专利名称：一种用于真空管镀膜的复合真空管工架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空管磁控溅射镀膜机技术领域，尤其是真空管磁控溅射镀膜机的真空管エ架。
背景技术：
镀膜是真空管生产中的关键技术，现有真空管磁控溅射镀膜机多为单机式生产，不能实现连续化镀膜方式，每ー炉真空管都需要经过装管、抽真空、镀膜、放气、拾管过程，然后再进行下ー炉的重复过程，镀膜时间占整个生产过程的60%左右，因此ー炉装管数量决定了生产效率的高低。如图I所示，普通镀膜机真空管エ架2均匀的分布在大转盘I 一周，通过自转轴与大转盘I连接，和大转盘I 一起在真空室5内实现自转、公转动作，而靶材3的消耗在固定 エ艺參数下只与时间有关系，因此在保证质量的前提下如何提高单炉镀管数量是提高生产效率的关键因素。
实用新型内容为了克服上述现有技术存在的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于真空管镀膜的复合真空管エ架，它可提高真空管磁控溅射镀膜机一炉的装管数量，从而提高真空管镀膜效率。为了解决上述问题，本实用新型采用以下技术方案一种用于真空管镀膜的复合真空管エ架，包括安装在主传动轴上的大转盘、与大转盘同轴固装的大齿轮；还包括真空管エ架，所述真空管エ架底端设置ーエ架主轴，该エ架主轴上安装有エ架齿轮；绕所述大转盘的轴线在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘中心处分别固装一根自转轴且同轴安装有小齿轮，所述各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；所述小齿轮与所述大齿轮啮合；与所述小转盘还同轴安装有ニ级传动齿轮；在每个小转盘上方且绕小转盘轴线均布设置至少两个真空管エ架；所述エ架齿轮与所述ニ级传动齿轮啮合；所述エ架主轴通过轴承安装在小转盘上；所述大齿轮与各小齿轮之间的传动比相同；所述ニ级传动齿轮与各エ架齿轮的传动比相同。本实用新型的有益效果是它可提高真空管磁控溅射镀膜机一炉的装管数量，从而提高真空管镀膜效率。从而与现有技术相比能节省生产成本，在同样质量情况下折合单支管节省生产成本超过20% ;生产效率提高约30%。同时，也降低了真空镀膜对真空室操作空间的要求，不需要建更大的真空室，还减少了靶材浪费。
以下结合附图
和实施例对本实用新型做进ー步的说明图I为现有的真空管溅射镀膜机真空室的俯视结构状态示意图；[0013]图2为采用本实用新型复合真空管エ架的真空管溅射镀膜机真空室的俯视结构状态不意图；图3为本实用新型实施例的主视图；图中1大转盘，2真空管エ架，3靶材，5真空室，6复合真空管エ架；7自转轴，8主传动轴，9大齿轮，10エ架主轴，11エ架齿轮，12小转盘，13小齿轮，14 ニ级传动齿轮。
具体实施方式
如图I所示，该用于真空管镀膜的复合真空管エ架，包括安装在主传动轴8上的大转盘I、与大转盘I同轴固装的大齿轮9 ;还包括真空管エ架2，所述真空管エ架2底端设置ーエ架主轴10，该エ架主轴10上安装有エ架齿轮11。绕所述大转盘I的轴线在其上方均布设置多个小转盘12，各小转盘12中心处分别固装一根自转轴7且同轴安装有小齿轮13，所述各自转轴7分别通过轴承安装在大转盘I上；所述小齿轮13与所述大齿轮9啮合；与所述小转盘12还同轴安装有ニ级传动齿轮14。在每个小转盘12上方且绕小转盘12轴线均布设置有四个真空管エ架2 ;所述エ架齿轮11与所述ニ级传动齿轮14啮合；所述エ架主轴10通过轴承安装在小转盘12上。工作时，主传动轴8驱动大转盘I转动，大转盘I通过自转轴7、小转盘12带动各真空管エ架2绕大转盘I的轴线公转。同吋，与大转盘I同轴的大齿轮9驱动小齿轮13转动，小齿轮13带动自转轴7进行自转，安装在同一小转盘12上的真空管エ架2绕该小转盘12的轴线自转。此外，自转轴7进ー步通过ニ级传动齿轮14、エ架齿轮11驱动真空管エ架2进行二次自转。这样增加单个真空镀膜机真空室内的真空管エ架的数量，即增加了毎次镀膜时安装的真空管数量，提高了工作效率；而且不影响镀膜质量，并同时減少了靶材空溅射的时间即减少了靶材的浪费。本实用新型并不仅仅局限于上述实施例，作为其他实施方式两个、三个、五个甚至更多个真空管エ架设置在ー个小转盘上，也能实现发明目的，连接及传动方式与上述方式相同。但优选上述四个真空管エ架的方式。
权利要求1.一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、与大转盘同轴固装的大齿轮；还包括真空管工架，所述真空管工架底端设置一工架主轴，该工架主轴上安装有工架齿轮；其特征是 绕所述大转盘的轴线在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘中心处分别固装一根自转轴且同轴安装有小齿轮，所述各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；所述小齿轮与所述大齿轮啮合；与所述小转盘还同轴安装有二级传动齿轮； 在每个小转盘上方且绕小转盘轴线均布设置至少两个真空管工架；所述工架齿轮与所述二级传动齿轮啮合；所述工架主轴通过轴承安装在小转盘上； 所述大齿轮与各小齿轮之间的传动比相同； 所述二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。
专利摘要一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、及同轴固装的大齿轮、真空管工架及其底端设置的工架主轴，工架主轴上安装工架齿轮；其特征是绕大转盘在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘固装在一自转轴上且同轴安装小齿轮，小齿轮与大齿轮啮合；各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；与小转盘同轴安装二级传动齿轮；在小转盘上方绕其轴线均布设置多个真空管工架；工架齿轮与二级传动齿轮啮合；工架主轴通过轴承安装在小转盘上；大齿轮与各小齿轮的传动比相同；二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。它可提高真空管镀膜效率，节省生产成本，也降低了真空镀膜对真空室操作空间的要求，还减少了靶材浪费。
文档编号C23C14/50GK202390527SQ201120528259
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月16日 优先权日2011年12月16日
发明者于洪文, 何晓倩, 安利娟, 张艳丽, 李宝山, 李春江, 李萍, 陈志朋, 马兵 申请人:山东桑乐太阳能有限公司