专利名称：激光提炼装置及激光提炼方法
技术领域：
本发明涉及一种激光提炼装置及激光提炼方法，尤其涉及一种无需利用电或者化石燃料的燃烧进行加热，即可实现局部超高温，从而高效率地分解金属化合物，且能够实现金属的分离、提炼的激光提炼装置以及激光提炼方法。
背景技术：
专利文献1公开了一种由本申请的发明人提出的有效使用可再生能源，在回收反应能量的同时生成氢气的氢生成装置。该氢生成装置包括保持金属元素的反应容器；用于向所述反应容器供给水的贮水槽；加热所述金属元素和所述水接触的部分而加热所述金属元素的激光器；回收由所述金属元素和所述水的反应生成的氢气和反应能量的氢输出管。专利文献1 日本特开2007-145686号公报
发明内容
技术问题众所周知，对于金属氧化物等的氧化化合物，使用激光等手段将温度提高到其氧化化合物的沸点以上时，金属氧化物中金属和氧之间的化学结合会被断开。不过，对于金属氧化物仅照射激光时，化学结合被断开之后的金属在升华之后若与空气中的氧等接触，则与该氧重新结合，再次成为金属氧化物。但是，为避免这种现象而在从金属氧化物提取的金属与空气中的氧结合之前收集金属的操作却难以实现。因此，本发明的目的在于从氧化化合物中有效地收集氧以外的蒸发物。技术方案为了解决上述问题，本发明的激光提炼装置，具备放置氧化化合物的、设置于处理室内的载物台；对于放置在所述载物台的氧化化合物，以提供该氧化化合物的沸点以上的温度为条件而照射激光的照射单元；使根据由所述照射单元照射的激光而蒸发的非氧蒸发物附着的附着载体。在此，本说明书中使用的“提炼”不限于狭义的从粗金属中去除杂质从而得到纯度高的物质的含义，而是从广义上表示的从各种金属氧化物中去除氧，以及从氧化硅中去除氧的含义。而且，作为金属氧化物的例子，有氧化铁、氧化镁、氧化铝，氧化铜，氧化钛等。还可具备朝所述处理室内导入氮气、氩气、氦气、氖气、非活性气体等的导入单元， 以防止所述非氧蒸发物变成氧化化合物。并且，代替这些，或者在此基础上使所述附着载体位于能够使所述非氧蒸发物在变成氧化化合物之前附着于所述附着载体的位置。并且，优选为具备使所述氧化化合物的激光照射位置和所述附着载体保持预定距离的保持单元。这是为了防止通过激光照射而产生蒸发物，其结果氧化化合物的体积变小， 从而照射到氧化化合物的激光的焦距产生变化。据此，对于氧化化合物可以准确地施加其沸点以上的温度。
并且，优选为具备使所述氧化化合物和所述附着载体相对移动的移动单元。这种方式，可以防止附着载体中的非氧蒸发物变成氧化化合物。所述激光可以是利用包含太阳光的能源的固体激光、气体激光或者半导体激光。 据此，实现由太阳光或自然能源生成的激光，而无需使用源自化石燃料的电源，因此可以进行绿色环保的新概念的提炼。并且，为了增大蒸发物的收集量，优选使用多个激光照射装置，并使各个激光照射氧化化合物的不同的位置。除所述附着载体以外，具备使从所述氧化化合物蒸发的氧蒸发物附着的氧用附着载体。具体来讲，作为附着载体和氧用附着载体分别使用阴极电极和阳极电极，通过将其连接到电源等而产生电场，从而使蒸发物附着在附着载体上，使氧附着在氧用附着载体上。S卩，例如作为氧化化合物选择氧化镁(MgO)时，若朝该氧化镁照射所需激光，则会产生Mg+和0_，因此对于这些的产生空间施加如上的电场时，Mg+被吸引到作为附着载体的阴极电极，0_被吸引到作为氧用附着载体的阳极电极。不过，也可通过产生磁场来代替电场，从而有效地收集蒸发物。并且，作为所述附着载体，可使用由与所述非氧蒸发物相同的元素构成的物体。例如，附着载体由镁板形成，且氧化化合物为氧化镁的情况。据此，通过在该物体上附着相同元素的蒸发物，可以增加其体积和重量。并且，本发明的激光提炼方法为，对放置在处理室内的载物台上的氧化化合物，以提供该氧化化合物的沸点以上的温度为条件，照射激光，以取得蒸发的非氧蒸发物的方法。
