专利名称：利用等离子技术的高分子中和膜制造设备及其制造方法
技术领域：
本发明涉及利用等离子技术的高分子中和膜制造设备的形成及其方法。
如图1所示，已有技术利用直流电源发生的等离子技术，在工程容器内连续移动的铝型材表面上附着高分子中和膜的已有技术高分子中和膜制造设备。如图所示，利用以前等离子技术的高分子中和膜形成设备是在工程容器内部维持一定的间隙并固定了上、下部放电电极2、3。在工程容器1一侧的卷板装置容器6内安置了卷板装置5，卷板装置5上卷着的铝板4，是空调机用热交换器散热板。在工程容器1另一侧的卷板装置容器8内安置了卷板装置7，重新卷上通过工程容器1上部放电电极2和下部放电电极3之间而形成的等离子附着铝板4。在卷板装置5的出口部和卷板装置8的入口部设置了一对输送轮15，用以输送铝板4。在工程容器1的下部一侧为注入工程气体设置了气体注入通道11，另一侧设置了气体排出通道12，用于排出反应后的气体。其气体排出通道12上又设置了泵13，使工程容器1内部形成真空状态。此外设置了直流电源14，向上、下部放电电极2、3及铝板4供给直流电。上、下部放电电极2、3连接在直流电源14的负极成为阴极，输送轮15连接在正极与其相接触的铝板4成为阳极。用于旋转卷板装置5、7的电机。
构成的高分子中和膜形成设备，电源接通后通过电机的驱动卷板装置5向逆时针方向旋转而卷板装置7向顺时针方向旋转，从而卷在卷板装置5上的铝板4，经过设置在工程容器1内部的上部放电电极2和下部放电电极3之间并连续卷在卷板装置7上。通过气体注入通道11向工程容器1内部注入工程气体同时向上、下部放电电极2、3和铝板4上接通电源14，使上、下部放电电极2、3和铝板4之间形成等离子放电。从而电离工程气体，在连续移动的铝板4表面上形成连续的高分子中和膜。已有技术直流等离子中和膜设备通过等离子放电，电离工程气体而产生的离子中阳离子比阴离子更影响附着作用。从而阳离子更多地附着上、下部放电电极上限制了附着效率的提高。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是提供一种等离子技术的金属表面附着高分子中和膜的专用设备，包括工程容器1及内部的上部放电电极2和下部放电电极3，在上部放电电极2和下部放电电极3的外侧，分别设置了上部对应电极9和下部对应电极10，其上部对应电极9和下部对应电极10连接在直流电源14的正极成为阳极。
在一个优选方式中，以工程容器1内部加工的铝板4为中心，上部放电电极2和下部放电电极3保持40毫米间隙。
在另一个优选方式中，上部放电电极2和上部对应电极9之间间隙维持到70至130毫米，下部放电电极3和下部对应电极10之间间隙维持到70至130毫米。
提供一种利用直流等离子技术在金属表面附着高分子中和膜的制造方法为在工程容器1内安置阳极铝板4，铝板4的上、下部安置了阴极上部放电电极2、下部放电电极3和阳极上部对应电极9、下部对应电极10，工程容器1内部压力维持真空状态，工程容器1内部注入碳氢化气体，阳极和阴极之间相加0.5至2A的直流电使碳氢化气体电离，在铝板4的表面形成具有亲水性的高分子中和膜。
本发明的有益效果是本发明中具备了上、下部放电电极的外侧成为阳极的对应电极，除铝板本身附着外，移动到上、下部放电电极的阳离子的一部分也附着到铝板上，增大附着效率。
图1为利用以前等离子技术的高分子中和膜形成设备的纵剖面图，图2为依本发明利用等离子技术的高分子中和膜形成设备的纵剖面图，图3是在本发明中为了说明电源引入方法的示意图，图中主要部分的文字说明1工程容器2上部放电电极3下部放电电极4铝板5卷板装置6卷板装置容器7另一侧卷板装置 8另一侧卷板装置容器
9上部对应电极10下部对应电极11气体注入通道 12气体排出通道13泵 14直流电源15输送轮1具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式
对本发明利用等离子技术的高分子中和膜设备的及其方法作进一步详细说明图2是依本发明利用等离子技术的高分子中和膜形成设备的纵断面图，图上所示工程容器1一侧连接了卷板装置容器2，另一侧也连接了卷板装置容器3，在卷板装置容器2内部安置了卷板装置5并其卷板装置上卷上铝板4，即空调机用热交换器散热板。在卷板装置容器3内部也安置了卷板装置6，其目的是重新卷上通过工程容器1的铝板4，工程容器1内部安置了以通过工程容器1内部的铝板4为中心，上、下40毫米间隙的向上、下部放电电极7、8，其上、下部放电电极7、8的外侧安置了一定间距的上、下部对应电极9、10，在工程容器1的下部一侧设置了气体注入通道11，用于注入工程气体，另一侧设置了气体排出通道12，用于排出反应后的气体，其气体排出通道12上又设置了泵13，目的是使工程容器1内部形成真空状态，此外在工程容器1的外部设置了直流电源14，如图所示，铝板4和上、下部对应电极9、10连接在直流电源14的正极成为阳极，上、下部放电电极2、3连接在直流电源14的负极成为阴极。
