专利名称：镀膜夹具及其镀膜载盘的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种镀膜夹具(jig)，特别是有关于一种具有环形波浪状镀膜载盘的镀膜夹具。
背景技术：
由于现行的精密铣刀及钻头产品使用量随着各类精密机械加工产业的发展而快速增加，为能够符合经济效益需求，其品质及特性的提升以及制造成本的降低是必须的。而传统镀膜夹具的设计方式基本上无法有效运用镀膜空间；使得镀膜腔体中的工件摆置数量无法达到更具竞争力的经济效益；造成工件镀膜成本相当庞大而且昂贵。并且因工件摆置方式不正确，背离镀膜靶材区的工件表面可能会因粒子的能量不足，而造成薄膜沉积不均匀现象。
台湾专利第538975号揭露一种镀膜夹具，如图1a、1b、1c所示，镀膜夹具10是呈伞状的构造，在其圆锥面12上设有多个放置孔14，待镀膜的工件5可插在放置孔14中，仅露出待镀膜的部分即可。由于靶材(未图标)是从镀膜夹具10的两侧溅射而出，因此对于溅射的靶材而言，较接近靶材的工件会遮蔽离靶材较远的工件，造成较接近靶材的工件与较远离靶材的工件相对会具有不同的镀膜厚度，因此会造成镀膜厚度的不均，而且工件的排列方式也无法有效运用镀膜空间。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种镀膜夹具，可以更快速及简便的排列工件产品，除了在有限的镀膜区域中可以大量提升镀膜工件的数量外，并且易于控制依此高密度排列装置的镀膜工件维持良好的镀膜品质及其均匀性。
为了实现本发明的目的提供了一种镀膜载盘，其包括一盘体，该盘体的表面是形成一波浪状的构造，待镀的工件是置于该盘体表面上波浪状构造的凹处。
本发明的镀膜夹具的一较佳实施例包括多个镀膜载盘，该等镀膜载盘可经由组装而形成一直立式的堆栈，每一镀膜载盘具有一盘体，在盘体的表面形成一波浪状的构造，且盘体与水平面具有一既定的倾斜角，待镀的工件是置于盘体表面上的波浪状构造的凹处。
在上述的较佳实施例中，每一镀膜载盘更具有一凸缘，从其内例圆周向外延伸并与盘体呈一既定的角度。在凸缘的外侧形成一直径较小的缩颈部并在凸缘的内侧形成一肩部，通过一镀膜载盘的缩颈部结合于另一镀膜载盘的肩部，多个镀膜载盘可通过此组合方式而形成一直立式的堆栈。
本发明所述的镀膜载盘，该盘体与水平面的倾斜角是大于或等于0度且小于或等于75度。
本发明所述的镀膜载盘，该盘体呈多边对称形。
本发明所述的镀膜载盘，该盘体呈环状，具有一内侧圆周以及一外侧圆周。
为了让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合所附图标，作详细说明如下。
图1a为习知的镀膜夹具的立体图。
图1b为图1a的俯视图。
图1c为图1a的侧剖视图。
图2a为本发明的镀膜夹具的镀膜载盘的立体图。
图2b为图2a的剖视图。
图3为多个镀膜载盘堆栈成一圆柱形的镀膜夹具的示意图。
图4为本发明的镀膜载盘的俯视图。
图5为本发明的镀膜载盘组合成圆柱形的镀膜夹具的实体照片。
图6为本发明的镀膜夹具装载工件的实体照片。
具体实施例方式
图2a为本发明的镀膜夹具中一镀膜载盘的立体图。图2b为图2a的剖视图。镀膜载盘20包括一盘体22以及一凸缘24。盘体22呈环形，在盘体22的表面上形成波浪状，而且盘体22是向上方倾斜，而与水平面具有一倾斜角，在本实施例中，倾斜角为0度至75度之间，最佳的倾斜角为15～30度。凸缘24是从盘体22的内圆周侧向上方延伸，而与盘体22具有一既定的角度。凸缘24顶部的外侧形成一颈缩部26，凸缘24的内侧形成一肩部28，通过一镀膜载盘20的颈缩部26卡合于另一镀膜载盘20的肩部28，多个镀膜载盘20可组合成一直立的圆柱形堆栈，如图3所示，工件5则置于盘体22波浪状结构的凹处，如此通过改变盘体22的内外径以及波浪状结构的尺寸大小，可以适用于各种尺寸的柱形(如棒状或是长条状等)工件的待镀膜组件，此外通过改变波浪状结构的波浪数目，使夹持于该盘体上的待镀膜组件增加，进而提升镀膜的效率。