图1是本发明实施方式一的激光提炼装置的模式构成图；图2是本发明实施方式二的激光提炼装置的模式构成图；图3是本发明实施方式三的激光提炼装置的模式构成图；图4是本发明实施方式四的激光提炼装置的模式构成图；图5是检查图1等的激光提炼装置的附着载体4的附着物成分的检查装置的模式图；图6是示出碳和氧化镁的摩尔比与还原效率以及能源效率之间的关系的图表；图7是示出硅和氧化镁的摩尔比与还原效率以及能源效率之间的关系的图表；图8是示出改变图1的处理室1内的压强时所测到的还原效率以及能源效率的变化的测定结果的图表；图9是示出根据图4所示的激光提炼装置的实验结果的图表；图10是本发明实施方式五的激光提炼装置的模式构成图。符号说明1为处理室，2为入射窗，3为反射镜，4为附着载体，5为容器，7为捕集单元，9为透镜阵列。
具体实施例方式以下，参照附图来说明本发明的实施方式。另外，对于各图，相同的部分采用相同的符号。
(实施方式一)图1是本发明实施方式一的激光提炼装置的模式构成图。图1中示出有通常被称为腔室(chamber)的处理室1。处理室1安装有排气泵P，以执行处理室1内的排气。而且， 处理室1中设有未图示的气体导入管，可以向处理室1中导入氮气、氩气、氦气、氖气或非活性气体。并且，处理室1中设有放置着例如圆筒状的容器5的载物台21。容器5容纳有各种金属氧化物或者氧化硅等的氧化化合物。氧化化合物的性质不受限制，例如可以是固体状的物质，也可以是粉末状的物质。本实施方式中，作为氧化化合物采用粉末状的氧化镁。另外，载物台21安装有能使载物台21旋转或者能使载物台21升降的电机M。载物台21的旋转是为了使激光分散地照射到氧化化合物而进行的处理。载物台21的升降是为了使激光以相同的光斑直径照射到氧化化合物而进行的处理。从而，应该知晓这些处理不是非实施不可的。在容器5的上方，隔着预定距离S配置有可以附着氧化化合物的蒸发物的附着载体4。本实施方式中，蒸发物在其冷却过程中，通过碰撞到附着载体4而附着在附着载体4 上。另外，在图1中示出附着载体4为板状的实施例，但是如同后面叙述的实施方式， 可采用各种形状的附着载体4。并且，附着载体4可采用任何材料，只要该材料满足不会因附着在该附着载体4的蒸发物的热量而熔解的耐热条件即可。在本实施方式中，附着载体 4使用铜板。而且，附着载体4形成有不遮挡从激光照射装置L照射的激光的孔22。在图1中， 孔22的形成角度与激光平行，但是不局限于该角度，只要激光能到达容器5内的氧化化合物即可。在此，预定距离S为，例如作为氧化化合物采用氧化镁时，能够在从容器5内的氧化镁升华的氧蒸发物和作为非氧蒸发物的镁蒸发物互相接触或者镁蒸发物与残留在处理室1内的空气中的氧接触而导致镁蒸发物再氧化变成氧化化合物之前，使镁蒸发物附着在附着载体4的距离。如果用具体例子表示的话，在通过泵P将处理室1内变成约为6 的真空度，且作为氧化化合物采用氧化镁，附着载体4的材料采用铜时，预定距离S例如可以为5mm至15mm 左右。在实际的实验中，只要预定距离S在25mm以下，则非氧蒸发物即可附着于附着载体 4上。预定距离S在约7mm至约14mm的范围时，能得到预定距离S为约5mm时的两倍以上的效果。并且，预定距离S在约8mm至约12mm的范围时，能得到预定距离S为约5mm时的 2. 5倍以上的效果。另外，处理室1内的氧残余量越少，则预定距离S可相对更长。举一个极端的例子， 通过在处理室1内导入非活性气体或者将处理室1内的压强变低，从而将处理室1内的氧残余量变成极少时，处理室1的内壁可兼用为附着载体。并且，根据情况，通过泵P的排气， 蒸发物附着于安装在处理室1的泵P的周围。并且，处理室1的上部设有已知的入射窗2，该入射窗2用于将从激光照射装置L 照射的激光引入到处理室1内。而且，激光的光路上设有反射镜3，该反射镜3使从激光照射装置L照射的激光的前进路线变为朝向入射窗2。
