专利名称：用ald设备生长氮化镓薄膜的方法
技术领域：
本发明涉及氮化镓材料的制备，具体涉及一种用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法。
背景技术：
GaN材料的研究与应用是目前半导体研究的前沿和热点，是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料，是LED产业发展的基础。GaN材料具有宽的直接带隙，高的热导率和击穿电场，介电常数小，抗辐射能力强，且化学稳定性好(几乎不被任何酸腐蚀)，在光电子、高温大功率器件和高频微波器件应用方面有着广阔的前景。在LED产业中，具有完整结构的GaN材料及具有匹配的晶体常数直接影响到LED的性能。目前，GaN的外延生长工艺一般有以下几种:M0CVD，MBE, LEO和PECVD等。MOCVD是制备GaN及其相关多层结构薄膜的主流技术，具有价格较低、生长速度快等特点。但是其生长温度过高，一般高于900°C，这容易造成制备出的GaN薄膜少氮和存在碳污染。在低温条件下，使用等 离子体辅助的方式是一种较好的办法，但是通过PECVD方法制作出的结果并不理想。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够实现对GaN薄膜的生长，且生长出的GaN薄膜含有较高的氮含量，且制备方法简单，掺杂后的薄膜结构完整，氮含量提升，性能显著增加的用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法。为解决上述技术问题，本发明提供了一种用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法，包括:步骤10、将碳化硅衬通过标准液和氢氟酸处理处理表面并放置于原子层沉积设备反应腔中；步骤20、向所述原子层沉积设备反应腔中通入镓源气体，所述镓源气体作为第一反应前驱体源在碳化硅衬底表面进行化学吸附，所述镓源气体中的镓原子吸附在所述碳化硅衬底上；步骤30、吸附在碳化硅衬底上的镓原子与电离后的第二反应前驱体在氢气的辅助下发生反应，直到所述碳化硅衬底表面的镓原子完全消耗；重复步骤20、30，即可在所述碳化衬底表面形成氮化镓薄膜。进一步地，所述镓源气体是氯化镓；所述氯化镓通过和衬底表面反应而进行化学吸附。进一步地，所述电离后的第二前驱体是载气氮气，所述氮气电离后的氮气分子与氢气形成氮氢离子，和氯化镓中的氯原子发生反应，使得氯化镓中除镓以外的其他官能团被氮原子取代。进一步地，在所述步骤20和步骤30之前分别包括向原子层沉积设备反应腔通入清洗气体清洗腔室。进一步地，所述清洗气体为氮气。本发明提供的用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法，操作简单，转化率高，能耗小，利用原子层沉积单层循环生长的特点，能够实现均匀的在整个结构中掺氮，且掺杂后氮元
素含量高，薄膜结构完整。
图1为本发明实施例中碳化硅表面形成S1-H键的示意图；图2为本发明实施例中氯化镓和碳化硅衬底表面发生卤代反应，镓原子吸附在碳化娃衬底上的不意图；图3为本发明实施例中碳化硅衬底表面被镓原子吸附后的示意图；图4为本发明实施例中向原子层沉积反应腔通入氢气，并进行氮气等离子体放电电离的示意图；图5为本发明实施例中氮气电离后,碳化娃衬底表面形成具有氢原子的镓氮结构的示意图。
具体实施例方式
参见图1，本发明实施例提供的一种用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法包括:步骤101、通过标准液和氢氟酸处理碳化硅衬底表面，在碳化硅衬底表面形成硅氢键，如图1所示，其中，标准液是指:1号液，浓硫酸:双氧水=4: I ；2号液，氨水:纯净水:双氧水=I: 5: I ；3号液，盐酸:双氧水:纯净水=1:1:6 ;将进行氢化处理后的碳化硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；步骤102、开启原子层沉积设备，调整工作参数，达到实验所需工作环境；先向原子层沉积设备反应腔通入氮气清洗腔室，然后向原子层沉积反应腔中通入镓源气体，如图2所示；氮化镓和碳化硅衬底表面的氢原子发生反应，镓原子吸附在碳化硅衬底表面，如图3所示；步骤103、先向原子层沉积设备反应腔通入氮气清洗腔室，然后向原子层沉积设备反应腔中通入氢气，氢气的速率为2sccm-10sccm，并进行氮气等离子放电，等离子体放电功率为1W-100W，氮气电离后的氮气分子与氢气形成氮氢离子，和氯化镓中的氯原子发生反应(如图4所示)，使得氯化镓中除镓以外的其他官能团被氮原子取代，碳化硅衬底表面形成具有氢原子的镓氮结构(如图5所示)。步骤104，步骤102至步骤103这一反应周期结束后，碳化硅衬底表面全为氢原子，此时重复步骤102至步骤103，可以逐层生长氮化镓薄膜。本发明提供的用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法，操作简单，转化率高，能耗小，利用原子层沉积单层循环生长的特点，能够实现均匀的在整个结构中掺氮，且掺杂后氮元
素含量高，薄膜结构完整。最后所应说明的是，以上具体实施方式
仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照实例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。 ·
权利要求
1.一种用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法，其特征在于，包括: 步骤10、将碳化硅衬通过标准液和氢氟酸处理处理表面并放置于原子层沉积设备反应腔中； 步骤20、向所述原子层沉积设备反应腔中通入镓源气体，所述镓源气体作为第一反应前驱体源在碳化硅衬底表面进行化学吸附，所述镓源气体中的镓原子吸附在所述碳化硅衬底上； 步骤30、吸附在碳化硅衬底上的镓原子与电离后的第二反应前驱体在氢气的辅助下发生反应，直到所述碳化硅衬底表面的镓原子完全消耗； 重复步骤20、30，即可在所述碳化衬底表面形成氮化镓薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于: 所述镓源气体是氯化镓；所述氯化镓通过和衬底表面反应而进行化学吸附。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于: 所述电离后的第二前驱体是载气氮气，所述氮气电离后的氮气分子与氢气形成氮氢离子，和氯化镓中的氯原子发生反应，使得氯化镓中除镓以外的其他官能团被氮原子取代。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤20和步骤30之前分别包括: 向原子层沉积设备反应腔通入清洗气体清洗腔室。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于: 所述清洗气体为氮气。
全文摘要
本发明公开用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法，包括步骤10、将碳化硅衬通过标准液和氢氟酸处理处理表面并放置于原子层沉积设备反应腔中；步骤20、向所述原子层沉积设备反应腔中通入镓源气体，所述镓源气体作为第一反应前驱体源在碳化硅衬底表面进行化学吸附，所述镓源气体中的镓原子吸附在所述碳化硅衬底上；步骤30、吸附在碳化硅衬底上的镓原子与电离后的第二反应前驱体在氢气的辅助下发生反应，直到所述碳化硅衬底表面的镓原子完全消耗；重复步骤20、30，即可在所述碳化硅衬底表面形成氮化镓薄膜。本发明提供的方法能够实现均匀的在整个结构中掺氮，且掺杂后氮元素含量高，薄膜结构完整。
文档编号C23C16/44GK103205729SQ20121000770
公开日2013年7月17日 申请日期2012年1月11日 优先权日2012年1月11日
发明者饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠 申请人:中国科学院微电子研究所