本发明的镀膜夹具同时兼具了以下多项功能和特色1.组合式工件载盘的设计方式每个镀膜载盘可以单独承载工件，装载完毕后再予以组合成一圆柱形立体夹具。
2.单一平面式载盘设计可以更直接、快速及简便的排列钻头或铣刀工件产品。
3.镀膜载盘使用圆形结构设计具有最高的对称几何形状，并且使工件成放射状排列，如此镀膜工件的排列也会具有高度的对称性，有助于镀膜工件产品在镀膜腔体内获得较佳的镀膜厚度均匀性及表面品质一致性的控制。
4.组合式镀膜载盘的设计方式可以垂直堆栈，将镀膜腔体有限空间作最大的应用。
5.使用本创作设计的镀膜载盘所镀制的工件产品在与载盘接触的非应用区域也会产生镀膜，由于夹具阻隔作用此非应用区域与应用区域会有色差产生，但是并不会影响应用的刃端镀膜品质。
6.放置在载盘上的工件上方的镀膜与未镀膜区由于是悬空面，因此镀膜离子仍能有部分游离至较深入载盘内侧的工件表面，造成此部分区域的工件表面的镀膜与未镀膜区隔色差并不明显。
图4为本发明的镀膜载盘的俯视图。图5为本发明的镀膜载盘组合成圆柱形的镀膜夹具的实体照片。图6为本发明的镀膜夹具装载工件的实体照片。工件先分别装载于镀膜载盘中，再将各镀膜载盘重叠成圆柱状，如此来自两旁溅射的靶材，可以对各载盘上的工件做均匀的溅镀。
以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。
附图中符号的简单说明如下10镀膜夹具；12圆锥面；14放置孔；20镀膜载盘；
22盘体；24凸缘；26颈缩部；28肩部。
权利要求
1.一种镀膜载盘，包括一盘体，该盘体的表面是形成一波浪状的构造，待镀的工件是置于该盘体表面上波浪状构造的凹处。
2.根据权利要求1所述的镀膜载盘，其特征在于，该盘体与水平面具有一既定的倾斜角。
3.根据权利要求2所述的镀膜载盘，其特征在于，该倾斜角是大于或等于0度且小于或等于75度。
4.根据权利要求1所述的镀膜载盘，其特征在于，该盘体呈多边对称形。
5.根据权利要求1所述的镀膜载盘，其特征在于，该盘体呈环状，具有一内侧圆周以及一外侧圆周。
6.根据权利要求5所述的镀膜载盘，其特征在于，其更包括一凸缘，从该内侧圆周向外延伸并与该盘体呈一既定的角度。
7.根据权利要求6所述的镀膜载盘，其特征在于，在该凸缘的外侧形成一直径较小的缩颈部并在该凸缘的内侧形成一肩部，通过一镀膜载盘的缩颈部结合于另一镀膜载盘的肩部，多个镀膜载盘形成一直立式的堆栈。
8.一种镀膜夹具，包括多个镀膜载盘，该多个镀膜载盘形成一直立式的堆栈，每一镀膜载盘具有一盘体，在该盘体的表面形成一波浪状的构造，待镀的工件是置于该盘体表面上波浪状构造的凹处。
9.根据权利要求8所述的镀膜夹具，其特征在于，该盘体呈环状，并具有一内侧圆周以及一外侧圆周。
10.根据权利要求9所述的镀膜夹具，其特征在于，该每一镀膜载盘更具有一凸缘，从该内侧圆周向外延伸并与该盘体呈一既定的角度。
11.根据权利要求10所述的镀膜夹具，其特征在于，在该凸缘的外侧形成一直径较小的缩颈部并在该凸缘的内侧形成一肩部，通过一镀膜载盘的缩颈部结合于另一镀膜载盘的肩部，多个镀膜载盘形成一直立式的堆栈。
12.根据权利要求8所述的镀膜夹具，其特征在于，该盘体呈多边对称形。
13.根据权利要求8所述的镀膜夹具，其特征在于，该盘体与水平面具有一既定的倾斜角。
14.根据权利要求13所述的镀膜夹具，其特征在于，该倾斜角是大于或等于0度且小于或等于75度。
全文摘要
一种镀膜夹具及其镀膜载盘，该镀膜夹具包括多个镀膜载盘，该等镀膜载盘可独立使用或形成一直立式的堆栈，每一载盘具有一盘体，在盘体的表面形成一波浪状的构造，且盘体与水平面具有一既定的倾斜角，待镀的工件是置于盘体表面上波浪状构造的凹处。通过该镀膜夹具，可以在有限的镀膜区域中大量提升镀膜工件的数量，并且维持良好的镀膜品质及其均匀性。
文档编号C23C14/34GK1990904SQ20051013741
公开日2007年7月4日 申请日期2005年12月30日 优先权日2005年12月30日
发明者吕明生, 施进德, 吴清勋 申请人:财团法人工业技术研究院