并且，至少激光照射装置L与反射镜3之间，可使用未图示的光纤等来进行连接。 同样，反射镜3和入射窗2之间，进一步地，入射窗2与容器5的近处之间也可使用光纤等来进行连接。这样能够抑制到达氧化化合物的激光的光损失。激光照射装置L可使用例如照射数kW的固体激光、气体激光或者半导体激光的照射装置。并且，在后述的各种实验中，使用了照射连续二氧化碳激光的照射装置。在此，可以将激光照射装置L认为是利用包含太阳光的能源的固体激光照射装置、气体激光照射装置或者半导体激光照射装置。这种激光照射装置通过引用而引入本申请说明书，可参考本本申请未公开的、由本申请的发明人提出申请的PCT/2009/57671。激光的kW数以及激光的光斑直径决定给予氧化化合物的温度，因此对这些的选择比较重要。具体地，当用IkW的激光，并且光斑直径大约为2mm时，氧化化合物上的光斑直径形成位置的温度大约是5000°C。由此可知，为了蒸发作为氧化化合物的金属氧化物而有效地分解金属和氧，当使用照射IkW激光的激光照射装置L时，优选为将光斑直径设定为2mm以下。优选地，当使用IkW的激光照射装置L时，若将光斑直径设成2mm以下，则在激光照射位置的金属氧化物容易膨胀，并且之后能够急速冷却蒸发物，从而可防止金属再氧化。并且，例如使用IkW的激光照射装置，并且将光斑直径设定为Imm时，可将位于激光照射位置的金属氧化物膨胀至1cm，且使蒸发物迅速冷却到100°C以下的温度。并且，通过使激光的kW数除以激光的光斑面积的值维持一定水平，可使氧化化合物在光斑直径的形成位置的温度大致相同。因此，例如当使用4kW的激光时，光斑直径约为 4mm艮阿。而且，作为氧化化合物，选择粉末状的金属氧化物时，在金属氧化物中混合碳或者硅等还原剂，例如混合10%至30%左右，则还原剂吸收并结合氧蒸发物，从而使金属蒸发物难以与氧蒸发物进行再结合。另外，针对在粉末状的金属氧化物混合还原剂，本申请的发明人发现了能够有效地取得还原剂，并且能够将该还原剂混合到金属氧化物的方法。对于此点，在其他实施方式中进行描述。(实施方式二)图2是本发明实施方式二的激光提炼装置的模式构成图。图2相对于图1，公开了以下几点进行变形的激光提炼装置。(1)将附着载体4的形状从一个板状的物体变更为两个圆盘状的物体，(2)圆盘状的附着载体4能够旋转，随之设有与附着载体4连接的电机Ml。在此重要的一点是，附着载体4能够旋转，因此可以防止在附着载体4上的非氧蒸发物因被氧蒸发物等再氧化而变成氧化化合物。如上所述，氧化化合物通过照射所需的激光，同时产生氧蒸发物和非氧蒸发物。在此，非氧蒸发物附着于附着载体4之后，继续产生氧蒸发物，因此若非氧蒸发物和氧蒸发物发生接触等，则已经附着的蒸发物可能会被氧化。为了防止此现象，想到了避免已经附着的蒸发物和氧蒸发物进行接触。因此，在本实施方式中，旋转附着载体4，从而使已经附着的蒸发物的位置远离氧蒸发物。附着载体4 的旋转速度根据激光强度而决定，在实施方式一的条件下，例如可以是Irpm至20rpm左右。
(实施方式三)图3是本发明实施方式三的激光提炼装置的模式构成图。图3相对于图1，公开了以下几点进行变形的激光提炼装置。(1)设置多个激光照射装置L，(2)伴随多个激光照射装置L的设置，处理室1安装透镜阵列9，该透镜阵列9用于将从各个激光照射装置L照射的激光聚集到容器5内的氧化化合物，(3)将附着载体4变更为能够旋转的圆筒状的部件，(4)伴随采用圆筒状的附着载体4，为使激光照射到氧化化合物，将载物台21设置成能够沿着水平方向移动，(5)设置捕集单元7，用于捕集附着在附着载体4的蒸发物。首先，通过设置多个激光照射装置L，可以增大氧化化合物的蒸发量。因此，图3所示的激光提炼装置相比图1所示的激光提炼装置，蒸发物的收集效率更高。所以，在本实施方式中为了增加附着载体4的蒸发物附着面积，附着载体4采用表面积相对较大的圆筒状部件。并且，当氧化化合物的蒸发量增大时，对于附着载体4来说，附着预定量的蒸发物所需的时间变短。因此，为了不使蒸发物的附着效率低下，在本实施方式中，通过捕集单元 7捕集附着于附着载体4上的蒸发物。