专利名称：一种准分子激光气配置装置的钝化方法
技术领域：
本发明涉及一种准分子激光气配置装置的钝化方法，特别是一种氟化氩准分子激光气体配置装置的钝化方法。
背景技术：
准分子激光气用于眼科疾病的治疗已经有约三十年的发展历史。各种含F2准分子激光气体种类众多，其中F2气体是组成其中比不可少的成分，是手术时激光的主要能量提供源。我国从90年代初开始进口准分子激光机，国产机型亦于2001年研制成功。但是其昂贵且消耗大量工作气源激光气，激光气基本上依赖进口，虽有少量国产气投放入市场， 但是大多存在能量不稳当，保存期短等不足之处。分析其原因可知，在激光气中，F2含量甚微，并对组成成分误差要求又极为严格。因此在配置过程中，不允许F2的含量有任何变化。 而保证上述要求的关键问题之一，是配置装置需要有极强的抗F2腐蚀能力。众所周知，F是世界上最活泼的元素。几乎可以和所有元素发生反应。目前，常用的金属耐F2腐蚀的方法一般是以N2为基质气体，通入不同F2含量的混合气，让其自发在金属表面形成一层金属氟化膜。这种方法可以满足一般要求。但是，对于F2含量甚微，且需要含量极其稳定的特殊气体，使用上述方法并不能满足需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种抗F2腐蚀能力强，可以使激光输出能量稳定的一种准分子激光气配置装置的钝化方法。本发明提供一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于其包括以下步骤，
步骤一钝化前处理清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；
步骤二 钝化处理在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；
步骤三通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。在上述技术方案的基础上，所述步骤二具体包括以下步骤
A)将准分子激光气配置装置温度保持在40-60°C并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. 2^0. 5MPa、F2的含量为2飞％，其余为He的混合气体， 其中F 2的含量为2飞％，其余为He，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；
B)将准分子激光气配置装置温度保持在-2(T-40°C并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. 2^0. 5MPa、F2的含量为0. 5 1%，其余为He的混合气体，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；
C)将准分子激光气配置装置保持在常温并恒温0. 5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. Γ0. 2MPa、F2的含量为0. 05、. 1%，其余为He的混合气体，恒温恒压M小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置。在上述技术方案的基础上，所述步骤三中通入的N2压力为0. 05MPa。与现有技术相比较，本发明使用分子量小、扩散能力强的He气体替代了现有技术中N2，并且变化了钝化的温度条件，因此，氧化膜的形成稳定而且致密，因渗透程度的增加而坚韧牢固，有效的防治了金属基体的进一步腐蚀。配置的准分子激光器输出能量稳定，能量分布均勻。完全能满眼科手术激光治疗的要求，并且成本低。
图1为本发明一种准分子激光气配置装置的钝化方法示意图；具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。情参考图1，本发明一种准分子激光气配置装置的钝化方法，该方法包括以下步骤
第一步钝化前处理清理配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；具体为清理配置装置中管道内污垢等杂质，再用高纯度的N2吹除，之后密封待用。
步骤二 钝化处理在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；具体分三个步骤
A)将准分子激光气配置装置温度保持在40-60°C并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. 2^0. 5MPa、F2的含量为2飞％，其余为He的混合气体， 其中F 2的含量为2飞％，其余为He，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；
B)将准分子激光气配置装置温度保持在-2(T-4(TC并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. 2^0. 5MPa、F2的含量为0. 5 1%，其余为He的混合气体，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；
C)将准分子激光气配置装置保持在常温并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. Γ0. 2MPa、F2的含量为0. 05、. 1%，其余为He的混合气体，恒温恒压M小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置。最后通入压力为0. 05MPa的N2作为保护气体。密封后待用及完成整个钝化过程。请再次参考图1，本发明准分子激光气配置装置的钝化方法包括控制阀1、10、11、 12、13、14、15、16、17、18、19，压力表2、管线3、真空计4，净化器5以及真空泵6，其中管线3 连接罐装的产品气、F2、Ar、He、Ne。通有N2的管线设有控制阀1。钝化前，关闭控制阀1、 10、12、14、15，F2和He混合气由控制阀11、13进入准分子激光气配置装置，当达到规定量后，关闭控制阀11、13，混合气体被密封在准分子激光气配置装置内。这时，准分子激光气配置装置与外界接触的控制阀1、10关闭。抽真空时，仅开启与真空泵相联的控制阀15、17、 19，其余控制阀10、11、12、13、14、16、18关闭。将装置内部抽成真空。用N2吹除时，仅开启与净化器相联的控制阀15、17、18，其余控制阀10、11、12、13、14、16、19关闭。
本发明使用分子量小扩散能力强的He气体替代了现有技术中N2，并且变化了钝化的温度条件，因此，氧化膜的形成稳定而且致密，因渗透程度的增加而坚韧牢固，有效的防治了金属基体的进一步腐蚀。配置的准分子激光器输出能量稳定，能量分布均勻。完全能满眼科手术激光治疗的要求，并且成本低。本发明不仅局限于上述最佳实施方式，任何人在本发明的启示下都可以得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构及方法上作任何变化，凡是具有与本发明相同或相近似的技术方案，均在其保护的范围内。
权利要求
1.一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于其包括以下步骤，步骤一钝化前处理清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤二 钝化处理在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤三通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。
2.如权利要求1所述的一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于所述步骤二具体包括以下步骤A)将准分子激光气配置装置温度保持在40-60°C并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. 2^0. 5MPa、F2的含量为2 5%，其余为He的混合气体， 恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；B)将准分子激光气配置装置温度保持在-2(T-4(TC并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. 2^0. 5MPa、F2的含量为0. 5 1%，其余为He的混合气体，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；C)将准分子激光气配置装置保持在常温并恒温0.5^1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0. Γ0. 2MPa、F2的含量为0. 05、. 1%，其余为He的混合气体，恒温恒压M小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置。
3.如权利要求1所述的一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于所述步骤三中通入的N2压力为0. 05MPa。
全文摘要
一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于其包括以下步骤，步骤一钝化前处理清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤二钝化处理在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤三通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。使用分子量小扩散能力强的He气体替代了现有技术中N2，并且变化了钝化的温度条件，因此，氧化膜的形成稳定而且致密，因渗透程度的增加而坚韧牢固，有效的防治了金属基体的进一步腐蚀。配置的准分子激光器输出能量稳定，能量分布均匀。完全能满眼科手术激光治疗的要求，并且成本低。
文档编号C23C8/08GK102517540SQ20111042941
公开日2012年6月27日 申请日期2011年12月20日 优先权日2011年12月20日
发明者张智宏, 赵克连, 陈平 申请人:广东华南特种气体研究所有限公司