利用本发明中等离子技术在金属表面附着高分子中和膜的方法是，先电源接通后通过电机的驱动卷板装置5向逆时针方向旋转而卷板装置7向顺时针方向旋转，从而卷在卷板装置5上的铝板4，经过设置在工程容器1内部的上部放电电极2和下部放电电极3之间并连续卷在卷板装置7上。此时铝板4和上、下部放电电极2、3之间间隙应维持到40毫米以下，而上部放电电极2和上部对应电极9之间间隙维持到70至130毫米，下部放电电极3和下部对应电极10之间间隙维持到70至130毫米。以上状态下利用泵13使工程容器1内部变成真空状态，通过气体注入通道11向工程容器1内部注入压力的碳氢化气体同时上、下部对应电极9、10和铝板4以及上、下部放电电极2、3之间相加0.5至2A的直流电使上、下部放电电极2、3和铝板4形成等离子放电，上、下部放电电极2、3和上、下部对应电极9、10之间也形成等离子放电。使碳氢化气体电离，在连续移动的铝板4的表面形成具有亲水性的高分子中和膜。即高分子中和膜的附着既通过上、下部放电电极2、3和铝板4等离子放电形成，又通过上、下部放电电极2、3和上、下部对应电极9、10之间形成等离子放电，使移动到阴极上、下部放电电极2、3上的阳离子影响铝板4附着，从而提高附着效率。
通过HMDS技术在铝板表面附着耐蚀性薄膜，或者利用原理提高附着效率的各种高分子薄膜方面同样具有应用性。
即使不把铝板输送到工程容器内部，在固定的状态下，通过电极配置及电源也可以达到同样的效果。
利用等离子技术形成的高分子中和膜设备及其方法，设置在工程容器内部的上、下部放电电极的外侧，安置了上、下部对应电极并和铝板一起连接在直流电源的正极使其成为阳极。同时把上、下部放电电极连接在直流电源的负极使其成为阴极既通过上、下部放电电极和铝板等离子放电形成，又通过上、下部放电电极和上、下部对应电极之间形成等离子放电，使移动到阴极上、下部放电电极上的阳离子增加铝板附着，从而提高附着效率。
权利要求
1.一种利用等离子技术的高分子中和膜制造设备，包括工程容器(1)及其内部的上部放电电极(2)和下部放电电极(3)和直流电源(14)，其特征是在所述上部放电电极(2)和下部放电电极(3)的外侧，分别设置了上部对应电极(9)和下部对应电极(10)，上部对应电极(9)和下部对应电极(10)连接在直流电源(14)的正极上。
2.根据权利要求1所述的利用等离子技术的高分子中和膜制造设备，其特征是所述工程容器(1)内部加工的铝板(4)为中心，上部放电电极(2)与下部放电电极(3)保持40毫米间隙。
3.根据权利要求1所述的利用等离子技术的高分子中和膜制造设备，其特征是所述上部放电电极(2)和上部对应电极(9)之间间隙维持到70至130毫米，下部放电电极(3)和下部对应电极(10)之间间隙维持到70至130毫米。
4.利用利用等离子技术的高分子中和膜制造方法，其特征是在工程容器(1)内先安置阳极铝板(4)，铝板(4)的上、下部安装阴极上部放电电极(2)、下部放电电极(3)和阳极上部对应电极(9)、下部对应电极(10)，然后将工程容器(1)内部压力维持到真空状态，工程容器(1)内部再注入碳氢化气体，阳极和阴极之间加上0.5至2A的直流电，碳氢化气体电离，就会在铝板(4)的表面形成具有亲水性的高分子中和膜。
全文摘要
本发明公开了一种利用等离子技术的高分子中和膜的制造设备，在工程容器内部上、下部放电电极的外侧，设置了上、下部对应电极，其上、下部对应电极连接在直流电源的正极。在一个优选方式中，以工程容器内部的铝板为中心，上、下部放电电极保持40毫米间隙。在另一个优选方式中，上、下部放电电极和上、下部对应电极之间间隙应维持到70至130毫米。本发明也公开了利用等离子技术的高分子中和膜的方法，工程容器内安置阳极铝板，铝板的上、下部安置了阴极上、下部放电电极和阳极上、下部对应电极，工程容器内部压力维持真空状态后注入碳氢化气体，阳极和阴极之间相加0.5至2A的直流电使碳氢化气体电离，在铝板的表面形成具有亲水性高分子中和膜。
文档编号C23C16/50GK1473958SQ0212577
公开日2004年2月11日 申请日期2002年8月19日 优先权日2002年8月19日
发明者曺川寿, 李铉旭, 郑永万, 川寿 申请人:乐金电子(天津)电器有限公司