捕集单元7的构成不受限制，作为一例，可通过在离圆筒状的附着载体4的表面相隔数mm左右的位置上，设置选择性地具备促使蒸发物冷凝的冷却机构的捕集板而构成。该捕集板设有锐利的端面为好。如此，当蒸发物超过该间隔地附着于附着载体4的表面时，该蒸发物从附着载体4被捕集板刮落，从而可以捕集蒸发物。(实施方式四)图4是本发明实施方式四的激光提炼装置的模式构成图。图4相对于图1，公开了以下几点进行变形的激光提炼装置。(1)作为附着载体，设置阴极电极11b，(2)作为可附着氧蒸发物的氧用附着载体，设置阳极电极11a，(3)为了给各个电极IlaUlb施加电压，设置电源12。例如，作为氧化化合物选择氧化镁(MgO)时，若给氧化镁照射所需的激光，则产生 Mg+蒸发物和0_蒸发物。在本实施方式中，使0_蒸发物积极地附着在阳极电极Ila上，以此防止Mg+蒸发物与处理室1内的残余氧等再结合，从而分别有效地收集非氧蒸发物和氧蒸发物。具体来讲，在容器5的上方设置阳极电极Ila以及阴极电极11b，因此通过开通电源12，在阳极电极Ila和阴极电极lib之间施加电场。其结果，Mg+被吸引到作为附着载体的阴极电极11b，而0_被吸引到作为氧用附着载体的阳极电极11a。并且，有效地收集蒸发物的方法不限于本实施方式等中所说明的方法。例如，可采用施加磁场的方法来代替施加电场的方法。(实施方式五)图10是本发明实施方式五的激光提炼装置的模式构成图。图10相对于图1，公开了以下几点进行变形的激光提炼装置。
(1)设置成使非活性气体等的导入管的前端在容器5的上面附近，(2)相对导入管的前端，在隔着容器5的对面，配置由多个波浪状的板组成的附着载体4。如果通过导入管向容器5内导入非活性气体等的同时，由激光照射装置L照射激光，则氧化化合物的蒸发物因所导入的非活性气体等，前进路线变更为朝向附着载体4。附着载体4由多个波浪状的板构成，因此非活性气体等本身可流过板与板之间。 此时，各板为波浪状，因此形成有凹凸，而氧化化合物的蒸发物与凸部发生碰撞，因此蒸发物附着在附着载体4。并且，图10所示的附着载体4的结构仅仅是示例而已，也可使用如柴油滤清器的结构。不过，使用柴油滤清器时，非活性气体和蒸发物难以通过，因此优选为如波浪状的板一样，包含与蒸发物碰撞的部分和使非活性气体通过的部分的结构。(其他实施方式)如上所述，对于粉末状的金属氧化物混合还原剂时，金属蒸发物和氧蒸发物难以再结合，因此可以提高金属蒸发物的收集效率。在本实施形式中，说明从二氧化硅提取作为还原剂而使用的硅的方法。首先，在实施方式一至五中的任意一个激光提炼装置的容器5内容纳二氧化硅。 对于该二氧化硅，以光斑直径形成位置的温度达到硅沸点2230°C以上(例如2500°C至 30000C )为条件，由激光照射装置L照射激光。其结果，从二氧化硅中分解出氧，从而得到
一氧化硅。接着，将一氧化硅容纳在容器5中。并且对于该一氧化硅，以光斑直径形成位置的温度达到形成硅(Si)的最佳温度930°C附近(例如850°C至1100°C )为条件，由激光照射装置L照射激光。其结果，从一氧化硅中分解出氧，从而得到硅。接着，将硅作为还原剂，混合到金属氧化物，然后通过实施方式一至五中说明的任意方法进行提炼，由此可以有效地收集金属蒸发物。(各种实验结果)以下，说明对本发明的各实施方式的激光提炼装置进行的各种实验结果。图5是检查图1等的激光提炼装置的附着载体4的附着物成分的检查装置的模式图。图5示出有填充稀盐酸溶液15的容器18 ；注入有容器18的冷却水14的装置主体 16 ；覆盖装置主体16的半球状的透明盖19 ；安装在透明盖19的扩散风扇17 ；测量由扩散风扇17送来的气体的成分的测定器13。使用此检查装置，以下述方法检查附着载体4上的附着物成分。首先，将冷却水14 注入到装置主体16，在冷却水14内放置填充有稀盐酸溶液15的容器18。并且，应该知晓容器18的冷却不是必须要执行的操作。在此状态下，将图1等所示的附着载体4投入到填充有稀盐酸溶液15的容器18 内。并且，关闭透明盖19，并旋转扩散风扇17。在此，使用稀盐酸溶液15的理由在于，在实施方式一中作为氧化化合物使用氧化镁，作为附着载体4使用铜板。即，如果在这种条件下使激光提炼装置工作，则产生镁蒸发物，且该镁蒸发物附着在作为附着载体4的铜板上。并且，铜和盐酸不进行反应，但是镁和盐酸进行反应，因此将提炼处理后的附着载体4投入到稀盐酸溶液15时，由铜制成的附着载体4本身不会被溶解，而镁蒸发物被溶解。
