上表面通过开设的沉头通孔与限位螺栓滑动连接，所述承载板的上表面通过开设的螺纹孔与限位螺栓穿出磁力吸盘的外表面螺纹连接。

9、可选的，所述容纳槽与磁力吸盘的轮廓相匹配，且所述磁力吸盘的上表面与容纳槽的内顶壁接触连接。

10、可选的，所述锁紧件包括撑杆、压板和螺纹杆，所述撑杆的上表面通过开设的螺纹孔与螺纹杆螺纹连接，所述压板的上表面通过开设的通孔滑动连接在螺纹杆的上表面且位于撑杆的上方，所述螺纹杆的上表面固定连接有顶块。

11、可选的，所述撑杆固定连接在承载板的上表面，所述撑杆的上表面与压板的下表面接触连接，所述压板的上表面与顶块的下表面接触连接，所述压板下表面且位于撑杆的一侧与磁力吸盘的上表面接触连接。

12、可选的，所述安装机构包括横板，所述横板的上表面开设有收纳槽，所述收纳槽与导线槽的宽度相同，且所述收纳槽的槽底与磁力吸盘的电线外表面接触连接，所述收纳槽与导线槽配合对磁力吸盘的电线外表面进行夹持。

13、可选的，所述横板的下表面通过开设的通孔滑动连接有止动螺栓，所述承载板的上表面通过开设的通孔与止动螺栓穿出横板的外表面滑动连接，所述壳体的外表面固定连接有拼接耳，所述拼接耳的表面通过开设的通孔与止动螺栓穿出承载板的外表面滑动连接，所述止动螺栓穿出拼接耳的外表面螺纹连接有止动螺母。

14、与现有技术相比，本实用新型提供具备以下有益效果：

15、该晶圆切割用的夹具通过壳体的设置，在对晶圆切割时，将待切割晶圆放置在壳体上表面承载并调节待切割晶圆的位置，使磁力吸盘通电对待切割晶圆夹持后进行切割，当切割过程中意外产生火花时，通过壳体代替磁力吸盘受损，可在切割结束后将壳体拆卸替换，壳体较磁力吸盘造价成本更低，减少使用时维护的成本，同时通过可拆卸的设置，方便更换壳体的同时也便于对磁力吸盘老化情况进行维修，使磁力夹具的吸附力保持契合使用时的情况。

技术特征：

1.一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：包括安装机构、承载机构、磁力吸盘（1）和防护机构，所述安装机构用于与激光切割机床连接；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述承载机构包括承载板（4），所述承载板（4）的上表面开设有穿线孔（5），用于磁力吸盘（1）的电线穿出安装，所述承载板（4）的下表面开设有导线槽（6），所述导线槽（6）与磁力吸盘（1）的电线外表面接触。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述锁紧件包括限位螺栓（7），所述磁力吸盘（1）的上表面通过开设的沉头通孔与限位螺栓（7）滑动连接，所述承载板（4）的上表面通过开设的螺纹孔与限位螺栓（7）穿出磁力吸盘（1）的外表面螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述容纳槽（3）与磁力吸盘（1）的轮廓相匹配，且所述磁力吸盘（1）的上表面与容纳槽（3）的内顶壁接触连接。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述锁紧件包括撑杆（8）、压板（9）和螺纹杆（10），所述撑杆（8）的上表面通过开设的螺纹孔与螺纹杆（10）螺纹连接，所述压板（9）的上表面通过开设的通孔滑动连接在螺纹杆（10）的上表面且位于撑杆（8）的上方，所述螺纹杆（10）的上表面固定连接有顶块（11）。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述撑杆（8）固定连接在承载板（4）的上表面，所述撑杆（8）的上表面与压板（9）的下表面接触连接，所述压板（9）的上表面与顶块（11）的下表面接触连接，所述压板（9）下表面且位于撑杆（8）的一侧与磁力吸盘（1）的上表面接触连接。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述安装机构包括横板（12），所述横板（12）的上表面开设有收纳槽（13），所述收纳槽（13）与导线槽（6）的宽度相同，且所述收纳槽（13）的槽底与磁力吸盘（1）的电线外表面接触连接，所述收纳槽（13）与导线槽（6）配合对磁力吸盘（1）的电线外表面进行夹持。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述横板（12）的下表面通过开设的通孔滑动连接有止动螺栓（14），所述承载板（4）的上表面通过开设的通孔与止动螺栓（14）穿出横板（12）的外表面滑动连接，所述壳体（2）的外表面固定连接有拼接耳（15），所述拼接耳（15）的表面通过开设的通孔与止动螺栓（14）穿出承载板（4）的外表面滑动连接，所述止动螺栓（14）穿出拼接耳（15）的外表面螺纹连接有止动螺母。

技术总结
本技术涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆切割用的夹具，包括安装机构、承载机构、磁力吸盘和防护机构，所述安装机构用于与激光切割机床连接；所述承载机构与安装机构可拆卸连接，且位于安装机构的上方。该晶圆切割用的夹具通过壳体的设置，在对晶圆切割时，将待切割晶圆放置在壳体上表面承载并调节待切割晶圆的位置，使磁力吸盘通电对待切割晶圆夹持后进行切割，当切割过程中意外产生火花时，通过壳体代替磁力吸盘受损，可在切割结束后将壳体拆卸替换，壳体较磁力吸盘造价成本更低，减少使用时维护的成本，同时通过可拆卸的设置，方便更换壳体的同时也便于对磁力吸盘老化情况进行维修，使磁力夹具的吸附力保持契合使用时的情况。

技术研发人员：冯毅
受保护的技术使用者：深圳中科系统集成技术有限公司
技术研发日：20230824
技术公布日：2024/3/27