所以，通过测量基于被溶解的镁蒸发物的氢的产生量，可以确定出其收集量。因此，填充在检查装置的容器18的溶液不限于稀盐酸溶液15，根据所选的氧化化合物和附着载体4的材料，可作出适当的决定，如硫酸或者硝酸等。对于在实施方式一，镁蒸发物通过与稀盐酸溶液15接触而进行反应，其结果产生氢气。因此，通过旋转扩散风扇17而到达测定器13的气体中包含氢气。测定器13测量气体中的氢气量。由此可以计算镁蒸发物量。图6是示出碳和氧化镁的摩尔比与还原效率以及能源效率之间的关系的图表。在此，作为氧化化合物选择氧化镁，在此混合作为还原剂的碳。图6的横轴表示碳和氧化镁的摩尔比[C MgO = χ 1]，左侧纵轴表示还原效率[mol%]，右侧纵轴表示能源效率[mg/ kj]。另外，用O表示还原效率，用■表示能源效率。此处所说的还原效率表示在作为附着载体4的铜板的附着物中镁的比例。并且， 此处所说的能源效率表示每照射IkJ激光时所生成的镁的量。在本实施方式中进行了如下实验朝处理室1导入氩气且将处理室1内的气压变成大气压的条件下驱动泵，然后测量变更碳和氧化镁的混合摩尔比时的镁蒸发物量，从而调查还原效率以及能源效率的最优条件。首先，说明还原效率的最优条件。如图6所示，当碳和氧化镁的摩尔比为0. 25时， 还原效率不足10 [mol % ]。当碳和氧化镁的的摩尔比为0. 5时，还原效率超过40 [mol % ]。 当碳和氧化镁的摩尔比为1时，还原效率超过60 [mol %]，约为65 [mol % ]。当碳和氧化镁的摩尔比为2时，还原效率降低到55[m0l% ]左右。当碳和氧化镁的摩尔比为3时，还原效率更降低到50[mol% ]左右。从以上结果可知，还原效率的最优条件是，碳和氧化镁的摩尔比为1左右的时候。接着说明能源效率的最优条件。当碳和氧化镁的摩尔比为0. 25时，能源效率在 l[mg/kj]左右。当碳和氧化镁的摩尔比为0.5时，能源效率在略低于5[mg/kj]。当碳和氧化镁的摩尔比为1时，能源效率增加到8 [mg/kj]左右。当碳和氧化镁的摩尔比为2时，能源效率超过9 [mg/kj]。当碳和氧化镁的摩尔比为3时，能源效率降低到5 [mg/kj]左右。从以上结果可知，能源效率的最优条件是，碳和氧化镁的摩尔比为2左右的时候。图7是示出硅和氧化镁的摩尔比与还原效率以及能源效率之间的关系的图表，对应于图6。在此示出选择硅(Si)作为与氧化镁混合的还原剂时的实验结果。除了变更还原剂以外，实验的条件与图6的相关条件相同。实验结果如图7所示，当硅和氧化镁的摩尔比为0. 3时，还原效率为70[mOl% ]， 能源效率为12 [mg/kj]，均得到了最高值。图8是示出改变图1的处理室1内的压强时所测到的还原效率以及能源效率的变化的测定结果的图表。图8的横轴表示气体氛围压强[1 ]，左侧纵轴表示还原效率 [mol%]，右侧纵轴表示能源效率[mg/kj]。另外，空气氛围的能源效率用■表示，氩气氛围的能源效率用□表示，空气氛围的还原效率用〇表示，氩气氛围的还原效率用·表示。根据图8，■在图表中从左到右逐渐下降，由此可知空气氛围下的能源效率随处理室1内的压强增大而下降。同样，〇在图表中从左到右逐渐下降，由此可知空气氛围下的还原效率也随处理室1内的压强增大而下降。这些表示若处理室1内的含氧量变多，则还原效率变低。即，处理室1内的含氧量变多时，蒸发的镁等与氧接触的概率变高，容易再度被氧化，其结果，还原效率以及能源效率这两者都变低。并且，根据图8，即使处理室1内的压强变高，氩气氛围下的能源效率和氩气氛围下的还原效率都能维持高效率。图9是示出根据图4所示的激光提炼装置的实验结果的图。图9的横轴表示通过电源12所施加的电场的强度[V/cm]，左侧纵轴表示还原效率[m0l% ]，右侧纵轴表示能源效率[mg/kj]。另外，能源效率用·表示，总还原效率用〇表示，阴极的还原效率用▲表示， 阳极的还原效率用Δ表示。在此，将处理室1内的压强设成6 至8 左右，对于氧化化合物没有混合还原剂。根据图9，·在图表中从左到右逐渐上升，可知电场越强则能源效率越高。并且，▲和Δ 在图表中从左到右逐渐上升，可知电场越强则阴极以及阳极的还原效率越高。因此，电场越强，总还原效率(用〇表示)也越高。这表明经过实践证实，通过电源12所施加的电场的强度越强，处于离子化状态的氧和镁越容易分别附着在阳极电极Ila和阴极电极lib。产业上的可利用性本发明可在使用激光的提炼装置领域中进行应用。
权利要求
1.一种激光提炼装置，具备放置氧化化合物的、设置于处理室内的载物台；对于放置在所述载物台的氧化化合物，以施加该氧化化合物的沸点以上的温度为条件而照射激光的照射单元；根据由所述照射单元照射的激光而蒸发的非氧蒸发物附着在其上的附着载体。
2.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中具备导入单元，以用于朝所述处理室内导入防止所述非氧蒸发物变成氧化化合物的气体。
3.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中所述附着载体位于，能使所述非氧蒸发物在变成氧化化合物之前附着于所述附着载体的位置。
4.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中所述氧化化合物为金属氧化物或者氧化娃。
5.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中具备使所述氧化化合物的激光照射位置和所述附着载体保持预定距离的保持单元。
6.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中具备使所述氧化化合物和所述附着载体相对移动的移动单元。
7.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中所述激光是利用包含太阳光的能源的固体激光、气体激光或者半导体激光。
8.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中除所述附着载体以外，还具备使从所述氧化化合物蒸发的氧附着的氧用附着载体。
9.根据权利要求1所述的激光提炼装置，其中所述附着载体由与所述非氧蒸发物相同的元素构成。
10.一种激光提炼方法，对放置在处理室内的载物台上的氧化化合物，以施加该氧化化合物的沸点以上的温度为条件照射激光，以取得蒸发的非氧蒸发物。
全文摘要
一种激光提炼装置，具备放置氧化化合物的、设置于处理室内的载物台；对于放置在所述载物台的氧化化合物，以加至该氧化化合物的沸点以上的温度为条件而照射激光的照射单元；使根据由所述照射单元照射的激光而蒸发的非氧蒸发物附着的附着载体；朝所述处理室内导入防止所述非氧蒸发物变成氧化化合物的气体的导入单元。能够控制所述附着载体使其位于能够使所述非氧蒸发物在变成氧化化合物之前附着于所述附着载体的位置，从而从氧化化合物中有效地收集氧以外的蒸发物。
文档编号C22B5/16GK102264927SQ200980153079
公开日2011年11月30日 申请日期2009年10月27日 优先权日2008年10月28日
发明者佐藤雄二, 崔吉乐巴桑达西, 矢部孝 申请人:伊莱特控股有限公司